JPS5985869A - エツチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明はカラー受像管に使用されるシャドウマスクのエ
ツチング装置の改良に関するものである。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

カラー受像管のシャドウマスクは通常写真製版法によっ
て製造される。そして、この写真製版法は大きく分けて
感光膜形成工程、露光工程、現像工程、バーニング工程
にょシ多数の小孔部を有する保護膜が被着形成されたエ
ツチングすべき金属板が得られ、次のエツチング工程で
小孔部を介して電子ビーム通過孔部が穿設されることに
なる。

このエツチングすべき金属板としては通常軟鋼板、アン
バー板などの所定厚の長尺の金属板が使用され、露光工
程後、この長尺の金属板を垂直に保持して進行する垂直
方式や水平に保持して進行□　する水平方式によって移
送され、最終工程のエツチング工程においても、そのま
まの状態で電子ビーム通過孔部が穿設される場合が多い
。

一方各種デイスプレイ管の開発に伴い電子ビーム通過孔
部の寸法は微細とな）、かつ厳密な寸法精度が要求され
、これらを管理する目的から見るとエツチング工程は水
平方式が有利である。

次に水平方式のエツチング装置の一例を第１図によシ説
明する。

即ち、第１図に示すエツチング装置はエツチング槽（１
）を水平方向に通過する多数の小孔部を有する保護膜が
被着形成されたエツチングすべき長尺の金属板（以下単
に金属板と云う）（４）の上下面に対設して複数本のマ
ニホールド（２）が取９つけられ、夫々のマニホールド
（２）は数１０個のノズル（３）が配設されている。そ
して、このノズル（３）としては６０度円錐型のスプレ
ィパターンのものを使用して上、下ノマニホールド（２
）に配置されたとき共に約４０度位の角度で（Ｂ）図に
破線で示すように振られてエツチング液を噴出するよう
になされている。

この金属板（４）は微細な電子ビーム通過孔部を穿設す
る場合には板厚が薄い方が加工し易いが、機械的強度を
考慮して通常幾分厚いものを使用している。即ち、例え
ば０．２０ｍｍピッチで孔径８０μｍの′１子ビーム通
過孔部を有するシャドウマスクを製造する時には板厚は
最低０．１０１１１１１位は必要である。

このような苔属板（４）に電子ビーム通過孔部を穿設す
る時の問題点としては金属板（４）の上側に溜まるエツ
チング敢が顕著に影響することである。即ち、イ爾っだ
部分のｆｔ４蝕速度はエツチング液の交換運度が落ちる
ので遅くなシ、敲終的にカラーブラウン管にシャドウマ
スクを装着した時ユニフォミテイを著しく悪くする。

この問題点を解決する手段として特公昭５４−３０６５
１号公報に提案されているエツチング装置があるが、高
精細な電子ビーム通過孔部を有するシャドウマスクの製
造では金属板に対し、上部ローラからの抑えが強く、エ
ツチング液中の不純物質、例えば感光膜、水酸化物など
をローラを介して正常面に圧着させてしまいこの圧着さ
れた付着物質が原因とな）エツチングを妨害し孔詰まシ
孔小欠点と称する本来電子ビーム通過孔部の貫通すべき
ところが充分に貫通しない不良を発生し易い。この対策
として抑えローラを省略し、金属板の進行方向に傾斜さ
せて見たがエツチング液の流れの影響が大きく、電子ビ
ーム通過孔部の形状を安定して制御することができなか
った。

〔発明の目的〕

本発明は前述した水平方式の諸問題に鑑みなされたもの
であり長尺の金属板誂を水平方式でエツチングしても微
細な電子ビーム通過孔部を極めて品位の良い状態で穿設
することが可能なエツチング装置を提供することを目的
としている。

〔発明の概要〕

即ち、本発明は小孔部を有する保護膜が被着形成された
エツチングすべき長尺の金属板の両側端に配設された〆
金属板を上方に向って筒器形状に保持して連続移動させ
るローラと、金属板の湾曲形状に沿って流れるようにエ
ツチング液を金属板に噴射するノズルとを少くとも具備
することを特徴とするエツチング装置でるる。

〔発明の実施例」 次に本発明のエツチング装置の一実施例を第２図乃至第
５図によシ説明する。

即ち、多数の小孔部を有する保護膜が被着形成されたエ
ツチングすべき長尺の金属板（４）の両端には図示しな
い基萱に相対して固定された１対の支持台収りが設けら
れこの１対の支持台（１１）間にはスライドシャフト住
［有］が摺動自在に支持され、このスライドシャフト四
の支持台Ｉ近傍には１対の支台住Ｑが位置調節可能に固
定され、この１対の支台恨ｅに軸ｕ？）が内側方に向っ
て傾斜状に取付けられ、この軸（１７）の上部にローラ
ａ樽が軸架されている。このローラ（１８の材質として
はチタンが望ましい。

そしてローラ（１１は例えばスライドシャツ）　（１！
１９の軸線に対して約６０度に傾斜させて設けられ、か
つ両側のロー２４１８間の間隔を金属板（ロ）の幅寸法
より小さい寸法に設定しである。そしてローラ（至）に
金属板α荀の両側端のエッヂを当接して、金属板Ｉを上
方に向って湾曲形状に保持した状態で矢印方向に連続移
動しながら第４図に示すように上下よシマニホールドｕ
４に設けられたノズル（２）よシスプレイ液を金属板（
２）に噴射させるようになっている。

次に製造工程の具体例を説明すると金属板Ｉとしてシャ
ドウマスク用鉄板またはＮｉ−Ｆｅ合金板を使用し、こ
の金属板Ｉの両面に富士フォトレジストＴ８−５カゼイ
ン系の感光液を塗布後、乾燥して膜厚約５μｍの感光膜
を形成する。

次に５　ｋＷの超水銀ランプを使用し、約１ｍの距離か
ら４０秒位露光を行なう。次に４５℃の温純用を使用し
約１φ句の圧力下で９０秒、現像後型クロム酸アンモニ
ウム１０チ溶液で６０秒硬膜工程を行ない、水洗２０秒
、Ｐ、ネク：／　１２９Ｔ　（商品名）０．２％浴液を
ふりかけ上部０．２　ｋｙ／ｃ−Ｉ／ｌ、下部１．０＃
／ｄの条件で清浄空気によシ感光膜表面のネクソ液を切
る。次いで約１５０℃の半回気中で９０秒、乾燥後２０
０℃で６０秒バーニングする。さらに肌出し５０秒、水
洗３０秒後、エツチング工程を経てフラットマスクを児
成する。

本実施例によれば両側端のローラ賭によって肌出し、バ
ーニングの終不した金属板を上方に同って湾曲形状にし
て水平に叉持することによシエッチング液の溜まシを防
止し、且つ液交換を適切に行い均一にエツチングを進行
させることが出来る。

従って最終的にユニフオミテイが良好、かつ品質の安定
したシャドウマスクを得ることができた。

この場合、金属板とスプレーノズルの間隔は第４図に示
すようにマニホ−ルドｕ′４と金属板Ｉの湾曲形状を合
わせることによ）一定にし、金属板にエツチングｇりり
当る強さを均一にすることが重要である。

〔発明の効果〕

上述のように本発明のエツチング装置によればエツチン
グ工程でシャドウマスク用の金属板にエツチング液の溜
まヤを防止し、かつ液交換を適切にできるので微細な電
子ビーム通過孔部の均一な穿設が容易とな夛、最終的に
ユニフオミティが良好かつ品質の安定したシャドウマス
クを得ることが可能であシ、その工業的価値は極めて大
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のエツチング装置の一例を示す図であり、
（Ａ）図は要部斜視図、（Ｂ）図はノズルの移動角の説
明図、第２図乃至第４図は本発明のエツチング装置の一
実施例を示す図であシ、第２図は正面図、第３図は斜視
図、第４図は金属板とマニホールド及びノズルの関係を
示す説明図である。 ２．１２・・マニホールド　３，１３・・・ノズル４．
１４・・・金属板　　　１８・・ローラ代理人弁理人　
井　上　−男 ３

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 多数の小孔部を有する保護膜が被着形成されたエツチン
   グすべき長尺の金属板の両側端に配設され、前記金属板
   を上方に向って湾曲形状に保持して連続移動させるロー
   ラと、前記金属板の湾曲形状に沿って流れるようにエツ
   チング液を前記金属板に噴射するノズルとを少くとも具
   備することを特徴とするエツチング装置。