JPS5986030U - 薄膜形成用基板ホルダ - Google Patents

薄膜形成用基板ホルダ

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JPS5986030U
JPS5986030U JP18136682U JP18136682U JPS5986030U JP S5986030 U JPS5986030 U JP S5986030U JP 18136682 U JP18136682 U JP 18136682U JP 18136682 U JP18136682 U JP 18136682U JP S5986030 U JPS5986030 U JP S5986030U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
annular
thin film
film formation
substrate holder
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP18136682U
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English (en)
Inventor
敏男 安藤
西原　敏和
敏雄 加藤
尾崎　節夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
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Publication date
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Publication of JPS5986030U publication Critical patent/JPS5986030U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の薄膜形成用基板ホルダの取刊態を示す一
部切截斜視図、第２図は本考案にに駆落膜形成用基板ホ
ルダの一実施例の取付状態を示１を　　す一部切截斜視
図、第３図及び第４図は第２図の　。 １基　　基板ホルダがフォルム基板ホルダを挾持する前
と１に　　挾持した枝の要部の断面図、第５図は基板ホ
ルダ：該　　が基板を挾持した状態の平面図である。 ｔの−１，１１＝−・薄膜形成用基板ホルダ、２．１４
・・・し　　フィルム基板、３．４−・・専用治具、５
．　６．　１２゜ヒ張　　１３−・・円環状平板、７．
１５−・・ネジ、９．１７・・・　　　−冷却板、１２
ａ、　　１３ａ−・・基板挾持面、１２ｂ−・・円　′
環状凹部、１３ｂ・・・円環状突部、１４ａ−・・張設
部１状　分。 ；る

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 、　　　　　　−面に薄膜を被着されるフィルム基板の
    両頂挾持する一対の円環状部材よりなる薄−成片板ホル
    ダにおいて、一方の円環状部材の挾持ｍ環状四部を設け
    、他方の円環状部材の挟持面に凹部に係合する環状突部
    を設けてなり、Ｆ交円環状部材により該フィルム基板を
    挾持する間該凹部と突部との係合により該フィルム基板
    苓゛設する構成とした薄膜形成用基板ホにレダ。　　。
JP18136682U 1982-11-30 1982-11-30 薄膜形成用基板ホルダ Pending JPS5986030U (ja)

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