JPS598633A - マイクロレンズアレイの製造方法 - Google Patents
マイクロレンズアレイの製造方法Info
- Publication number
- JPS598633A JPS598633A JP11750082A JP11750082A JPS598633A JP S598633 A JPS598633 A JP S598633A JP 11750082 A JP11750082 A JP 11750082A JP 11750082 A JP11750082 A JP 11750082A JP S598633 A JPS598633 A JP S598633A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz
- microlens array
- quartz tube
- base materials
- core part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01211—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments by inserting one or more rods or tubes into a tube
- C03B37/01222—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments by inserting one or more rods or tubes into a tube for making preforms of multiple core optical fibres
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
- C03B2203/34—Plural core other than bundles, e.g. double core
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の背景と目的
コアの中心から外側に向って屈折率が距離の2乗に比例
して減小する光ファイバは、マイクロレンズとして、光
源と光ファイバの結合などに使われる。
して減小する光ファイバは、マイクロレンズとして、光
源と光ファイバの結合などに使われる。
このマイクロレンズは従来、/本/本単独で使われるも
のが主であったが、「第1図」のような平板アレイ状の
ものも発表されている(注)。この基板10は光学ガラ
ス(E K 7など)がらなり、レンズ部12はホトリ
ソグラフィと電界拡散の技術で作られる。
のが主であったが、「第1図」のような平板アレイ状の
ものも発表されている(注)。この基板10は光学ガラ
ス(E K 7など)がらなり、レンズ部12はホトリ
ソグラフィと電界拡散の技術で作られる。
しかし、この平板状マイクロレンズアレイは、作るのに
時間がかかる。また、これをも含めて従来のマイクロレ
ンズは、多成分ガラスからできている。したがって挿入
損失が大きく、また石英系に比べて耐久性に劣るので、
石英系ファイバと組合わせたとき、寿命にアンバランス
ができる。
時間がかかる。また、これをも含めて従来のマイクロレ
ンズは、多成分ガラスからできている。したがって挿入
損失が大きく、また石英系に比べて耐久性に劣るので、
石英系ファイバと組合わせたとき、寿命にアンバランス
ができる。
この発明は、]―記のような問題のない、石英系のマイ
クロレンズアレイを、従来がら慣熟している技術によっ
て製造できるようにしたものである。なおこの発明によ
って製造するマイクロレンズアレイは、「第2図」のよ
うに円形断面の基部20内に、屈折率が2乗分布のレン
ズ部30を多数有するものである。
クロレンズアレイを、従来がら慣熟している技術によっ
て製造できるようにしたものである。なおこの発明によ
って製造するマイクロレンズアレイは、「第2図」のよ
うに円形断面の基部20内に、屈折率が2乗分布のレン
ズ部30を多数有するものである。
発明の構成(第3〜j図)
(1)コア部64とクラ、ド部66とを有し、コア部6
4は屈折率が2乗分布をなし、またクラッド部66はコ
ア部よりも低粘性のガラスからなり、かつ全体が石英系
材料からなる光フアイバ用母材62を作ること(第3図
)、 (,2)上記の母イA62を複数本、石英管38内に入
れ(第を図)、加熱溶着して石英管内部のすき間をなく
すとともに、延伸して所定の外径にしく第S図)、かつ
所定の長さに切断すること(第2図)、 を特徴とする。
4は屈折率が2乗分布をなし、またクラッド部66はコ
ア部よりも低粘性のガラスからなり、かつ全体が石英系
材料からなる光フアイバ用母材62を作ること(第3図
)、 (,2)上記の母イA62を複数本、石英管38内に入
れ(第を図)、加熱溶着して石英管内部のすき間をなく
すとともに、延伸して所定の外径にしく第S図)、かつ
所定の長さに切断すること(第2図)、 を特徴とする。
構成に関する説明 □
])上記母材32の製造は、公知のV A D 、 M
OVDの各法によって行なうことができる。ただしレ
ンズに使うので些るから、特に注意深く作る必要がある
。たとえば、MCvD法によって作るときは、積層回数
を多くシ、またPを多くドープして各層間のゆらぎを少
なくする、などの方法をとる0 2)クラッド部66のガラスをコア部64よりも低粘性
にするのは、次の理由による。
OVDの各法によって行なうことができる。ただしレ
ンズに使うので些るから、特に注意深く作る必要がある
。たとえば、MCvD法によって作るときは、積層回数
を多くシ、またPを多くドープして各層間のゆらぎを少
なくする、などの方法をとる0 2)クラッド部66のガラスをコア部64よりも低粘性
にするのは、次の理由による。
すなわち、もしクラ、ド部ろ6の粘性がコア部ろ4と同
等以上であったとすると、延伸するとき、「第3図」の
ように、クラッド部66もコア部34も断面が六角形に
なってしまい、レンズとしての作用が不完全なものにな
る。
等以上であったとすると、延伸するとき、「第3図」の
ように、クラッド部66もコア部34も断面が六角形に
なってしまい、レンズとしての作用が不完全なものにな
る。
ところが上記のようにクラッド部3乙の方の粘性が低い
と、「第7図」のように、クラッド66だけ六角になっ
て、コア部64は円形のままでいられるのである。
と、「第7図」のように、クラッド66だけ六角になっ
て、コア部64は円形のままでいられるのである。
ガラスの粘性を低下させるには、BやPを多くドープす
る(後記実施例参照)。母材62をMeVD法によって
作るときは、肉厚のごく薄い出発石英管を使用する。
る(後記実施例参照)。母材62をMeVD法によって
作るときは、肉厚のごく薄い出発石英管を使用する。
3)母材62は、そのまま石英管38内に入れてもよい
し、いったん延伸してから石英管68内に入れてもよい
。
し、いったん延伸してから石英管68内に入れてもよい
。
また、母材62を石英管7)8内に入れたのち、加熱溶
着して内部のすき間をなくする工程を、延伸と同時に行
ってもよいし、また別に行ってもよい。
着して内部のすき間をなくする工程を、延伸と同時に行
ってもよいし、また別に行ってもよい。
延伸後、クラッド部66と石英管68とは、マイクロレ
ンズアレイの基部20になる。
ンズアレイの基部20になる。
実施例
VAD法によって母材62を作った(第3図)。
外径は18mm、コア部64の径は6mm、長さは10
00能。コア部64は中心部の組成が、810292%
(重量分率、以下同じ)、GeO27%、 P2O51
%で、屈折率が2乗分布をなす。クラッド部36は、5
102 88% 173203.10% ・P2O51
%、GeO21% で、コア部64より低粘性で、比屈
折率差は1%である。
00能。コア部64は中心部の組成が、810292%
(重量分率、以下同じ)、GeO27%、 P2O51
%で、屈折率が2乗分布をなす。クラッド部36は、5
102 88% 173203.10% ・P2O51
%、GeO21% で、コア部64より低粘性で、比屈
折率差は1%である。
「第を図」のように、上記の母材62を4本と、直径1
8闘 の石英棒骨7を7本、内径56.mm 。
8闘 の石英棒骨7を7本、内径56.mm 。
外径65闘の石蓼管68内に入れて加熱炉上にセットし
、延伸して外径を13.55mmにした(第5図)。そ
のとき、レンズ部30の直径はl amであった。
、延伸して外径を13.55mmにした(第5図)。そ
のとき、レンズ部30の直径はl amであった。
それを切断し、両端面を光学研摩して22.2 mm
Lにしたところ、/ピッチになった。また5、55 m
mの長さにしたらコリメーションレンズとして使えるこ
とがわかった。
Lにしたところ、/ピッチになった。また5、55 m
mの長さにしたらコリメーションレンズとして使えるこ
とがわかった。
発明の効果
(1)クラ、ド部ろ6が、コア部ろ4よりも低粘性のガ
ラスからなるので、上記のように延伸によってコア部3
4が六角になるのが防がれる。
ラスからなるので、上記のように延伸によってコア部3
4が六角になるのが防がれる。
(,2)でき上ったマイクロレンズアレイは、断面が円
形であるから、■みぞなどを利用して容易に固定できる
。
形であるから、■みぞなどを利用して容易に固定できる
。
(3)石英系材料で作っているので、石英系ファイバと
いっしょに使っても、寿命上のアンバランスが起きない
。
いっしょに使っても、寿命上のアンバランスが起きない
。
(注)伊賀他:[分布屈折率平板マイクロレンズアレイ
」昭和5乙年電子通信学会総合全国大会論文集、99.
2
」昭和5乙年電子通信学会総合全国大会論文集、99.
2
第1図は従来技術の一例(平板状マイクロレンズアレイ
)の説明図、 第2図は本発明によって製造するマイクロレンズアレイ
の説明図、 第3図と第を図と第に図は、本発明の製造工程を順に示
す説明図、 第3図はクラ、ド部66の粘性がコア部64と同等以−
1−,の場合、第7図は低い場合における、コア部の変
形の有無を示す説明図。 20、基部 60:レンズ部 62:母料 64;コア部 36:クラ、ド部 68二石英管 特許出願人 藤倉電線株式会社 代理人 国事 啓次 (7) 第1図 第3図 2
)の説明図、 第2図は本発明によって製造するマイクロレンズアレイ
の説明図、 第3図と第を図と第に図は、本発明の製造工程を順に示
す説明図、 第3図はクラ、ド部66の粘性がコア部64と同等以−
1−,の場合、第7図は低い場合における、コア部の変
形の有無を示す説明図。 20、基部 60:レンズ部 62:母料 64;コア部 36:クラ、ド部 68二石英管 特許出願人 藤倉電線株式会社 代理人 国事 啓次 (7) 第1図 第3図 2
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 コア部とクランド部とを有する石英系材料からなる光フ
アイバ母材であって、 前記コア部は屈折率が2乗分布をなし、かつ前記クラッ
ド部はコア部よりも低粘性のガラスからなるものを作り
、− 前記母材を、複数本、石英管内に入れ、加熱溶着してす
き間をなく゛すとともに、延伸して所定の外径にし、か
つ所定の長さに切断すること、を特徴とする、マイクロ
レンズアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11750082A JPS598633A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | マイクロレンズアレイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11750082A JPS598633A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | マイクロレンズアレイの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS598633A true JPS598633A (ja) | 1984-01-17 |
Family
ID=14713273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11750082A Pending JPS598633A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | マイクロレンズアレイの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS598633A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002338282A (ja) * | 2001-05-09 | 2002-11-27 | Hamamatsu Photonics Kk | 光学レンズ及び光学レンズの製造方法 |
| JP4694073B2 (ja) * | 1999-11-10 | 2011-06-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学レンズの製造方法 |
-
1982
- 1982-07-06 JP JP11750082A patent/JPS598633A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4694073B2 (ja) * | 1999-11-10 | 2011-06-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学レンズの製造方法 |
| JP2002338282A (ja) * | 2001-05-09 | 2002-11-27 | Hamamatsu Photonics Kk | 光学レンズ及び光学レンズの製造方法 |
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