JPS5987286A - 電歪子ポンプ - Google Patents
電歪子ポンプInfo
- Publication number
- JPS5987286A JPS5987286A JP57198037A JP19803782A JPS5987286A JP S5987286 A JPS5987286 A JP S5987286A JP 57198037 A JP57198037 A JP 57198037A JP 19803782 A JP19803782 A JP 19803782A JP S5987286 A JPS5987286 A JP S5987286A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid chamber
- vibrator
- pump
- electrostrictive
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Ink Jet (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、電歪素子を用いた流体ポンプ、より詳細には
、インクジェット記録装置においてインクジェットヘッ
ドへ供給するインクを加圧するのに適した寛張子ポンプ
に閃する。
、インクジェット記録装置においてインクジェットヘッ
ドへ供給するインクを加圧するのに適した寛張子ポンプ
に閃する。
従来技術
第１図は、従来の篭張子ポンプの一例を説明するための
断面図で、図中、■は吸入弁、２は排出弁、８は液室、
４は電歪振動子で、周知のように、内部に液室３を有し
、電歪振動子４に正の電圧をかけると、排出弁２を開い
て液室３内の液体を押し出し、負の電圧をかけると吸入
弁１を開いて液室８内に液体を吸入するものである。な
お、吸入弁及び排出弁はステンレス薄板等のばね性を而
する薄板でてきており、常時は該薄板のはね圧て流路を
閉じており、％余振動子４に負の電Ｈ〕がかけられて液
室８が負圧になった時に吸入弁ｌを開き、電歪振動子４
に正の電圧がかけられて液室３が正主になった時に排出
弁２をシ１」＜ようになっている。
断面図で、図中、■は吸入弁、２は排出弁、８は液室、
４は電歪振動子で、周知のように、内部に液室３を有し
、電歪振動子４に正の電圧をかけると、排出弁２を開い
て液室３内の液体を押し出し、負の電圧をかけると吸入
弁１を開いて液室８内に液体を吸入するものである。な
お、吸入弁及び排出弁はステンレス薄板等のばね性を而
する薄板でてきており、常時は該薄板のはね圧て流路を
閉じており、％余振動子４に負の電Ｈ〕がかけられて液
室８が負圧になった時に吸入弁ｌを開き、電歪振動子４
に正の電圧がかけられて液室３が正主になった時に排出
弁２をシ１」＜ようになっている。
而して、上述のごとき寛歪子ポンプは小型、軽量である
ため、インクジェット記釘装療笥においてインクジェッ
トヘッドへインクを圧送するインク供給ポンプとして使
用するのに好適なものかあるか、上記従来技術において
は、薄板のばね庄で弁の開閉を行なっているため、１心
答性か遅くせいぜい５０１１ｚｍ度の駆動周波数にすぎ
ず、そのため、インク圧の脈動が大きく、大型のアキュ
ムレータを必要とした。
ため、インクジェット記釘装療笥においてインクジェッ
トヘッドへインクを圧送するインク供給ポンプとして使
用するのに好適なものかあるか、上記従来技術において
は、薄板のばね庄で弁の開閉を行なっているため、１心
答性か遅くせいぜい５０１１ｚｍ度の駆動周波数にすぎ
ず、そのため、インク圧の脈動が大きく、大型のアキュ
ムレータを必要とした。
目 的
本発明は、上述のごとき従来技術の欠点を解決するため
になされたもので、特に、電十子ポンプにおける駆動周
波数を高くして制御応答性を高め、また、ＩＩ＃ｃ動を
小さくしてアキュムレータを小型化することを目的とし
てなされたものである。
になされたもので、特に、電十子ポンプにおける駆動周
波数を高くして制御応答性を高め、また、ＩＩ＃ｃ動を
小さくしてアキュムレータを小型化することを目的とし
てなされたものである。
実施例
第２図は、本発明による電歪子ポンプの一実施例を説明
するための断面図、第３図は、その動作説明をするため
のタイムチャートで、図中、８は液室、４は主電歪振動
子、６は排出用振動子、７．８は可撓性部材、９．１ｏ
は密閉チャンバーで、吸入用振動子５及び排出用振動子
６はそれぞれダイヤフラム月、１２に接着剤等によって
固着されており、該ダイヤフラムに接して密閉された液
体が入っているチャンバー９．１ｏが形成されている。
するための断面図、第３図は、その動作説明をするため
のタイムチャートで、図中、８は液室、４は主電歪振動
子、６は排出用振動子、７．８は可撓性部材、９．１ｏ
は密閉チャンバーで、吸入用振動子５及び排出用振動子
６はそれぞれダイヤフラム月、１２に接着剤等によって
固着されており、該ダイヤフラムに接して密閉された液
体が入っているチャンバー９．１ｏが形成されている。
この密閉チャンバー９．１０は図示のようにコーン状に
なっており、先端部がｍＪ撓性部拐７．８で塞がれてお
り、ダイヤフラムが数μｍｅ位すると先端部の可撓性部
材が０．１ ｍｍ以上変位し、対向した穴８ａ或いは８
ｂを塞いで流路を閉じる。すなゎぢ、第８図に示すよう
に、主振動子４及び吸入用振動子５に負の電圧をかけ、
排出用振動子６に正の電圧をかりると、振動子４乃至６
が矢印方向に変位し、液室８の吸入口８ａは開、１刃出
口３ｂは閉となり、ｈＩｉ、室８の容積は増大するので
、液室３内にインクか吸入される。次に、吸入用振動子
Ｊ子５にＥの電圧をかげるとともに排出用振動子６にや
に負の電圧をかけ、主振動子４に正の電圧をかけると、
これら振動子４乃至６は矢印と逆方向に変位し、液室３
の吸入口３ａは閉、排出Ｄ ８ ｂ ｌ；ｌ： ＃Ｆｊ
となり、液室８の容積は減少するので、液室３よりイン
クか吐出される。
なっており、先端部がｍＪ撓性部拐７．８で塞がれてお
り、ダイヤフラムが数μｍｅ位すると先端部の可撓性部
材が０．１ ｍｍ以上変位し、対向した穴８ａ或いは８
ｂを塞いで流路を閉じる。すなゎぢ、第８図に示すよう
に、主振動子４及び吸入用振動子５に負の電圧をかけ、
排出用振動子６に正の電圧をかりると、振動子４乃至６
が矢印方向に変位し、液室８の吸入口８ａは開、１刃出
口３ｂは閉となり、ｈＩｉ、室８の容積は増大するので
、液室３内にインクか吸入される。次に、吸入用振動子
Ｊ子５にＥの電圧をかげるとともに排出用振動子６にや
に負の電圧をかけ、主振動子４に正の電圧をかけると、
これら振動子４乃至６は矢印と逆方向に変位し、液室３
の吸入口３ａは閉、排出Ｄ ８ ｂ ｌ；ｌ： ＃Ｆｊ
となり、液室８の容積は減少するので、液室３よりイン
クか吐出される。
効 果
以上の説明から明らかなように、本発明によると、？ａ
企振動子により強制的に弁を開閉するようにしたので、
弁の応答周波数か高くなり、Ｌ（、力！ｆｉ制御をする
場合に制御の応答性か良くなり、また、脈動が小さいの
で、アキュムレータを小さくすることができる等の利点
がある。
企振動子により強制的に弁を開閉するようにしたので、
弁の応答周波数か高くなり、Ｌ（、力！ｆｉ制御をする
場合に制御の応答性か良くなり、また、脈動が小さいの
で、アキュムレータを小さくすることができる等の利点
がある。
第１図は、従来の寛歪子ポンプの一例を示す断面図、第
２図は、本発明による電歪ポンプの一実施例を示す断面
図、第８図は、本発明の動作説明をするためのタイムチ
ャートである。 ３・・・液室、４．５．６・・・電歪振動子、７．８・
・・可撓性部材、９、■０・・・密閉チャンバー、１１
．１２・・・ダイヤフラム。 第 １ 図 第２図 第３図 工良」工 Ｃ（ＯＬ＋虜品
２図は、本発明による電歪ポンプの一実施例を示す断面
図、第８図は、本発明の動作説明をするためのタイムチ
ャートである。 ３・・・液室、４．５．６・・・電歪振動子、７．８・
・・可撓性部材、９、■０・・・密閉チャンバー、１１
．１２・・・ダイヤフラム。 第 １ 図 第２図 第３図 工良」工 Ｃ（ＯＬ＋虜品
Claims (1)
- 液室と、該液室に体桔斐化を与える第１の電井振動子と
、前記液室への流体の入排出を制御する少なくとも１以
上の弁を開閉させる第２の電歪振動子とを有することを
特徴とする電歪子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57198037A JPS5987286A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | 電歪子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57198037A JPS5987286A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | 電歪子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5987286A true JPS5987286A (ja) | 1984-05-19 |
Family
ID=16384483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57198037A Pending JPS5987286A (ja) | 1982-11-11 | 1982-11-11 | 電歪子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5987286A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6251766A (ja) * | 1985-08-31 | 1987-03-06 | Japan Spectroscopic Co | 試料送りポンプ |
| US4822250A (en) * | 1986-03-24 | 1989-04-18 | Hitachi, Ltd. | Apparatus for transferring small amount of fluid |
| US6604915B1 (en) * | 2002-03-20 | 2003-08-12 | Csa Engineering, Inc. | Compact, high efficiency, smart material actuated hydraulic pump |
| WO2006025214A1 (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Star Micronics Co., Ltd. | 逆止弁及びダイヤフラムポンプ |
| US10611169B2 (en) | 2017-12-22 | 2020-04-07 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Diaphragm pump, liquid circulation module and liquid discharge apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57120448A (en) * | 1981-01-19 | 1982-07-27 | Ricoh Co Ltd | High-frequency minute flow pump |
-
1982
- 1982-11-11 JP JP57198037A patent/JPS5987286A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57120448A (en) * | 1981-01-19 | 1982-07-27 | Ricoh Co Ltd | High-frequency minute flow pump |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6251766A (ja) * | 1985-08-31 | 1987-03-06 | Japan Spectroscopic Co | 試料送りポンプ |
| US4822250A (en) * | 1986-03-24 | 1989-04-18 | Hitachi, Ltd. | Apparatus for transferring small amount of fluid |
| US6604915B1 (en) * | 2002-03-20 | 2003-08-12 | Csa Engineering, Inc. | Compact, high efficiency, smart material actuated hydraulic pump |
| WO2006025214A1 (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Star Micronics Co., Ltd. | 逆止弁及びダイヤフラムポンプ |
| US10611169B2 (en) | 2017-12-22 | 2020-04-07 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Diaphragm pump, liquid circulation module and liquid discharge apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3948493B2 (ja) | マイクロポンプ | |
| US7322803B2 (en) | Pumps with diaphragms bonded as bellows | |
| CN108138759B (zh) | 流体控制装置、减压装置以及加压装置 | |
| JPWO2009050990A1 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
| JPH03505771A (ja) | 一定の吐出量を有する小型ポンプ | |
| JP6119847B2 (ja) | カフ圧制御装置 | |
| JP5999200B2 (ja) | 流体制御装置およびポンプ接続方法 | |
| US4558995A (en) | Pump for supplying head of ink jet printer with ink under pressure | |
| JP4957501B2 (ja) | 圧電マイクロブロア | |
| CN110005596A (zh) | 一种驱动式压电隔膜泵 | |
| JP2002130137A (ja) | 圧電ポンプ | |
| TWI646989B (zh) | 閥、流體控制裝置及血壓計 | |
| JPH0354383A (ja) | 圧電式ポンプ | |
| US11698066B2 (en) | Pressure-controlling device, and pressure-using apparatus | |
| JPS5974381A (ja) | 電歪子加圧装置 | |
| JP2007198147A (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
| JPS59176480A (ja) | ダイヤフラム型ポンプ | |
| JP3066027B2 (ja) | 圧電ポンプ | |
| JP2772525B2 (ja) | 圧電ポンプ | |
| JP2008101495A (ja) | ダイヤフラムポンプ | |
| JPH03199682A (ja) | マイクロポンプ | |
| JPH0242184A (ja) | 圧電型マイクロポンプ | |
| WO2012140932A1 (ja) | アクティブバルブ、流体制御装置 | |
| JPH03225086A (ja) | マイクロポンプ | |
| JPH0356342B2 (ja) |