JPS5987642U - 圧電式気圧センサ - Google Patents
圧電式気圧センサInfo
- Publication number
- JPS5987642U JPS5987642U JP18453982U JP18453982U JPS5987642U JP S5987642 U JPS5987642 U JP S5987642U JP 18453982 U JP18453982 U JP 18453982U JP 18453982 U JP18453982 U JP 18453982U JP S5987642 U JPS5987642 U JP S5987642U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- piezoelectric
- pressure sensor
- piezoelectric vibrator
- deforms
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案に係る気圧センサの側断面図、第２図は
同センサで構成する自励振発振回路の一例を示す回路図
である。 １：ダイヤフラム、２：圧電振動子、２ｂ：主電極、２
Ｃ：帰還電極、３：センサーケース、６：通気孔、７：
気圧室。
同センサで構成する自励振発振回路の一例を示す回路図
である。 １：ダイヤフラム、２：圧電振動子、２ｂ：主電極、２
Ｃ：帰還電極、３：センサーケース、６：通気孔、７：
気圧室。
Claims (3)
- （１）気圧変化に応じて歪曲変形するダイヤフラムを持
ち、そのダイヤフラムに高周波電圧を印加する圧電振動
子を一体装着し、ダイヤフラムの歪曲変形で変化する圧
電振動子の発振周波数により気圧を検出可能に構成した
ことを特徴とする圧電式気圧センサ。 - （２）上記圧電振動子が、主電極、対向電極と絶縁分離
した帰還電極を持って自励発振回路を形成するようにさ
れているところの実用新案登録請求の範囲第１項記載の
圧電式気圧センサ。 - （３）上記ダイヤフラムが、センサーケースの通気孔成
形部側と気圧室成形部側とを遮断する隔膜状に張設され
ているところの実用新案登録請求の範囲第１項記載の圧
電式気圧センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18453982U JPS5987642U (ja) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | 圧電式気圧センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18453982U JPS5987642U (ja) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | 圧電式気圧センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5987642U true JPS5987642U (ja) | 1984-06-13 |
Family
ID=30399103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18453982U Pending JPS5987642U (ja) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | 圧電式気圧センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5987642U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5039392A (ja) * | 1973-08-14 | 1975-04-11 |
-
1982
- 1982-12-06 JP JP18453982U patent/JPS5987642U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5039392A (ja) * | 1973-08-14 | 1975-04-11 |
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