JPS598935B2 - 露光装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、露光装置上の所定位置に、感光性膜の塗布
されたカラー受像管用パネルを自動的に搭載して露光し
、その後自動的に離脱するためのパネル自動着脱装置に
関するものである。

通常のカラー受像管の螢光而は、真空外囲器の一部であ
って、かつ面像表示窓となるところの透光性ガラスパネ
ル（以下パネルと略称す）の内面上の所定の位置に塗着
された３種の螢光体素子群と、この螢光体素子の間隙に
設けられたところのコントラストを向上するための光吸
収膜、及び電子線刺激によって螢光体から発した光を有
効にパネル外面に放射するための光反射金属膜とによっ
て積層構成されている如きブラックマトククス型あるい
ビラツクストライプ型が一般的である。

このような型式の螢光向は、パネル面の所定の部分すな
わち螢光体素子が被着されるべきところが開孔となるよ
うに残して他の部分を光吸収材料で塗りつぶし、この後
、所定の開孔に対してそれぞれ３色の螢光体を塗着する
工程順で作られる。

ここで更に《わしく光吸収膜の製造工程について、第１
図および第２図の図面にもとづき説明する。

先ずパネルを酸およびアルカリ性の粟液で洗滌した後、
その内表面に、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を重ク
ロム酸塩で増感した感光性液（フォトレジスト）を塗布
して乾燥し０．５〜１，θμの感光膜とする。

次にこのパネル内１に対となる色選択電極２（マスクと
略称す）を装着して第１図に示すような露光装置に搭載
し、完成後の動作における電子ビームの偏向点に対応す
る位置に設けられた光源３からの光を、規定の配光分布
を得るための補正フィルター４と光路補正するだめのレ
ンズ５および前記マスクの開孔を通して３色それぞれの
電子銃位置に対応する位置からフォトレジスト膜に照射
することによりこの膜面に潜像を作る。

この後、温水をフォトレジスト膜に噴射し、感光して非
水溶性となった部分の膜を残して他を洗い流す。

次に、このフォトレジストパターン上にグラファイト液
を塗着し、乾燥した後、加温した酸化剤溶液（過酸化水
素あるいは過よう素酸カリなど》を注入して光重合した
フォトレジスト膜を分解する。

つづいて温水を加圧噴射することによって分解されたフ
ォトレジストとこの上Ｋ塗布されたグラファイトを除去
する。

このようにしてパネル内面にはマスクの開孔それぞれに
ついて３種の螢光体に対応するドットまたはストライプ
が抜げたグラファイト層の光吸収膜が形成される。

この型のカラー受像管において、光吸収膜の中に形成さ
れたドット状あるいはストライプ状の開孔部は動作時の
発光面となるため、特に開孔寸法の大きさの分布とか開
孔の形状、局部的不均一性などがその品位にきわめて大
きな影響をもたらす、殊に、光吸収膜の製作工程の中で
もフォトレジストの露光条件は微妙であって、パネル外
面に、汚れがあるとか他の物体が接触しているとかする
と光吸収膜の開孔の分布にむらが発生する。

その原因は、次の様に考えられる。

第２図においてマスク２の孔を通った光６は一部フォト
レジスト膜１１に吸収されＰＶＡの重合に費されるが、
他の光１の大部分はパネル１中を透過しパネルの外面に
達する。

この点はガラスと空気との界面であるので更に一部の光
が反射光８となってフォトレジスト膜上に戻りＰＶＡの
反尾、に寄与する。

パネルの外面が一様にきれいであれば反射光の影響の程
度はパネル全面にわたって均一となるので問題は起こら
ない。

ところがパネル外面に他の物体が接触ないしは近接して
いると反射光の強さが変化する為に局部的に潜像の大き
さが変わってむらとなる。

従来、フォトレジストが塗着されたパネルにマスクを装
着して露光機に載せる作業は人手によって行なわれてい
たが、パネルの大型化や作業の合理化などのために装置
の自動化が進んできた。

そこで、パネルを塗着機から露光機へ運んだり、逆に露
光の完了したものを現像機へ載せ替えする際にニハネル
を保持する方法として、パネル外面を真空吸盤で吸着す
るとか、パネルの外周部を機械的に挾み合せる方法が一
般に用いられている。

しかしながら、この真空吸盤ないしは挾合器が露光時間
中にパネル而に接していると前に述べた様な反射光の変
化に起因してむらが生じ艮好な光吸収膜が得られない。

第３図は本発明の一実施例としてパネル自動着脱方法を
説．明するための概略図であって、この装置は露光機１
２とパネル搭載機１３を組合せて構成されている。

まず塗着機から送られてきたパネルは鎖線で示す位置Ａ
に待機するパネル搭載機１３の真空吸盤１４上に、パネ
ル外面を下にして載置される。

すると真空吸盤１４に連結された真空装置１５が働？き
パネルを吸着し固定する。

次にパネル搭載機１３の駆動軸１６が反時計方向に１８
０°回転し、定位置Ｂに停止して吸盤の軸につながるエ
アシリンダ１７を伸ばしパネルを露光機１２上の所定の
位置に載せる。

この状態で露光を行なうと、パネルに密着しているゴ
ム吸盤が、パネルガラスを透過してきた光を吸収するた
めに反射光が減少しその部分のレジストドットあるいは
ストライプが小さ《なり吸盤の形状のむらが発生する。

したがって、パネルを露光機上に設置した後吸着を解除
してエアシリンダを縮め吸盤をパネル面から１０ｍｍ程
度離し、露光を開始する。

露光が完了すると吸吸盤に結合されているエアシリンダ
を再度伸ばしてパネルる吸着し、駆動軸１６を時計方向
に回転させてＡの位置にもどる。

吸盤の真空を解除しパネルのみを現像機へ乗せ替えて後
工程に続《。

以上の様な、露光機へのパネルの自動着脱方法に依ると
パネル保持器に関係するむらのない光吸収膜が得られる
。

ここではパネル保持器として吸排を使用した場合につい
て述べたが機械的にパネル周辺部を挾み合わせる様な方
法の場合であってもパネル画面に近い部分に挾合器が接
する構造であれば露光時にはこれが離れている状態にす
るのが好ましい。

また、この発明の適用は光吸収膜作成時の露光工程のみ
ならず螢光体素子の露光工程をも包含するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は螢光面の作成に用いられる露光装置の概要を示
す断面図であって、１はパネル、２はマスク、３は光源
、４は補正フィルター、５はレンズ、９はシャッター、
１０はシャッター駆動機構である。 第２図はパネル外面の反射光の影を説明するための図で
、６はマスク通過光、１はパネルガラスを透過して外面
に達する光、８はパネノレ外面からの反射光、１１はフ
ォトレジスト膜である。 第３図は本発明のパネル自動着脱方法を説明する図で、
１２は露光機、１３はパネル搭載機、１４は真空吸盤、
１５は真空装置、１６は駆動軸、１γはエアシリンダー
である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ パネルの内表面上に塗着された感光性膜を感光させ
   、パネル内面に感光膜様を形成するための露光装置であ
   って、上記パネルを保持するパネル保持器と、このパネ
   ル保持器を上記パネルに対して着脱させるための装置と
   、上記パネル保持器および装置を移動させて上記パネル
   を露光機に設置するパネル搭載機とを備え、上記露光機
   が動作状態のとき、上記装置によって上記パネル保持器
   をパネルから離脱させるようにしたことを特徴とする露
   光装置。