JPS5989537U - パタ−ン被検査体 - Google Patents
パタ−ン被検査体Info
- Publication number
- JPS5989537U JPS5989537U JP18492982U JP18492982U JPS5989537U JP S5989537 U JPS5989537 U JP S5989537U JP 18492982 U JP18492982 U JP 18492982U JP 18492982 U JP18492982 U JP 18492982U JP S5989537 U JPS5989537 U JP S5989537U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- fine pattern
- inspected object
- patterned object
- ink film
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案のパターン被検査体の一実施例を示す平面
図である。 １・・・基板、２・・・微細パターン、３・・・断裁線
、４・・・間隔、５・・・目印、６・・・欠陥。
図である。 １・・・基板、２・・・微細パターン、３・・・断裁線
、４・・・間隔、５・・・目印、６・・・欠陥。
Claims (2)
- （１）基板上に検査対象の微細パターンが間隔をおいて
多数形成され、各微細ノ〈ターンを仕切る如く断裁線が
設けられてなるパターン被検査体において、各微細パタ
ーンの良否に対応して磁性インキ膜からなる目印が微細
パターンと前記断裁線との間隙に施されてなることを特
徴とするパターン被検査体。 - （２）目印の磁性インキ膜の仮想的直径が０．２〜１゜
０ｒｒｒｒｎである実用新案登録請求の範囲第１項記載
のパターン被検査体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18492982U JPS5989537U (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | パタ−ン被検査体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18492982U JPS5989537U (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | パタ−ン被検査体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5989537U true JPS5989537U (ja) | 1984-06-18 |
Family
ID=30399840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18492982U Pending JPS5989537U (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | パタ−ン被検査体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5989537U (ja) |
-
1982
- 1982-12-07 JP JP18492982U patent/JPS5989537U/ja active Pending
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