JPS5990932A

JPS5990932A - ペレツトマウント装置

Info

Publication number: JPS5990932A
Application number: JP57199766A
Authority: JP
Inventors: Teruo Kusakari; 草苅　照雄
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1982-11-16
Filing date: 1982-11-16
Publication date: 1984-05-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕この発ＱＩＪは、半導体ベレット等をリードフレーム等
に自動的に搭載するためのベレットマウント装置に関し
、さらに詳細にはゲージング装置等の不要な改良された
ベレットマウント装置に関するものである。

〔発明の技術的背景〕

ＩＣまたはトランジスタ等の半導体ベレットをリードフ
レーム上の所定位置に自動的に搭載させるダイボンダす
なわちベレットマウント装置は、高速動作しうるように
一般にビックアンドプレース機能のみを備えているが、
ペレットの方位の位置決めすなわち方位の割出しを行う
機能を有していない。従って、従来のベレットマウント
装置においては、ピックアンドプレース機能のみを有し
たベレットマウント装置本体のｌｉかにペレットの割出
し回転をするためのゲージング装置を必要としたが、こ
のような構成の従来装置には以下に述べるような種々の
問題点があった。

〔背景技術の問題点〕

以下に、従来装置の問題点を明らかにする前に、第１図
及び第２図を参照して従来装置の構造について説明する
。

第１図は従来のベレットマウント装置本体の概略構造を
示す側面図である。該ベレットマウンｉ・装置本体は、
装置の基台２と、基台２土に設けられた昇降台６七を有
している。昇降台３は複数の案内杆４の上端に固定され
ており、該案内杆４は基台２に固定された軸受５に支持
されて図示矢印への如く鉛直方向に土工動するようにな
っている。

昇降台６には溝付きローラ６及び溝無しローラ７からな
る二対のローラ対が設けられており、これらのローラ対
によって図示矢印Ｂの如く軸方向運動のみ可能に摺動杆
８が担持されている。その摺動杆８の先端には上下方向
の孔が設けられたブロック９が固定されており、該孔内
には該ブロック９に対して上下方向に相対移動しうるよ
うに吸引管１０が挿入され、吸引管１０は該ブロック内
に設けられたばね等の附勢装置に↓って常に下向きに附
勢されている。吸引管１０の下端にはペレットを吸着す
るための吸着ノズルすなわち吸着具１１が固定されてい
る。

昇降台６と摺動杆８とをそれぞれＡ、Ｂの方向に駆動す
るだめのカム軸１２と一対のカム１６及び１４とが基台
２に装備され、カム軸１２は図示せぬモータにより一方
向に回転駆動されている。カム１６は昇降台６の駆動カ
ムであり、カム１６に係合するフォロワーローラ１５が
昇降台６の下端に回転可能に取付けられている。またカ
ム１６と７オロワーローラ１５とを常に圧接させておく
ばね１６が設けられており、ばね１６の一端が昇降台６
に取付けられた係止具１７に係止される一方、ばね１６
の他端は基台２に固定されたピン１８に係止されている
。

摺動杆８を矢印Ｂ方向に駆動するだめの駆動機構は、前
記カム軸１２と、それに取り付けられたカム１４と、カ
ム１４と摺動杆８との間に介装されたレバー機構とから
成っている。また、該レバー機構は、（ａ）枢着ピン１
９によって下端を基台２に枢着されたレバー２０、（ｂ
）レバー２０に回転可能に状の係合部８ａに係合すると
ともにレバー２０の先端に回転可能に取り付けられてい
る係合ローラ２２、（ｄ）係合部８ａと係合ローラ２２
及びカム１４とフォロワーローラ２１をそれぞれ互に圧
接させておくためにし・・−２０の上端のばね係止部２
０ａと摺動杆８のばね係止部８ｂとの間に張設されたば
ね２６等の部拐によって構成されている。

前記のごとき構造の従来のペレットマウント装置に対し
て、第１図の■の位置にはＸ−Ｙステージ（図示せず）
のシート２４上に貼付されたペレッ）Ｐが紙面に直交す
るよう忙送シ込まれ、該ペレットの有無やペレットの姿
勢等が図示せぬ視覚検出装置によって認識されるように
なっている。

また１１の位置には紙面に直交する方向に送シ込まれて
くるリードフレームＬが定位されるようになっており、
ベレットマウント装置によりシート２４土からピックア
ップしたペレットＰがこのリードフレームＬの所定位置
にマウントされる。

■と■との間の位置ＩＩＩには、ペレッ）Ｐを鉛直＋Ｉ
Ｚを中心として所定角度だけ回転させるためのゲージン
グ装置２５が設置されている。この装置２５は、例えば
第２図に示すように、リードフレームＬのマウントパッ
ドの平面直交座標系Ｘ’−Ｙ’とペレットの平面直交座
標系Ｘ−Ｙとが一致しなイ場合（すなわちリードフレー
ムのペレット貼付場所の方位とペレットの方位が一致し
ない場合）にペレッ）Ｐを角度θだけ補正回転させるた
めの装置であシ、このゲージング装置２５は第２図に示
すようにペレットＰの外周縁に係合する爪２５ａを有し
ており、爪２５ａは回転機構等に装着されている。

上記の如き構成の従来のベレットマウント装置において
は、以下に記載する種々の問題点があった。

（ｉ）ゲージング時に爪２５ａとペレットとの係合によ
シ、ペレットの外周縁部が損傷されることが多く、従っ
てマウント歩留りの低下やＩＣ等の品質事故の発生を招
来していた。

（ｉｏ爪２５ａをペレットサイズに対応して交換しなけ
ればならないので、装置の稼動率が低くなり、ＩＣ等の
コストを高くする原因となっていた。またゲージング装
置の装置価格が高く爪などの交換部品を要する投資設備
類が多くこの点からもコスト高の原因となっていた。

（ｉｉｉ）装置の稼動率が低下することは次の場合にも
屡々起こる。す、なわちペレットをリードフレームのマ
ウントパッド上に特定の角度にマウントする必要がある
とき、シート２４上に貼付されているペレットの方位も
ゲージング装置の爪の装着方位も共に上記特定の角度に
適合するように予じめ調整しなければならず、このため
膨大な時間が不稼動になるのである。

（１ｖ）ペレットマウント装置本体がペレットをシート
上のペレットの位置Ｉからゲージング部ＩＩＩに搬送し
、次いでゲージング部１１１からリードフレームの位置
１■に搬送するという二段階搬送をしなければならず、
その上ゲージング装置を設けているため、ペレットマウ
ント装置全体が大形になって設備類や設備占有面積が大
となり、やはり製品コスト高の原因となっていた。

〔発明の目的〕

この発明の目的は、前記従来装置の問題点を解決し、ペ
レットの損傷を生ずることがなく、装置稼動率が高く、
また装置全体がコンパクトな改良されたペレットマウン
ト装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

この発明の特徴は、ペレットマウント装置がそれ自身の
中にペレット割出し回転機構とＸ−Ｙステージを備えて
おり、これにより従来のゲージング装置を要しないペレ
ットマウント装置を構成できることにある。すなわちこ
の発明によるペレットマウント装置は完全なピックアン
ドプレース機能のほかに割出し回転機能を備えているの
で、従来のゲージング装置を要せず、従ってシート上の
ペレットをリードフレームの定位置へ一段階で搬送する
ペレットマウント装置を構成することができる。

〔発明の実施例〕

以下に第６図乃至第６図を参照してこの発明の実施例に
ついて説明する。

第６図乃至第６．図・ｋおいて、２６ｄ、ペレットを吸
着するための吸着具、（吸着へラド〕、２７は吸着具２
６が着脱可能に取り付けられた中空軸であり、中空軸２
７はブツシュ２８に緩挿されるとともに筒状のブラケッ
ト２９に回転可能及び軸方向運動可能に支持されている
。ブラケット２９はボルト等によってフレーム６０に固
定されており、フレーム６０は図示矢印Ｃの方向に往復
動しうるように基台１（第４図）に横方向移動可能に支
持されている。フレーム６０にはその長手方向に直交す
るボルト６１が突設され、ボルト３１にはロッドエンド
６２が取り付けられている。またロッドエンド６２には
フレーム６０と平行して延在するロッド６６が取り付け
られ、ロッド６６の他端には鉛直面内で揺動するレバー
４９の先端が枢着されている。レバー４９の基端は基台
１に回転可能に支持された軸５０に固定されており、し
、＜−４９は軸５０とともに矢印Ｆ方向に揺動すること
ができる。軸５０にはまた、短かいレバー５１が固定さ
れ、該レバー５１は軸５０及びレバー４９と一体となっ
てベルクランクを形成している。レバー５１には第一の
フォロワーローラ５２が取り付けられ、また、他のレバ
ー４９の中間には第二のフォロワーローラ５３が取シ付
けられており、それぞれのフォロワーローラ５２及び５
３は同一のカム軸５４上の二つのカム５５及び５６の各
々に係合している。カム軸５４はモータＭによりベルト
４４を介して駆動されている。これらの二つのカム５５
及び５６は互いに共役な関係となるように設計されてお
り、レバー４９は常に２個のカム５５及び５６による制
御を受けている。レバー４９及び５１．ロッド６６、カ
ム５５及び５６．フォロワーローラ５２及び５６は吸着
具２６を水平方向に運動させるだめの横方向移動機構を
構成しており、壕だ、後に説明する軸方向運動機構とと
もにピックアンドプレース機能を構成している。

フレーム６０には上方に延在する別のブラケット６５が
着脱可能に取り付けられており、このブラケット６５の
最上部には後に説明する割出し用回転機構のパルスモー
タ６６がそのＩＩＩＩＩ線を中空軸２７の軸線と一致す
るように取りイ」けられている。

またブラケット６５の中間部分には軸孔が貫設されると
ともに該軸孔の両端部すなわちブラケノ１−６５の両側
面にはベアリングを収容するだめの凹部が形成されてお
り、該凹部にはそれぞれ球軸受３７　、３８　（第５図
も参照のこと）が嵌装されるとともに、球軸受３７　、
３８によって支持された水平な軸６９がブラケット６５
の該軸孔に貫挿されている。この軸６９は第５図に示さ
れるようにその中央部近傍において２個の球軸受３７　
、３８によって支持されるとともにその両端部は第６図
に示すようにそれぞれの球軸受から側方へ突出している
。

そして軸６９の一方の突出端には第４図乃至第６図に示
すように上下方向に延在するレバー４０の上端が枢着さ
れており、レバー４０の下端は第６図乃至第５図に示す
ようにロッドエンドジヨイント４２を介して水平なロッ
ド４６に連結されている。

口、ド４３の他端は第４図に示すように前記横方向移動
機構のレバー４９と同様なレバー４１の先端に枢着され
、レバー４１の基端は第６図に示すように基台１に回転
可能に支持された軸５７に固定されている。軸５７には
また、前記レバー５１と同じ短かいレバー（図示せず）
が固定され、このレバーの先端にはフォロワーローラ５
８が取りイ」けられている。フォロワーローラ５８は前
記ツメロワーローラ５２と同様にカム５９に係合してい
る。

カム軸５４にはカム５９と共役なカム６０が固定され、
カム６０には前記フォロワーローラ５６と同様に７オロ
ワーローラ６１が係合している。フォロワーローラ６１
は前記フォロワーローラ５６と同じく、レバー４１の中
間部に取シ付けらねている。

一方、両球軸受５７　、３８から突出した軸３９の両端
部には第６図及び第５図に示すようにほぼ水平方向に延
在する一対のアーム４５が取り付けられており、両アー
ム４５の先端には軸４６が突設され、軸４６には球軸受
すなわちロー２４７が回転可能に取り付けられている。

このローラ４７は中空軸２７の上部に形成された一対の
上下フランジ２７ａ　、　２７ｂ間に挿入されており、
上下フランジ２７ａ　、　２７ｂの各々と転り接触をし
ている。

以上の説明から、レバー４０及び４１、ロッド４５゜該
レバーを駆動する。カム５９及び６０、軸６９、アーム
４５及び中空軸２７は、吸着具２６を軸線方向に運動さ
せるだめの軸方向運動機構を構成していることが理解で
きよう。

中空軸２７の上端には軸方向スリッ）　４８ａを有した
スリーブ４８が中空軸２７に対して相対的軸方向運動を
しうるように嵌装されており、中空軸２７の上端部外周
面に突設されたピン２７ｃがスリーブ４８の軸方向スリ
ッ）　４８ａ内に軸方向に相対摺動可能に挿入されてい
る。一方スリーブ４８の上端側はパルスモータ６６のモ
ータ軸６６ａ対して嵌着されており、スリーブ４８はモ
ータ軸３６ａとともに一体に回転しうるようになってい
る。

パルスモータ６６及びスリーブ４８並びに中空軸２７は
割出し用回転機構を構成しており、パルスモータ６６に
は図示せぬ制御装置から割出し回転信号が印加されて中
空軸２７に所定の割出し回転が−りえられる。

なお、中空軸２７には図示せぬコネクタを介して真空吸
引管が接続されており、該真空吸引管を介して中空軸２
７内に適時生せしめられる負圧によって吸着具２６にペ
レットを吸着したり解放したりする操作が行われる。Ｉ
ｆｒ前記の割出し回転機構、軸方向運動機構及び横方向
移動機構を担持している基台１はＸ−Ｙテーブル（図示
せず）上に支持されている。

次に前記構成のペレットマウント装置の各部の作動につ
いて第６図乃至第６図を参照して説明する。

シート２４上に載置されたペレットＰが第６図の１の位
置に紙面と直交する方向から搬入されてくると、まず視
覚装置（図示せず〕によってシート」二のペレットＰの
姿勢が検出され、それが視覚装置に接続された記憶装置
に記憶される。カム軸５４及びカム５５及び５６の同転
に伴ってフォロワーローラ５２及び５６を介してレバー
４９が第４図において右側に揺動され、これによりロッ
ド６６を介してフレーム６０は第６図の矢印りの方向へ
水平に動かされる。この水平運動の終期にカム５９及び
６０によりツメロワーローラ５８及び６１を介してレバ
ー４１が第４図において反時劇方向に揺動され、その結
果、ロッド４３、レバー４０、軸６９、アーム４５、ロ
ーラ４７を介して中空軸２７が下降され、この下降運動
はル−ツ、６０のＤ方向の水平運動が終了した後も継続
する。この時、吸着具２６はシート２４上のペレットＰ
の真上の位置にあり、下降運動の継続により吸着具２６
はペレットＰに接近する。下降運動終了後、中空軸２７
内に負圧が導入され、これによシペレットＰは吸着具２
６に吸着される。吸着終了後、カム５９及び６００回転
に伴ってレバー４１は第４図において時計方向に揺動さ
れ、ロッド４３、レバー４０、軸６９、アーム４５、ロ
ーラ４７を介して中空軸２７が上列される。上昇運動の
終了前からカッ、５５及び５６の回転に伴ってフレーム
６０が第６図の矢印Ｅの方向に移動し始め、その後ベレ
ッ）Ｐは最終的にリードフレームＬの直上の位置にまで
搬送される。

この間に、先に視覚装置で検出された情報に基いて制御
装置ではリードフレームＬ上でペレット接着位置の中心
座標及び座標軸の方向とシート２４」二でのペレットの
初期位置の中心座標及び座標軸の方向とが比較され、そ
の結果、最終的にどれ位Ｘ−Ｙ平面内で移動させ且つＺ
軸（鉛直方向）のまわりにどれ位補正回転させるべきか
が演算されている。そしてこの演算結果に基いて、Ｘ−
’Ｙテーブルにはペレットの接着位置まで移動距離と７
３１４標とが入力信号として印加され、またパルスモー
タ６６にはペレットに与えるべき補正回転角が入力信号
として印加される。

従って基台１を担持しているＸ−Ｙテーブル（これは図
には示されていないっけペレットの最終到達点において
更にペレット中心とリードフレームにおけるペレット接
着位置の中心とが合致するように動かされ、他方、パル
スモータ３６は前記入力信号に基いてペレットを鉛直軸
線まわりに所定角度回転させる。その結果、ペレットが
ペレットマウント装置によって吸着されたままでリード
フレームＬ上のペレット接着位置に対して位置決めされ
るとともに所定の方位に割出しされる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明のペレットマウ
ント装置においては、吸着具を上下方向に運動させるた
めの軸線方向運動機構と、吸着具をその軸線に対し横方
向に運動させるための横方向移動機構とが具備されてい
るのに加えて、吸着具をその軸線を中心として割出し回
転させるための回転機構が装備されているので、従来の
ペレットマウント装置置に必要であったゲージング装置
が不要となり、その結果ゲージング爪によるペレットの
損傷を未然に防止することができるとともに装置全体が
コンパクトにかつ安価に構成できる。

また本発明によればゲージング装置を要しないペレット
マウント装置を構成できるので、ゲージング爪の交換な
どの必要がなく、稼動率の高いペレットマウント装置と
することができる。

なお、前記実施例では軸方向運動機構及び横方向移動機
構がカム及びレバーからなる機構並びにリンク機構によ
って構成されているが、カム及びリンク機構以外のいか
なる機構によって構成されてもより、壕だ前記実施例で
は回転機構がパルスモータによって構成されているが、
エンコーダと直流サーボモータの組合せなどパルスモー
タ以外のいかなるサーボ機構によって構成されてもよい
ことは勿論である。すなわち、本発明は実施例の具体的
構造の細部によって限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のベレットマウント装置の概略側面図、第
２図は従来装置の問題点の一つを説明する説明図である
とともにマウントすべきペレットの平面図、第６図は本
発明一実施例のベレットマウント装置の先端部側面図、
第４図に第６図に連なる部分の側面図、第５図はｉ３図
の右側からみた正面図、第６図は第４図の左側から見た
背面図、である。１．２・・・基台、３・・・昇降台、４・・・案内杆、
８・・・摺動杆、１１・・・吸着具、Ｐ・・・ペレット
、１２・・・カム軸、１３　、１４・・・力！８．１５
　、２１・・・フォロワーローラ、２５・・・ゲージン
グ装置、２５ａ・・・爪、Ｌ・・リードフレーム、１３
Ａ・・・カム、２６・・・吸着具、２７・・・中空軸、
２７ａ　、　２７ｂ・・・フランジ、２７Ｃ・・・ビン
、２９・・・ブラケット、６０°・・フレーム、３６・
・・ロッ　ド、３５・・・ブラケット、６６・・パルス
モータ、３７　、５８・・・球軸受、６９・・・ＯＬ　
　４０　、４１・・・レバー、４６・・・ロッド、４４
・・ベルｌ−１４５・・・アーム、４７・・・ローラ、
４８・・・スリーブ、４８ａ・・・スリット、４９・・
・レバー、５２．５３・・・フォロワーローラ、５４・
・・カム軸、５５　、５６　・・・カム、５０　、５７
・・・軸、５８．６１・・・フォロワーローラ、５９゜
６０・・・カム。特許出願人　東京芝浦電気株式会社第４図５１１５１− 第５図

Claims

【特許請求の範囲】

１　ペレットを吸着する吸着具と、該吸着具に連結され
て該吸着具をその軸線を中心として割出し回転させる回
転機構と、該回転機構に連係して該吸着具を軸線方向に
運動せしめる軸方向運動機構と、該回転機構及び該軸方
向運動機構並びに該吸着具を該軸線に交差する方向に運
動せしめ、る横方向移動機構と１、上記三機構を担持し
たＸ−Ｙテーブルとを具備してなるベレットマウント装
置。