JPS5991360U - 反応性蒸着膜形成装置 - Google Patents

反応性蒸着膜形成装置

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JPS5991360U
JPS5991360U JP18734982U JP18734982U JPS5991360U JP S5991360 U JPS5991360 U JP S5991360U JP 18734982 U JP18734982 U JP 18734982U JP 18734982 U JP18734982 U JP 18734982U JP S5991360 U JPS5991360 U JP S5991360U
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JP
Japan
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rail
vapor deposition
deposition film
reactive vapor
film forming
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JP18734982U
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JPH0238927Y2 (ja
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竹内　広達
俊雄 御器谷
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Shiroki Corp
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Shiroki Corp
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Publication date
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    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/40—Solar thermal energy, e.g. solar towers

Landscapes

  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は、この考案の一実施例を示すもので、第１図はこ
の考案の概略正面図、第２図は第１図の■−■線一部省
略拡大断面図、第３図は筒形チャンバーからカル−セル
アッセンブリを移動させる状態を示す説明図、第４図は
この考案の概略平面図、第５図は第４図に示すレールの
切替部を示す拡大平面図、第６図はカル−セルアッセン
ブリをレール上に支持する支持体の底部に設けた車輪を
示す拡大縦断面図である。 １・・・筒形チャンバー、２・・・被処理物、１１・・
・主レール、１２・・・待機レール、１３・・・切替ポ
イント、１６・・・カル−セルアッセンブリ、１７・・
・ホルダー、１８・・・蓋、１９・・・車輪。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被処理物の外表面に反応性蒸着膜を形成する筒形チャン
    バーを床面上に水平に設置し、同筒形チャンバーの軸心
    線と平行な主レールと直交する待機レールを床面上に同
    一高さに敷設して、該レール上に被処理物を水平に支持
    するホルダーと該ホルダーの基部側に上記筒形チャンバ
    ー閉鎖用の蓋を具えたカル−セルアッセンブリを走行自
    在に載せ、上記主レールと待機レールの交叉部には９０
    °旋回式の切換ポイントを設けるとともに、カル−セル
    アッセンブリには該切替ポイントの旋回に追従して水平
    に旋回する車輪を設けたことを特徴とする、反応性蒸着
    膜形成装置。
JP18734982U 1982-12-12 1982-12-12 反応性蒸着膜形成装置 Granted JPS5991360U (ja)

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JP18734982U JPS5991360U (ja) 1982-12-12 1982-12-12 反応性蒸着膜形成装置

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JPS5991360U true JPS5991360U (ja) 1984-06-21
JPH0238927Y2 JPH0238927Y2 (ja) 1990-10-19

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52150790A (en) * 1976-06-10 1977-12-14 Univ Sydney Process and apparatus for reactionary vacuum evaporation
JPS5732368A (en) * 1980-08-05 1982-02-22 Ulvac Corp Vacuum treating apparatus
JPS5912867U (ja) * 1982-07-19 1984-01-26 富士電機株式会社 電子写真用感光体製造装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52150790A (en) * 1976-06-10 1977-12-14 Univ Sydney Process and apparatus for reactionary vacuum evaporation
JPS5732368A (en) * 1980-08-05 1982-02-22 Ulvac Corp Vacuum treating apparatus
JPS5912867U (ja) * 1982-07-19 1984-01-26 富士電機株式会社 電子写真用感光体製造装置

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JPH0238927Y2 (ja) 1990-10-19

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