JPS5991693U - 赤外線加熱処理装置 - Google Patents
赤外線加熱処理装置Info
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- JPS5991693U JPS5991693U JP18882882U JP18882882U JPS5991693U JP S5991693 U JPS5991693 U JP S5991693U JP 18882882 U JP18882882 U JP 18882882U JP 18882882 U JP18882882 U JP 18882882U JP S5991693 U JPS5991693 U JP S5991693U
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- JP
- Japan
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- heat treatment
- infrared heat
- semiconductor substrate
- treatment equipment
- support stand
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 4
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- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置の基本的構造の概要断面図、第２図は
本考案実施例装置の基本的構造の概要断面図、第３図は
同装置の平面概略図、第４図は本考案の他の実施例装置
の要部概要断面図である。 １・・・・・・グラファイトヒータ、２・・・・・・シ
ャッタ、３・・・・・・支持台、４・・・・・・被処理
用基板、６・・・・・・凹状部。
本考案実施例装置の基本的構造の概要断面図、第３図は
同装置の平面概略図、第４図は本考案の他の実施例装置
の要部概要断面図である。 １・・・・・・グラファイトヒータ、２・・・・・・シ
ャッタ、３・・・・・・支持台、４・・・・・・被処理
用基板、６・・・・・・凹状部。
Claims (1)
- 半導体基板を加熱する加熱部と、この加熱部により加熱
される半導体基板を支持する支持台とを有し、前記支持
台の前記半導体基板を載置する載置部には前記半導体基
板径より径小な凹状部を有する赤外線加熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18882882U JPS5991693U (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 赤外線加熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18882882U JPS5991693U (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 赤外線加熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5991693U true JPS5991693U (ja) | 1984-06-21 |
Family
ID=30407264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18882882U Pending JPS5991693U (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 赤外線加熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5991693U (ja) |
-
1982
- 1982-12-13 JP JP18882882U patent/JPS5991693U/ja active Pending
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