JPS5991734U - クライオスタツト用試料搭載部 - Google Patents

クライオスタツト用試料搭載部

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Publication number
JPS5991734U
JPS5991734U JP1982187176U JP18717682U JPS5991734U JP S5991734 U JPS5991734 U JP S5991734U JP 1982187176 U JP1982187176 U JP 1982187176U JP 18717682 U JP18717682 U JP 18717682U JP S5991734 U JPS5991734 U JP S5991734U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cryostat
loading section
sample loading
section
sample mounting
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982187176U
Other languages
English (en)
Inventor
啓太郎 森
強 望月
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SPC Electronics Corp
Original Assignee
SPC Electronics Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by SPC Electronics Corp filed Critical SPC Electronics Corp
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Publication of JPS5991734U publication Critical patent/JPS5991734U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のクライオスタットの縦断面図、第２図は
本考案に係る試料搭載部の実施例を内蔵したクライオス
タットの一例を示す縦断面図、第３図は本実施例で用い
ている発熱部の分解斜視図である。 ４・・・・・・試料槽、５・・・・・・試料搭載部、Ｓ
・・・・・・ウェーハ状試料、６・・・・・・脚、７・
・・・・・冷却部、８・・・・・・発熱部、２４・・・
・・・試料搭載面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 発熱部の上に電気絶縁して冷却部が重ねて設けられ、前
    記冷却部の表面が試料搭載面となっていることを特徴と
    するクライオスタット用試料搭載部。
JP1982187176U 1982-12-13 1982-12-13 クライオスタツト用試料搭載部 Pending JPS5991734U (ja)

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JP1982187176U JPS5991734U (ja) 1982-12-13 1982-12-13 クライオスタツト用試料搭載部

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JP1982187176U JPS5991734U (ja) 1982-12-13 1982-12-13 クライオスタツト用試料搭載部

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5991734U true JPS5991734U (ja) 1984-06-21

Family

ID=30404100

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1982187176U Pending JPS5991734U (ja) 1982-12-13 1982-12-13 クライオスタツト用試料搭載部

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5991734U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57160141A (en) * 1981-03-27 1982-10-02 Nec Kyushu Ltd Device for inspecting semiconductor substrate

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57160141A (en) * 1981-03-27 1982-10-02 Nec Kyushu Ltd Device for inspecting semiconductor substrate

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