JPS5992323A - 差動圧力トランスジユ−サ - Google Patents
差動圧力トランスジユ−サInfo
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- JPS5992323A JPS5992323A JP58190028A JP19002883A JPS5992323A JP S5992323 A JPS5992323 A JP S5992323A JP 58190028 A JP58190028 A JP 58190028A JP 19002883 A JP19002883 A JP 19002883A JP S5992323 A JPS5992323 A JP S5992323A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
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- Ceramic Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本体と、少くとも２つの導電性ダイアフラムとを具える
差動圧カトランスジューサであって、前記のダイアフラ
ムがフィルム状電極の各々と相俟ってキャバシタンスを
形成し、このキャパシ゛タンスヲタイアフラムの偏向量
に依存させ、前記のフィルム状電極とダイアスラムとを
以って、液体が充填された密封連通室を形成した差動圧
カトランスジューサに関するものであ°る。
差動圧カトランスジューサであって、前記のダイアフラ
ムがフィルム状電極の各々と相俟ってキャバシタンスを
形成し、このキャパシ゛タンスヲタイアフラムの偏向量
に依存させ、前記のフィルム状電極とダイアスラムとを
以って、液体が充填された密封連通室を形成した差動圧
カトランスジューサに関するものであ°る。
差動圧力トランスジユーサはダクト中の孔を流れる液体
の流量を決定する流量測定装置に用いられており、この
流量は、差動圧力トランスジユーサにより孔の両側で測
定した圧力の降下に基づくものである。
の流量を決定する流量測定装置に用いられており、この
流量は、差動圧力トランスジユーサにより孔の両側で測
定した圧力の降下に基づくものである。
ドイツ連邦共和国特許公開第２８６４０２７号明細書に
は、金属性の中空円筒体より成りその面に圧力測定用の
ダイアフラムを溶接した差動圧力トランスジューサが記
載されている。この中空円筒体には絶縁材料が充填され
ている。これらのダイアフラムは、非圧縮性の液体が充
填され互いに連通した室を囲んでおり、前記の絶縁側斜
上に設けられたフィルム状電極と相俟ってコンデンサを
構成し、これらコンデンサのキャパシタンスは圧力によ
り生せしめられるダイアフラムの偏向量に依存する。こ
れらダイアフラムは金属から成っており、電気回路の一
部を構成する。金属性のダイアフラムは笥５位を有しう
る為、これらダイアプラムと装置の接地部分との間のス
パークを防止することができない。従って、既知の差動
圧力トランスジユーサによって爆発性の液体の流量を測
定する場合、爆発が生じるおそれがある。
は、金属性の中空円筒体より成りその面に圧力測定用の
ダイアフラムを溶接した差動圧力トランスジューサが記
載されている。この中空円筒体には絶縁材料が充填され
ている。これらのダイアフラムは、非圧縮性の液体が充
填され互いに連通した室を囲んでおり、前記の絶縁側斜
上に設けられたフィルム状電極と相俟ってコンデンサを
構成し、これらコンデンサのキャパシタンスは圧力によ
り生せしめられるダイアフラムの偏向量に依存する。こ
れらダイアフラムは金属から成っており、電気回路の一
部を構成する。金属性のダイアフラムは笥５位を有しう
る為、これらダイアプラムと装置の接地部分との間のス
パークを防止することができない。従って、既知の差動
圧力トランスジユーサによって爆発性の液体の流量を測
定する場合、爆発が生じるおそれがある。
本発明の目的は、爆発性の液体或いは気体の流ｆｉｌｌ
定にも適している差動圧力トランスジユーサを提供せん
とするにある。
定にも適している差動圧力トランスジユーサを提供せん
とするにある。
本発明は、フィルム状電極を設けた絶縁材料の本体と、
少くとも２つの導電性ダイアフラムとを具える差動圧力
トランスジユーサであって、前記のダイアフラムがフィ
ルム状電極の各々と相俟つてキャパシタンスを形成し、
このキャパシタンスをダイアフラムの偏向量に依存させ
、前記のフィルム状電極とダイアフラムとを以って、液
体が充填された密封連通室を形成した差動圧力トランス
ジユーサにおいて、ダイアプラムを絶縁材料から造り、
本体に面するこれらダイアフラムの面上にフィルム状電
極を設けたことを特徴とする。
少くとも２つの導電性ダイアフラムとを具える差動圧力
トランスジユーサであって、前記のダイアフラムがフィ
ルム状電極の各々と相俟つてキャパシタンスを形成し、
このキャパシタンスをダイアフラムの偏向量に依存させ
、前記のフィルム状電極とダイアフラムとを以って、液
体が充填された密封連通室を形成した差動圧力トランス
ジユーサにおいて、ダイアプラムを絶縁材料から造り、
本体に面するこれらダイアフラムの面上にフィルム状電
極を設けたことを特徴とする。
本発明による差動圧力トランスジユーサの外側には、電
圧を与えうる電気リード線を設けない。
圧を与えうる電気リード線を設けない。
本発明の一例においては、絶縁材料を酸化アルミニウム
セラミックとＴるのが好ましいセラミック材料とする。
セラミックとＴるのが好ましいセラミック材料とする。
セラミック、特に酸化アルミニウムセラミックは化学的
に侵食性の液体や気体に著しく耐え、圧力下でプラスチ
ックのようＧ．：変形せず、圧力的且つ熱的な負荷耐力
が大きい。
に侵食性の液体や気体に著しく耐え、圧力下でプラスチ
ックのようＧ．：変形せず、圧力的且つ熱的な負荷耐力
が大きい。
本体とダイアフラムとを接合剤の離間リングによって互
いに連結する場合には、これら離間リングの厚さを選択
することにより電極の間隔、従って測定コンデンサのキ
ャパシタンスを調整することができる。
いに連結する場合には、これら離間リングの厚さを選択
することにより電極の間隔、従って測定コンデンサのキ
ャパシタンスを調整することができる。
本体とダイアフラムとの双方またはいずれか一方に対向
面上で支持体を設ける場合には、ダイアプラムの偏向量
が許容範囲に制御＠され、従って圧力差が過度に大きい
場合にダイアプラムの損傷が防止される。
面上で支持体を設ける場合には、ダイアプラムの偏向量
が許容範囲に制御＠され、従って圧力差が過度に大きい
場合にダイアプラムの損傷が防止される。
また絶縁性の支持体は測定コンデンサの電極間の短絡を
も防止する。
も防止する。
前記の支持体には、液体充填ダクトに連通した溝状凹所
を設けるのが好ましい。このようにすると、圧力変化か
急激に生じた場合に、液体が急速に分布し、従ってトラ
ンスジューサの応答時間が著しく減少する。
を設けるのが好ましい。このようにすると、圧力変化か
急激に生じた場合に、液体が急速に分布し、従ってトラ
ンスジューサの応答時間が著しく減少する。
図面につき本発明を説明する。
第１図の断面図に示す差動圧力トランスジユーサは円柱
状本体］より成っており その端面にはガラス接合離間
リング４および５によって２つの弾性ダイアフラム２お
よび３が連結されている。
状本体］より成っており その端面にはガラス接合離間
リング４および５によって２つの弾性ダイアフラム２お
よび３が連結されている。
導電的に連結されていない本体］とダイアフラム２およ
び３とは同じ材料から造る為、この本体１とダイアフラ
ム２および８とは同じ熱特性を呈する。従って、温度に
よって生じる測定誤差が無くなる。ダイアフラム２およ
び３と、離間リング４および５と、本体】の端面とを以
って室７および８を形成し、これら室にダクト６を経て
非圧縮性の絶縁液を充填する。この絶縁液は例えばシリ
コン油取いはトリフルオロビニルクロｌＩドの重合体と
することができる。ダクト６はキャップ９により封じる
。
び３とは同じ材料から造る為、この本体１とダイアフラ
ム２および８とは同じ熱特性を呈する。従って、温度に
よって生じる測定誤差が無くなる。ダイアフラム２およ
び３と、離間リング４および５と、本体】の端面とを以
って室７および８を形成し、これら室にダクト６を経て
非圧縮性の絶縁液を充填する。この絶縁液は例えばシリ
コン油取いはトリフルオロビニルクロｌＩドの重合体と
することができる。ダクト６はキャップ９により封じる
。
本体ｌ上には支持体］０および］］を設け、これら支持
体の上側平坦面上にフィルム（膜）状の電極］２および
］３を設ける。本体に面するダイアフラム２および３の
面にはフィルム状の他の電極１４および１５をそれぞれ
設け、これら電極］４および］５が電極］２および］３
とそれぞれ相俟ツＴ ：ｌ −／ テンサを構成し、こ
れらコンデンサのキャパシタンスがダイアフラム２およ
び３の偏向（ａｅｆユｅｃｔｉｏｎ ） 量に依存する
ようにする。離間リング４および５と、電極１２〜】５
と、支持体］０および］］とは厚膜技術により本体１や
ダイアフラム２および３上に設けることができる。
体の上側平坦面上にフィルム（膜）状の電極］２および
］３を設ける。本体に面するダイアフラム２および３の
面にはフィルム状の他の電極１４および１５をそれぞれ
設け、これら電極］４および］５が電極］２および］３
とそれぞれ相俟ツＴ ：ｌ −／ テンサを構成し、こ
れらコンデンサのキャパシタンスがダイアフラム２およ
び３の偏向（ａｅｆユｅｃｔｉｏｎ ） 量に依存する
ようにする。離間リング４および５と、電極１２〜】５
と、支持体］０および］］とは厚膜技術により本体１や
ダイアフラム２および３上に設けることができる。
離間リング４および５の厚さを選択することにより、電
極１４１．１５と電極１２．１３との間の距離、従って
電極１２．１４および１８．１５よりそれぞれ成るコン
デンサのキャパシタンスを調整しつる。支持体１ｏおよ
び］」は離間リング舎および５とほぼ同じ厚さとする。
極１４１．１５と電極１２．１３との間の距離、従って
電極１２．１４および１８．１５よりそれぞれ成るコン
デンサのキャパシタンスを調整しつる。支持体１ｏおよ
び］」は離間リング舎および５とほぼ同じ厚さとする。
差動圧カドランスジューサの液に過大な圧力を加工、こ
ねにより第１図に誇張して示すようにダイアフラム２お
よび３を外方に偏向させる。トランスジューサの測定範
囲は例えば充填液の過大圧力の２倍に等しい。
ねにより第１図に誇張して示すようにダイアフラム２お
よび３を外方に偏向させる。トランスジューサの測定範
囲は例えば充填液の過大圧力の２倍に等しい。
ダイアフラム２に加わっている圧力を越える圧力かダイ
アフラム３に加わると、ダイアフラム３の偏向量が減少
し、室８からダクト６を経て室７に流れる液によりダイ
アフラム２の偏向量を増大させる。これにより２つのキ
ャパシタンスを変え、これからこれらダイアフラムＧこ
作用する圧力差を決定する。
アフラム３に加わると、ダイアフラム３の偏向量が減少
し、室８からダクト６を経て室７に流れる液によりダイ
アフラム２の偏向量を増大させる。これにより２つのキ
ャパシタンスを変え、これからこれらダイアフラムＧこ
作用する圧力差を決定する。
ダイアフラムの偏向量、従って偏倚（ｂｉａｓ ）量は
内圧を変えることにより変えることができる。
内圧を変えることにより変えることができる。
差動圧カドランスジューサの測定範囲はダイアフラムの
偏倚量から決まる。ダイアフラムの偏向はダイアフラム
の機械的な偏倚を生ぜしめ、従って零点の安定性および
測定精度に寄与する。
偏倚量から決まる。ダイアフラムの偏向はダイアフラム
の機械的な偏倚を生ぜしめ、従って零点の安定性および
測定精度に寄与する。
第２図はフィルム状の電極１２を支持体］［ｌ上に設け
た本体］を示す。離間リングへは支持体】０を囲んでい
る。キャップ９により封じられる液充填ダクト６を破線
で示す。離間リング舎は例えば、非導電性のガラスのよ
うな接合剤を以って構成し、これを電極］２の電気接続
トラックを越えて被着する。
た本体］を示す。離間リングへは支持体】０を囲んでい
る。キャップ９により封じられる液充填ダクト６を破線
で示す。離間リング舎は例えば、非導電性のガラスのよ
うな接合剤を以って構成し、これを電極］２の電気接続
トラックを越えて被着する。
第８図は、ダイアフラム】６および１７が本体】に面す
るこれらダイアフラムの面上に台状に隆起した部分とし
て形成した支持体］８および１９を有するようにしだ差
動圧カドランスジューサを。 示す断面図である。こ
れら支持体にはフィルム状の電極１４および〕５が設け
られており、これら支持体は一方のみに過大圧力が加わ
った場合にダイアフラム１６および１７を破損するのを
防止する。
るこれらダイアフラムの面上に台状に隆起した部分とし
て形成した支持体］８および１９を有するようにしだ差
動圧カドランスジューサを。 示す断面図である。こ
れら支持体にはフィルム状の電極１４および〕５が設け
られており、これら支持体は一方のみに過大圧力が加わ
った場合にダイアフラム１６および１７を破損するのを
防止する。
第４および５図は、絶縁性の支持体２０および２］を本
体１上に設けた例を示す。支持体２］は環状で電極２２
を囲むように構成する。スタッド状の支持体２０は電極
２２（二よって留われる表面領域内に位置させる。支持
体２０および２］は埋膜技ｉＧこより本体ｌ上に形成す
る。しかし、これら支持体は本体の形成中にこの本体の
基礎材料から造ることもできる。フィルム状の電極は支
持体２０および２１よりも薄肉にし、ダイアフラム２４
か偏向した際に電極２３が支持体２０および２］により
支持さね、電極２２および２３間の短絡が防止されるよ
うにすることができる。支持体２］には溝状の凹所を形
成することもできる。しかし、支持体２］はスタッド状
にすることもできる。
体１上に設けた例を示す。支持体２］は環状で電極２２
を囲むように構成する。スタッド状の支持体２０は電極
２２（二よって留われる表面領域内に位置させる。支持
体２０および２］は埋膜技ｉＧこより本体ｌ上に形成す
る。しかし、これら支持体は本体の形成中にこの本体の
基礎材料から造ることもできる。フィルム状の電極は支
持体２０および２１よりも薄肉にし、ダイアフラム２４
か偏向した際に電極２３が支持体２０および２］により
支持さね、電極２２および２３間の短絡が防止されるよ
うにすることができる。支持体２］には溝状の凹所を形
成することもできる。しかし、支持体２］はスタッド状
にすることもできる。
第６図は、厚膜技術により堆積され、溝状凹所２６を有
する支持体２５を具える本体〕を示す。
する支持体２５を具える本体〕を示す。
凹所２６は液充填ダクト６に連通させ、液の充填中に或
いはダイアフラムに作用する圧力差が変化する際Ｇこ、
充填液が容易に分布されうるようにす、る。支持体２５
はスタッド状にすることもできる。１
いはダイアフラムに作用する圧力差が変化する際Ｇこ、
充填液が容易に分布されうるようにす、る。支持体２５
はスタッド状にすることもできる。１
第１図は差動圧カドランスジューサの一例を示す断面図
、 第２図はダイアフラムの下側の本体を示す平面図・ 第３図はダイアフラムが支持体を有するようにしだ差動
圧カドランスジューサの他の例を示す断面図、 第４図は絶縁性の支持体を有する本体の一例を示す平面
図、 第５図は第４図の■−■線上を断面とし矢の方向に見た
断面図、 第６図は溝状凹所を有する支持体を具える本体を示す平
面図である。 】・・・円柱状本体 ２、３．１６．１７．２４・・・ダイアフラム４．５・
・・離間リング ６・・・ダクト７．８・・・室
９・・・キャップ１０、１１．１８．１９
．２０．２１．２５・・・支持体、１２．１３．１４．
１５．２２．２３・・・電極２６・・・凹所。 フルーイランベンファブリケン
、 第２図はダイアフラムの下側の本体を示す平面図・ 第３図はダイアフラムが支持体を有するようにしだ差動
圧カドランスジューサの他の例を示す断面図、 第４図は絶縁性の支持体を有する本体の一例を示す平面
図、 第５図は第４図の■−■線上を断面とし矢の方向に見た
断面図、 第６図は溝状凹所を有する支持体を具える本体を示す平
面図である。 】・・・円柱状本体 ２、３．１６．１７．２４・・・ダイアフラム４．５・
・・離間リング ６・・・ダクト７．８・・・室
９・・・キャップ１０、１１．１８．１９
．２０．２１．２５・・・支持体、１２．１３．１４．
１５．２２．２３・・・電極２６・・・凹所。 フルーイランベンファブリケン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ フィルム状電極を設けた絶縁材料の本体と、少くと
も２つの導電性ダイアフラムとを具える差動圧カドラン
スジューサであって、前記のダイアフラムがフィルム状
電極の各々と相俟ってキャパシタンスを形成し、このキ
ャパシタンスをダイアフラムの偏向量に依存させ、前記
のフィルム状電極とダイアフラムとを以ってＸ液体が充
填された密封連通室を形成した差動圧カドランスジュー
サにおいて、ダイアフラム（２，３）を絶縁材料から造
り、本体（］）に面するこれらダイアフラムの面上にフ
ィルム状電極ｔ１４．］５）を設けたことを特徴とする
差動圧カドランスジューサ。 λ 特許請求の範囲］記載の差動圧カドランスジューサ
におし゛て、前記の絶縁材料を酸化アルミニウムセラミ
ックとするのが好ましいセラミック拐料としたことを特
徴とする差動圧カドランスジューサ。 ＆ 特許請求の範囲］または２記載の差動圧カドランス
ジューサにおいて、本体（］）とダイアフラム（２，８
）とを、電気絶縁性ガラスの接合剤とするのが好ましい
接合剤の離間リング（４，５）により相互連結したこと
を特徴とする差動圧カドランスジューサ。 生 特許請求の範囲］〜３のいずれか１つに記載の差動
圧カドランスジューサにおいて、本体（１）とダイアフ
ラム（２，８）との双方またはいずれか一方に対向面上
で支持体を設けたことを特徴とする差動圧カドランスジ
ューサ。 ５ 特許請求の範囲４記載の差動圧カドランスジューサ
において、前記の支持体（２０）を絶縁性となるように
形成したことを特徴とする差動圧カドランスジューサ。 ０ 特許請求の範囲４記載の差動圧カドランスジューサ
において、液体充填ダクトに連通した溝状凹所を前記の
支持体に設けたことを特徴とする差動圧カドランスジュ
ーサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19823238430 DE3238430A1 (de) | 1982-10-16 | 1982-10-16 | Differenzdrucksensor |
| DE32384300 | 1982-10-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5992323A true JPS5992323A (ja) | 1984-05-28 |
Family
ID=6175910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58190028A Pending JPS5992323A (ja) | 1982-10-16 | 1983-10-13 | 差動圧力トランスジユ−サ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4531415A (ja) |
| EP (1) | EP0111348B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5992323A (ja) |
| DE (2) | DE3238430A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004233107A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2004245696A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4565096A (en) * | 1983-12-09 | 1986-01-21 | Rosemount Inc. | Pressure transducer |
| US4572000A (en) * | 1983-12-09 | 1986-02-25 | Rosemount Inc. | Pressure sensor with a substantially flat overpressure stop for the measuring diaphragm |
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