JPS5992542A - ボンデイング用照明装置 - Google Patents
ボンデイング用照明装置Info
- Publication number
- JPS5992542A JPS5992542A JP57202279A JP20227982A JPS5992542A JP S5992542 A JPS5992542 A JP S5992542A JP 57202279 A JP57202279 A JP 57202279A JP 20227982 A JP20227982 A JP 20227982A JP S5992542 A JPS5992542 A JP S5992542A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- television camera
- bonding
- light
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
Landscapes
- Image Input (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、ＩＣＪｐＬｓＩ等のワイヤボンディング作
業におシ１てノ量ターン認識装置の画像取込み用の光源
として使用されるボンディング用照明装置に関する。
業におシ１てノ量ターン認識装置の画像取込み用の光源
として使用されるボンディング用照明装置に関する。
従来、ワイヤボンディング作業において、ノ臂ターン認
識装置の画像取込み用の光源として使用されるボンディ
ング用照明装置は、第１図に示すように構成されている
。図において、１１はボンディングされるペレット、１
２はリード７Ｌ／−ム、１３はハーフミラ−１１４はハ
ーフ２ラー用ランプ、１５はレンズ、１６はテレビカメ
ラ、１７はｉ４ターン認識装置、１８は散乱光源、１９
はボンディングキャピラリである。
識装置の画像取込み用の光源として使用されるボンディ
ング用照明装置は、第１図に示すように構成されている
。図において、１１はボンディングされるペレット、１
２はリード７Ｌ／−ム、１３はハーフミラ−１１４はハ
ーフ２ラー用ランプ、１５はレンズ、１６はテレビカメ
ラ、１７はｉ４ターン認識装置、１８は散乱光源、１９
はボンディングキャピラリである。
上記のような構成において、ハーフミラ−用ランプ１４
から出射された光はハーフミラ−１３によって反射され
ペレット１１に照射される。
から出射された光はハーフミラ−１３によって反射され
ペレット１１に照射される。
ペレット１１で反射された光は、ハーフミラ−１３およ
びレンズ１５を介してペレット１１のノやターン像とし
てテレビカメラ１６に供給される。上記テレビカメラ１
６で捕えたノやターン像を映像信号として／４ターン認
識装置１１に供給し、ボンディング位置を設定した後ボ
ンディングキャピラリ１９を移動し金線等のワイヤＷに
よってペレット１１のポンディングパッドとリードフレ
ーム１２とのボンディングを行なう。
びレンズ１５を介してペレット１１のノやターン像とし
てテレビカメラ１６に供給される。上記テレビカメラ１
６で捕えたノやターン像を映像信号として／４ターン認
識装置１１に供給し、ボンディング位置を設定した後ボ
ンディングキャピラリ１９を移動し金線等のワイヤＷに
よってペレット１１のポンディングパッドとリードフレ
ーム１２とのボンディングを行なう。
なお、散乱光源１８は、作業者がペレット１１のボンデ
ィング位置を顕微鏡等書二よって目視で確認するための
光源である。
ィング位置を顕微鏡等書二よって目視で確認するための
光源である。
ところで、ペレット１１とリードフレーム１２とはボン
ディング前に予めマウント樹脂によって固着するのが一
般的であるが、第２図に示すようにリードフレーム１２
上のペレット１１がマウント樹脂２０によって傾いて設
置されることが多い。このため、ペレット１１で反射さ
れたハーフミラ−用ランプ１４の光が効率良くテレビカ
メラ１６に取込めず、安定した映像が得られない、この
ような欠点を除去するために、ＩＣベレット１１に照射
するハーフミラ−用ランプ１４の光量を多くすればペレ
ット１１の傾きによる影響を受は難いが、ペレット１１
の表面は鏡面に近い高い反射率を有しているため、正常
に（ペレットの傾きがない状態）マウントされたペレッ
トに対しては明るすぎて映像は真っ白になりパターンに
忍識が行なえない。特に、六ターン認識装置をボンダー
に取り付けたフルオートボンダーにおいては、精度、稼
動率を安定すせるためには、テレビカメラで安定した映
像を捕える必要があり、照明装置の改良が望まれている
。
ディング前に予めマウント樹脂によって固着するのが一
般的であるが、第２図に示すようにリードフレーム１２
上のペレット１１がマウント樹脂２０によって傾いて設
置されることが多い。このため、ペレット１１で反射さ
れたハーフミラ−用ランプ１４の光が効率良くテレビカ
メラ１６に取込めず、安定した映像が得られない、この
ような欠点を除去するために、ＩＣベレット１１に照射
するハーフミラ−用ランプ１４の光量を多くすればペレ
ット１１の傾きによる影響を受は難いが、ペレット１１
の表面は鏡面に近い高い反射率を有しているため、正常
に（ペレットの傾きがない状態）マウントされたペレッ
トに対しては明るすぎて映像は真っ白になりパターンに
忍識が行なえない。特に、六ターン認識装置をボンダー
に取り付けたフルオートボンダーにおいては、精度、稼
動率を安定すせるためには、テレビカメラで安定した映
像を捕える必要があり、照明装置の改良が望まれている
。
〔発明の目的Ｊ
この発明は上記のような事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、ペレットの設置状態に拘わら
ず常に安定した映像信号を・母ターン認識装置に収り込
めるボンディング用照明装置を曙供することである。
その目的とするところは、ペレットの設置状態に拘わら
ず常に安定した映像信号を・母ターン認識装置に収り込
めるボンディング用照明装置を曙供することである。
すなわち、この発明においては、ワイヤボンデインクを
行なうペレットに散乱光を照射する複数の散乱光源を設
け、ペレットで反射された散乱光源の光を映像信号とし
てテレビカメラで捕え、この映像信号をパターン認識し
てボンディング位置を設定する。
行なうペレットに散乱光を照射する複数の散乱光源を設
け、ペレットで反射された散乱光源の光を映像信号とし
てテレビカメラで捕え、この映像信号をパターン認識し
てボンディング位置を設定する。
また認識できない場合、このノぐターン認識装置の出力
を制御装置に供給し、この制御装置によりテレビカメラ
からの映像信号に応じて散乱光源の光量を／？ターン認
識を行なうために最適表値に設定するように構成したも
のである。
を制御装置に供給し、この制御装置によりテレビカメラ
からの映像信号に応じて散乱光源の光量を／？ターン認
識を行なうために最適表値に設定するように構成したも
のである。
以下、この発明の一実施例について図面を参照して説明
する。第３図はその構成を示すもので、固定散乱光７１
ｊｌｊ７ｔｓ”！およびレンズ筐筒に取り付けられた移
動光源２２．．２２゜から照射された光は、ペレット１
１で反射されレンズ１５を介してテレビカメラ１６に／
ｆターン像として取り込まれる。テレビカメラ１６に取
り込まれたノ臂ターン像は映’＊信号としてノやターン
認識装置１７書二供給される。ペレット１１の照明状態
が悪くパターン認識が行なえない場合は、パターン認識
装置１７の出力によって制御装置２３から照明弔電ｆｆ
ｐ、２４に制御信号を供給し、照明用電源２４が直流電
源であれば電源電圧制御、交流電源であれば位相制御を
行なって１（賢明用光１ｍｚＢ 、２１！ 、２２．
、；ｓｔ。
する。第３図はその構成を示すもので、固定散乱光７１
ｊｌｊ７ｔｓ”！およびレンズ筐筒に取り付けられた移
動光源２２．．２２゜から照射された光は、ペレット１
１で反射されレンズ１５を介してテレビカメラ１６に／
ｆターン像として取り込まれる。テレビカメラ１６に取
り込まれたノ臂ターン像は映’＊信号としてノやターン
認識装置１７書二供給される。ペレット１１の照明状態
が悪くパターン認識が行なえない場合は、パターン認識
装置１７の出力によって制御装置２３から照明弔電ｆｆ
ｐ、２４に制御信号を供給し、照明用電源２４が直流電
源であれば電源電圧制御、交流電源であれば位相制御を
行なって１（賢明用光１ｍｚＢ 、２１！ 、２２．
、；ｓｔ。
の光量を最適な値に調整する。また、ペレット１）の大
きさに応じて固定散乱光源２１．。
きさに応じて固定散乱光源２１．。
２１、と移動元ｆｍ２２１．２２．とを選択的に発光さ
せる。特に、ＬＳＩ等の大きなペレットに対しては移動
光呻２２ｍ 、２２．の１史用が有効である。・々ター
ン認識終了後、ボンディングキャピラリ（図示しない）
によってペレット１１のポンディングパッドとリードフ
レーム１２とのボンディングを行なう。
せる。特に、ＬＳＩ等の大きなペレットに対しては移動
光呻２２ｍ 、２２．の１史用が有効である。・々ター
ン認識終了後、ボンディングキャピラリ（図示しない）
によってペレット１１のポンディングパッドとリードフ
レーム１２とのボンディングを行なう。
このような構成によれば、ペレット１１が傾いた状態で
設置されても、このペレット１１を７９タ一ン認１機：
二最適な状、聾で照明できるとともに、ペレット１１の
大きさに応じて移動照明と固定照明とを選択的に使用で
きるので、常に安定した映像を得ることができる。
設置されても、このペレット１１を７９タ一ン認１機：
二最適な状、聾で照明できるとともに、ペレット１１の
大きさに応じて移動照明と固定照明とを選択的に使用で
きるので、常に安定した映像を得ることができる。
以上説明したようにこの発明によれば、ペレットの設置
状態に拘わらず常に安定した映１家信号をパターン認識
装置に取り込めるすぐれたボンデイング用照明装置が得
られる。
状態に拘わらず常に安定した映１家信号をパターン認識
装置に取り込めるすぐれたボンデイング用照明装置が得
られる。
第１図および第２図はそれぞれ従来のポンディグ用照明
装置の構成を示す図、第３図はこの発明の一実施例に係
るボンディング用照明装置の構成を示す図である。 １１・・・ペレツ）、２１．．２１．ｌ・・散乱光源、
１６・・・テレビカメラ、１７・・・パターン認識装置
、２３・・・制御装置。
装置の構成を示す図、第３図はこの発明の一実施例に係
るボンディング用照明装置の構成を示す図である。 １１・・・ペレツ）、２１．．２１．ｌ・・散乱光源、
１６・・・テレビカメラ、１７・・・パターン認識装置
、２３・・・制御装置。
Claims (1)
- ワイヤボンディングを行なうペレットに散乱光を照射す
る複数の散乱光源と、上記ペレットで反射された散乱光
源の光がパターン像として供給されるテレビカメラと、
このテレビカメラで捕えた映像を、４ターン認識しボン
ディング位置を設定するパターン認識装置と、上記ノぐ
ターン認識装置の出力に応じて上記複数の散乱光誹の光
量を制御する制御装置とを具備することを特徴とするボ
ンディング用照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57202279A JPS5992542A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | ボンデイング用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57202279A JPS5992542A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | ボンデイング用照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5992542A true JPS5992542A (ja) | 1984-05-28 |
Family
ID=16454902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57202279A Pending JPS5992542A (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | ボンデイング用照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5992542A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0452877A (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-20 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 画像入力装置 |
-
1982
- 1982-11-18 JP JP57202279A patent/JPS5992542A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0452877A (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-20 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 画像入力装置 |
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