JPS5993134U - クリ−ンベンチ装置 - Google Patents

クリ−ンベンチ装置

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Publication number
JPS5993134U
JPS5993134U JP19175082U JP19175082U JPS5993134U JP S5993134 U JPS5993134 U JP S5993134U JP 19175082 U JP19175082 U JP 19175082U JP 19175082 U JP19175082 U JP 19175082U JP S5993134 U JPS5993134 U JP S5993134U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clean bench
bench equipment
equipment
bench device
vertical
Prior art date
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Pending
Application number
JP19175082U
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English (en)
Inventor
小中　博美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP19175082U priority Critical patent/JPS5993134U/ja
Publication of JPS5993134U publication Critical patent/JPS5993134U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の水平型クリーンベンチ装置を示す側面図
、第２図は従来の垂直型クリーンベンチ装置を示す側面
図、第３図はこの考案の一実施例による水平、垂直併用
型クリーンベンチ装置を示す側面図、第４図はこの考案
の水平、垂直併用型クリーンベンチ装置の使用例を示す
側面図である。 １は本体、２はプリフィルター、３は送風機、５は垂直
機、６は水平吹出し口、７は水平成分用フィルターであ
る。なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 垂直型クリーンベンチ装置に水平吹出し口を付加したこ
    とを特徴とするクリーンベンチ装置。
JP19175082U 1982-12-15 1982-12-15 クリ−ンベンチ装置 Pending JPS5993134U (ja)

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JP19175082U JPS5993134U (ja) 1982-12-15 1982-12-15 クリ−ンベンチ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19175082U JPS5993134U (ja) 1982-12-15 1982-12-15 クリ−ンベンチ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5993134U true JPS5993134U (ja) 1984-06-25

Family

ID=30412839

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19175082U Pending JPS5993134U (ja) 1982-12-15 1982-12-15 クリ−ンベンチ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5993134U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01170014A (ja) * 1987-12-01 1989-07-05 Varian Assoc Inc 水平層状空気流ワークステーション

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH01170014A (ja) * 1987-12-01 1989-07-05 Varian Assoc Inc 水平層状空気流ワークステーション

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