JPS5995624U - 石英ボ−ト - Google Patents
石英ボ−トInfo
- Publication number
- JPS5995624U JPS5995624U JP19064082U JP19064082U JPS5995624U JP S5995624 U JPS5995624 U JP S5995624U JP 19064082 U JP19064082 U JP 19064082U JP 19064082 U JP19064082 U JP 19064082U JP S5995624 U JPS5995624 U JP S5995624U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz boat
- gutter
- protrusion
- longitudinal direction
- protrusions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図及び第２図はこの考案の一実施例を示す図で、第
１図は上面図、第２図はｍ１面図、第３図及び第４図は
従来例を示す図で、第３図は上面図、第４図は断面図で
ある。
１図は上面図、第２図はｍ１面図、第３図及び第４図は
従来例を示す図で、第３図は上面図、第４図は断面図で
ある。
Claims (1)
- 樋状体１をなし、該樋状体１の底面及び長手方向両側上
縁部の対向する内面に長手方向１こ突状２を形成し、こ
れら各突状２を横切る複数の各垂直面内に底面が該突状
２の長手方向に略半円弧状をなす一組の溝３を形成して
成る石英ボード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19064082U JPS5995624U (ja) | 1982-12-16 | 1982-12-16 | 石英ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19064082U JPS5995624U (ja) | 1982-12-16 | 1982-12-16 | 石英ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5995624U true JPS5995624U (ja) | 1984-06-28 |
Family
ID=30410720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19064082U Pending JPS5995624U (ja) | 1982-12-16 | 1982-12-16 | 石英ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5995624U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624337A (ja) * | 1985-07-01 | 1987-01-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体ウェハ支持用ボートの製造方法 |
| JPS6373938U (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-17 |
-
1982
- 1982-12-16 JP JP19064082U patent/JPS5995624U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624337A (ja) * | 1985-07-01 | 1987-01-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体ウェハ支持用ボートの製造方法 |
| JPS6373938U (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-17 |
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