JPS5998300U - 光照射炉 - Google Patents
光照射炉Info
- Publication number
- JPS5998300U JPS5998300U JP19401782U JP19401782U JPS5998300U JP S5998300 U JPS5998300 U JP S5998300U JP 19401782 U JP19401782 U JP 19401782U JP 19401782 U JP19401782 U JP 19401782U JP S5998300 U JPS5998300 U JP S5998300U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light irradiation
- workpiece
- irradiation furnace
- heater
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案実施例の断面図、第２図は特性曲線図、
第゛３図は他の実施例の要部断面図である。 １・・・炉体、３・・・加熱器、５・・・被処理物（ウ
ェハー）、６・・・フィルター、Ａ・・・透過率、Ｂ・
・・照射熱エネルギー密度、Ｃ・・・表面温度。
第゛３図は他の実施例の要部断面図である。 １・・・炉体、３・・・加熱器、５・・・被処理物（ウ
ェハー）、６・・・フィルター、Ａ・・・透過率、Ｂ・
・・照射熱エネルギー密度、Ｃ・・・表面温度。
Claims (1)
- 被処理物を光照射て加熱する加熱器と、加熱器と被処理
物間に介在されるフィルターとを備え、このフィルター
により被処理物の中心部の受ける熱エネルギー密度を変
化させ、被処理物の表面温度を実質上均一とすることを
特徴とする光照射炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19401782U JPS5998300U (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 光照射炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19401782U JPS5998300U (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 光照射炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5998300U true JPS5998300U (ja) | 1984-07-03 |
| JPH0240480Y2 JPH0240480Y2 (ja) | 1990-10-29 |
Family
ID=30417147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19401782U Granted JPS5998300U (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | 光照射炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5998300U (ja) |
-
1982
- 1982-12-23 JP JP19401782U patent/JPS5998300U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0240480Y2 (ja) | 1990-10-29 |
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