JPS599842A - 磁性試料観察用磁界型対物レンズ - Google Patents
磁性試料観察用磁界型対物レンズInfo
- Publication number
- JPS599842A JPS599842A JP57118814A JP11881482A JPS599842A JP S599842 A JPS599842 A JP S599842A JP 57118814 A JP57118814 A JP 57118814A JP 11881482 A JP11881482 A JP 11881482A JP S599842 A JPS599842 A JP S599842A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic pole
- sample
- magnetic
- objective lens
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は磁性試料をレンズ磁界に晒すことなく高分解能
で観察Ｊることの可能な新規な対物レンズに関する。 一般に電子顕微鏡においては、高倍率、高分解能を冑る
ために試料を対物レンズの１＆極間隙内に配置して観察
している。しかし、試料が鉄鋼等の強磁性体である場合
には、この試料が強いレンズ磁界の中で磁化され”（作
る不均一磁界のため、電子線照射に関しては、ビームシ
フト、傾斜並びに非点収差の発生があり、又結像に関し
ては像の逃げ、光軸のずれ並びに非点収差による像のぼ
で観察Ｊることの可能な新規な対物レンズに関する。 一般に電子顕微鏡においては、高倍率、高分解能を冑る
ために試料を対物レンズの１＆極間隙内に配置して観察
している。しかし、試料が鉄鋼等の強磁性体である場合
には、この試料が強いレンズ磁界の中で磁化され”（作
る不均一磁界のため、電子線照射に関しては、ビームシ
フト、傾斜並びに非点収差の発生があり、又結像に関し
ては像の逃げ、光軸のずれ並びに非点収差による像のぼ
【）を生ずる。
このような問題を避けるために従来は試料の周りを鉄で
囲み、レンズ場は試料よりはるか下方に生ずるようにな
して磁性試料を観察している。しかし乍ら、前述した如
く透過電子顕微鏡で解像度の良い像を観察できる大ぎな
理由の一つが試料を強いレンズ磁界中に入れるというこ
とである以上、この重要な条件を外してしまった装置で
は、収差（特に球面収差）が著しく大きくなり、又倍率
も低下し、高分解能、高侶率という目的は達成できない
。 所で、試料とレンズ磁界とが離れている場合の球面収差
を小さくする条件として当然ではあるがレンズ磁界をで
きるだり試料に近づけることがあげられる。しかし乍ら
、試料に磁界を付加しないでレンズ磁界を試料に近づけ
るには、レンズ磁極の厚さの問題や試料ホルダーの大き
さの問題があって大きな制限を受けることは容易に理解
できることである。 而して、本発明者は先に通常のレンズとは全く逆にレン
ズ磁界のピーク値を低くし、その半値幅を広げることに
より球面収差係数を著しく小さくづることができること
を見出した。このレンズは下磁極の穴径ｂ２に対する上
磁極の下頂面径Ｄ１の比を小さく（例えばＯｒ／ｂｚを
２以下にする）するもので、Ｄｉ／ｂ２＝２において球
面収差係数２０ｍｍ以下を達成している。 本発明はこのレンズを更に発展させたもので、特に対物
レンズ上磁極の肉厚を薄くすることなく球面収差係数を
小さくし得る新規なレンズを提供するものである。本発
明の構成は上磁極の孔径を小さくし、該上磁極より上方
の漏洩磁界の少い位置へ磁性試料を置き、この試料を透
過した電子を上、下磁極間隙内に発生じたレンズ磁界に
よって結像する対物レンズであって、前記上磁極の下頂
面直径をＤ＋、下磁極の孔径をｂ２としたときＤｌをｂ
２の数倍又はそれ以下に設定すると共に、上下磁極間隔
Ｓをパラメータとなし、該間隔Ｓを３ＩｎＩＮ以上とな
した磁性試料観察用磁界型対物レンズに特徴がある。 以下本発明の一実施例を添付図面に基づき前述する。 第１図は本発明で用いられる磁極の形状を示すもので、
１は上磁極、２は下１ｉＩｓ極であり、両者は図示しな
いが実際には非磁性のスペーサにより一体化されている
。又、これら磁極はヨークに接続され、励磁コイルによ
り励起された磁束がヨーク、上磁極、磁極間隙、下磁極
及びヨークによって形成される磁気回路を流れるように
構成されている。 ３は上磁極１に光軸に対し垂直に穿たれた試料挿入穴で
あり、周知の試料ホルダー（図示せず）により試料４が
保持され、この挿入穴内に導入される。尚、図中の記号
ｂ１は上磁極１の磁極孔径、ｂ２は下磁極２の磁極孔径
、Ｄｌは下磁極の下頂面直径、Ｄ２は下磁極の頂面直径
、θ１は上磁極傾斜面の下頂面となす角度、θ２は下磁
極傾斜面の頂面となり角度、ｄは試料挿入穴のｉ径、［
は上磁極の肉厚、つまり上磁極上頂面と挿入穴との最短
距離、込は上磁極上頂面と試料との間隔、Ｓは両磁極の
間隔を示しである。 さて、斯かる構造のレンズにおいて、試料４部位への磁
界の侵入は３つのルートを通して生ずるものと考えられ
る。その第１は上磁極１の磁極孔（孔径ｂ１）からの侵
入、第２は試料挿入穴３１ｆｉらの侵入、第３は上磁極
の磁気飽和による漏洩磁束の張り出しである。第１の問
題に対しては孔径ｂｔを小さくすれば良く、そ−の目安
としては磁極孔径ｂ１を磁極肉厚ｔより小さくすること
である。 第２の問題に対しては挿入穴３ができるだけ小さく、且
つその開口部は磁極１頂面部よっできるだけ離れている
ことが１２７ましい。その−１こめに、上磁極の傾斜面
の角度はあまり大きくできず、又下磁極２の頂面直径Ｄ
２にも限界があり、できるだ【プ小さいことが好ましい
。第３の問題については、特に磁極先端部に磁束が集中
するので、肉厚［についでは十分な配慮が必要である。 即ち、試料とレンズ磁界とを近づ番プようとして肉厚ｔ
を傳＜ツると、漏洩磁束は著しく増大するので、ｔ（ま
ある値（３〜４ｍｍ）以下にはできない。 以上の条件を考慮して例えばｅ＋＝１７．５°。 ｊ ＝３ｍｍ、 ｂ １＝ ２ｍｍのレンズを作ッｌｃ
場合、Ｄ＋／ｂ２＝０．６（Ｄ＋＝１２ｍｌｌｌ、ｂｚ
＝２０ｍｍ＞ 、 ｓ ＝３ｍｍとして球面収・差係数
Ｃｓは３Ｑｍｍを越えており、決して充分なものではな
い。 本発明者は種々実験を重ねた所、磁極間隔Ｓが球面収差
係数Ｑｓを小さくするパラメータとなっており、Ｓを３
１１１Ｉ１１より大きくすることにより著しくＯｓを減
少させ得ることを見出した。 第２図はＳをパラメータにして軸上位置にｌｌ１５１る
（Ｅ ｓの変化を示す実験例であり、横軸Ｚは軸上位置
を示し、７＝Ｏは試料を置いた位置である。 尚、上記実験はｂ ＋ ＝２ｍｍ、 ｂ ２ ＝２０ｍ
ｍ。 ｆ）＋＝１４ｍｍ、θ＋ ＝１７．５°、ｔ＝４ｍｍ。 Ｑ＝（３ｎ＋ｍの場合である。図中、へ曲線はｓ＝３ｍ
ｌＩｌ。 ８曲線はｓ＝５ｍｍ、Ｃ曲線はｓ＝７ｍｍ、Ｄ曲線は５
＝９１１１１１１．Ｅ曲線は５＝１２＋＋ｕｎ、Ｆ曲線
はＳ＝１＜ｍｍの場合であり、図かられかるようにＳが
大きくなるにつれて球面収差係数Ｃ８は急激に小さくな
り、［曲線（Ｓ ＝ １２ｍｍ）の場合、ｚ＝ｏｒＣ８
は約１９ｍｍにまで小さくなっている。 第３図は７がある値における球面収差係数Ｃ３と焦点距
離ｆの変化を磁極間隔Ｓに関しブＬ】ツ１へしたもので
、Ｃ３１，ｆ ＋はＺ−０（つまり之−６ｍｍ＞の場合
であり又Ｃｓ ２ 、 ｆ ２ ハＺ−−１゜５ｍｍ（
つまりＱ＝４．５＋ｎｍ）の場合である。この図かられ
かるように、Ｓが３ｍｍ程度より大きくなるとＯ８は急
激に低下しており、Ｃ８＋の場合。 ｓ＝３ｍｍで約３０ｍｍ、Ｃ３ｚの場合ｓ＝３ｍｍテ約
１７ｍｍが得られており、Ｓとしては３ ｍｍＰｉ！度
以上であれば実用に供し得ることがわかる。又、Ｃ３１
の曲線においては、Ｓ−１２ｍｒｎ付近で、Ｃ３２につ
いてはｓ ＝ ９ ｍｍイ：Ｊ近で極小値をもち、それ
より大きい側ではＣ３が増大している。つまり、之の約
２倍付近【こＣ３の極小値が存在している。従って磁極
間隔Ｓとしではｇ、の２倍付近を使用りることが好まし
い。一方焦点距離ｆについてはｆＩ。 ［２共類似のカーブをとり、Ｓの増加に伴って増大して
いる。 所で、上磁極１の下頂面から試料までの距１ｌｌＩｌ之
についてであるが、この値は磁極の厚さｔと試料ホルダ
ーの構造によって決定される。磁極の厚さｔは試料付近
の漏洩ｆ４近の磁界を少くづるために３ｍｍ〜４ｍｍが
最低限必要となるので、込の値は第３図で示したように
４．５ｍｍ程度が下限になる。 もし、試料に大角度の傾斜をＩうえるようなホルダーを
用いるときはボルダ−が磁極片へ接触するのを防止づる
為に９２は大きくせざるを得ず、この場合第２図の７−
〇、つまりＭ−５ｍｍ付近が実用的となる。いずれにし
ても球面収差係数Ｃ３は２０ｍｍ以下が達成できる。 以上詳述した如く、本発明は試料を上磁極より子方の漏
洩磁界の少い所に置き、上磁極の下頂面ｕｊ径Ｄ１を下
磁極の孔径ｂ２の数倍又はそれ以下に設定したレンズに
おいて、上下磁極の間隔Ｓをパラレメータとなし、その
値を３ＩｎＩＩ１以上にすることを特徴とするもので、
これにより、試料位置へのレンズ磁界の漏洩を極力少く
した状態で、球面収差係数２Ｑｍｍ以下を実現でき、従
って磁性試料を鮮明に月つ高分解能で観察できる。 尚、上記の数値は加速電圧が２００ＫＶの場合について
であるが、異なる加速電圧に対重る各部の寸法に対して
は既知の方法によりスフ−リングを行なえば良い。その
結果、理論上使用し得る磁極間隔Ｓは３ｍｍより小さい
範囲も有り得るが、現実には対物レンズ絞りの挿入を考
えるとＳは３ＩＩ１ｍ稈度が限度となる。即ち、対物絞
りは後焦点面に近いことが好ましいがＳが小さくなると
その条件から大きく外れ、コントラストの低下や視野カ
ットが著しくなるので実際には前述の３ｍｍ程度が下限
となるのである。
囲み、レンズ場は試料よりはるか下方に生ずるようにな
して磁性試料を観察している。しかし乍ら、前述した如
く透過電子顕微鏡で解像度の良い像を観察できる大ぎな
理由の一つが試料を強いレンズ磁界中に入れるというこ
とである以上、この重要な条件を外してしまった装置で
は、収差（特に球面収差）が著しく大きくなり、又倍率
も低下し、高分解能、高侶率という目的は達成できない
。 所で、試料とレンズ磁界とが離れている場合の球面収差
を小さくする条件として当然ではあるがレンズ磁界をで
きるだり試料に近づけることがあげられる。しかし乍ら
、試料に磁界を付加しないでレンズ磁界を試料に近づけ
るには、レンズ磁極の厚さの問題や試料ホルダーの大き
さの問題があって大きな制限を受けることは容易に理解
できることである。 而して、本発明者は先に通常のレンズとは全く逆にレン
ズ磁界のピーク値を低くし、その半値幅を広げることに
より球面収差係数を著しく小さくづることができること
を見出した。このレンズは下磁極の穴径ｂ２に対する上
磁極の下頂面径Ｄ１の比を小さく（例えばＯｒ／ｂｚを
２以下にする）するもので、Ｄｉ／ｂ２＝２において球
面収差係数２０ｍｍ以下を達成している。 本発明はこのレンズを更に発展させたもので、特に対物
レンズ上磁極の肉厚を薄くすることなく球面収差係数を
小さくし得る新規なレンズを提供するものである。本発
明の構成は上磁極の孔径を小さくし、該上磁極より上方
の漏洩磁界の少い位置へ磁性試料を置き、この試料を透
過した電子を上、下磁極間隙内に発生じたレンズ磁界に
よって結像する対物レンズであって、前記上磁極の下頂
面直径をＤ＋、下磁極の孔径をｂ２としたときＤｌをｂ
２の数倍又はそれ以下に設定すると共に、上下磁極間隔
Ｓをパラメータとなし、該間隔Ｓを３ＩｎＩＮ以上とな
した磁性試料観察用磁界型対物レンズに特徴がある。 以下本発明の一実施例を添付図面に基づき前述する。 第１図は本発明で用いられる磁極の形状を示すもので、
１は上磁極、２は下１ｉＩｓ極であり、両者は図示しな
いが実際には非磁性のスペーサにより一体化されている
。又、これら磁極はヨークに接続され、励磁コイルによ
り励起された磁束がヨーク、上磁極、磁極間隙、下磁極
及びヨークによって形成される磁気回路を流れるように
構成されている。 ３は上磁極１に光軸に対し垂直に穿たれた試料挿入穴で
あり、周知の試料ホルダー（図示せず）により試料４が
保持され、この挿入穴内に導入される。尚、図中の記号
ｂ１は上磁極１の磁極孔径、ｂ２は下磁極２の磁極孔径
、Ｄｌは下磁極の下頂面直径、Ｄ２は下磁極の頂面直径
、θ１は上磁極傾斜面の下頂面となす角度、θ２は下磁
極傾斜面の頂面となり角度、ｄは試料挿入穴のｉ径、［
は上磁極の肉厚、つまり上磁極上頂面と挿入穴との最短
距離、込は上磁極上頂面と試料との間隔、Ｓは両磁極の
間隔を示しである。 さて、斯かる構造のレンズにおいて、試料４部位への磁
界の侵入は３つのルートを通して生ずるものと考えられ
る。その第１は上磁極１の磁極孔（孔径ｂ１）からの侵
入、第２は試料挿入穴３１ｆｉらの侵入、第３は上磁極
の磁気飽和による漏洩磁束の張り出しである。第１の問
題に対しては孔径ｂｔを小さくすれば良く、そ−の目安
としては磁極孔径ｂ１を磁極肉厚ｔより小さくすること
である。 第２の問題に対しては挿入穴３ができるだけ小さく、且
つその開口部は磁極１頂面部よっできるだけ離れている
ことが１２７ましい。その−１こめに、上磁極の傾斜面
の角度はあまり大きくできず、又下磁極２の頂面直径Ｄ
２にも限界があり、できるだ【プ小さいことが好ましい
。第３の問題については、特に磁極先端部に磁束が集中
するので、肉厚［についでは十分な配慮が必要である。 即ち、試料とレンズ磁界とを近づ番プようとして肉厚ｔ
を傳＜ツると、漏洩磁束は著しく増大するので、ｔ（ま
ある値（３〜４ｍｍ）以下にはできない。 以上の条件を考慮して例えばｅ＋＝１７．５°。 ｊ ＝３ｍｍ、 ｂ １＝ ２ｍｍのレンズを作ッｌｃ
場合、Ｄ＋／ｂ２＝０．６（Ｄ＋＝１２ｍｌｌｌ、ｂｚ
＝２０ｍｍ＞ 、 ｓ ＝３ｍｍとして球面収・差係数
Ｃｓは３Ｑｍｍを越えており、決して充分なものではな
い。 本発明者は種々実験を重ねた所、磁極間隔Ｓが球面収差
係数Ｑｓを小さくするパラメータとなっており、Ｓを３
１１１Ｉ１１より大きくすることにより著しくＯｓを減
少させ得ることを見出した。 第２図はＳをパラメータにして軸上位置にｌｌ１５１る
（Ｅ ｓの変化を示す実験例であり、横軸Ｚは軸上位置
を示し、７＝Ｏは試料を置いた位置である。 尚、上記実験はｂ ＋ ＝２ｍｍ、 ｂ ２ ＝２０ｍ
ｍ。 ｆ）＋＝１４ｍｍ、θ＋ ＝１７．５°、ｔ＝４ｍｍ。 Ｑ＝（３ｎ＋ｍの場合である。図中、へ曲線はｓ＝３ｍ
ｌＩｌ。 ８曲線はｓ＝５ｍｍ、Ｃ曲線はｓ＝７ｍｍ、Ｄ曲線は５
＝９１１１１１１．Ｅ曲線は５＝１２＋＋ｕｎ、Ｆ曲線
はＳ＝１＜ｍｍの場合であり、図かられかるようにＳが
大きくなるにつれて球面収差係数Ｃ８は急激に小さくな
り、［曲線（Ｓ ＝ １２ｍｍ）の場合、ｚ＝ｏｒＣ８
は約１９ｍｍにまで小さくなっている。 第３図は７がある値における球面収差係数Ｃ３と焦点距
離ｆの変化を磁極間隔Ｓに関しブＬ】ツ１へしたもので
、Ｃ３１，ｆ ＋はＺ−０（つまり之−６ｍｍ＞の場合
であり又Ｃｓ ２ 、 ｆ ２ ハＺ−−１゜５ｍｍ（
つまりＱ＝４．５＋ｎｍ）の場合である。この図かられ
かるように、Ｓが３ｍｍ程度より大きくなるとＯ８は急
激に低下しており、Ｃ８＋の場合。 ｓ＝３ｍｍで約３０ｍｍ、Ｃ３ｚの場合ｓ＝３ｍｍテ約
１７ｍｍが得られており、Ｓとしては３ ｍｍＰｉ！度
以上であれば実用に供し得ることがわかる。又、Ｃ３１
の曲線においては、Ｓ−１２ｍｒｎ付近で、Ｃ３２につ
いてはｓ ＝ ９ ｍｍイ：Ｊ近で極小値をもち、それ
より大きい側ではＣ３が増大している。つまり、之の約
２倍付近【こＣ３の極小値が存在している。従って磁極
間隔Ｓとしではｇ、の２倍付近を使用りることが好まし
い。一方焦点距離ｆについてはｆＩ。 ［２共類似のカーブをとり、Ｓの増加に伴って増大して
いる。 所で、上磁極１の下頂面から試料までの距１ｌｌＩｌ之
についてであるが、この値は磁極の厚さｔと試料ホルダ
ーの構造によって決定される。磁極の厚さｔは試料付近
の漏洩ｆ４近の磁界を少くづるために３ｍｍ〜４ｍｍが
最低限必要となるので、込の値は第３図で示したように
４．５ｍｍ程度が下限になる。 もし、試料に大角度の傾斜をＩうえるようなホルダーを
用いるときはボルダ−が磁極片へ接触するのを防止づる
為に９２は大きくせざるを得ず、この場合第２図の７−
〇、つまりＭ−５ｍｍ付近が実用的となる。いずれにし
ても球面収差係数Ｃ３は２０ｍｍ以下が達成できる。 以上詳述した如く、本発明は試料を上磁極より子方の漏
洩磁界の少い所に置き、上磁極の下頂面ｕｊ径Ｄ１を下
磁極の孔径ｂ２の数倍又はそれ以下に設定したレンズに
おいて、上下磁極の間隔Ｓをパラレメータとなし、その
値を３ＩｎＩＩ１以上にすることを特徴とするもので、
これにより、試料位置へのレンズ磁界の漏洩を極力少く
した状態で、球面収差係数２Ｑｍｍ以下を実現でき、従
って磁性試料を鮮明に月つ高分解能で観察できる。 尚、上記の数値は加速電圧が２００ＫＶの場合について
であるが、異なる加速電圧に対重る各部の寸法に対して
は既知の方法によりスフ−リングを行なえば良い。その
結果、理論上使用し得る磁極間隔Ｓは３ｍｍより小さい
範囲も有り得るが、現実には対物レンズ絞りの挿入を考
えるとＳは３ＩＩ１ｍ稈度が限度となる。即ち、対物絞
りは後焦点面に近いことが好ましいがＳが小さくなると
その条件から大きく外れ、コントラストの低下や視野カ
ットが著しくなるので実際には前述の３ｍｍ程度が下限
となるのである。
第１図は本発明に用いる対物レンズ磁極片の構成を示づ
図、第２図及び第３図は本発明を説明りる為の実験例で
ある。 １：上！ｆ極、 ２：下磁極、 ３：試料挿入穴、 ４：試料。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 第１図 −３−２−１０１２３ →Ｚ（ｍｍ）
図、第２図及び第３図は本発明を説明りる為の実験例で
ある。 １：上！ｆ極、 ２：下磁極、 ３：試料挿入穴、 ４：試料。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 第１図 −３−２−１０１２３ →Ｚ（ｍｍ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、」下磁極の孔径を小さくし、該−上磁極より上方の
漏洩磁界の少い位置へ磁性試料を置き、この試わ１を透
過した電子を上、下磁極間隙内に発生したレンズ磁界に
よって結像する対物レンズであって、前記上磁極の下積
面直径をＤｌ、下磁極の孔径をｂ２としたときＤｌをｂ
２の数倍又はそれ以下に設定づると共に、上下磁極間隔
Ｓをパラメータとなし、該間隔Ｓを３ ｍｍ以上となし
たことを特徴とτる磁性試料観察用磁界型対物レンズ。 ２、前記Ｄ１とｂ２との比Ｄ１／ｂ２を２以下に設定し
た特許請求の範囲第１項記載の磁性試料観察用磁界型対
物レンズ。 ３、前記間隔Ｓを上磁極の下積面から試料までの距離込
の略２倍となした特許請求の範囲第１項又は第２項記載
の磁性試料観察用磁界型対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57118814A JPS599842A (ja) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | 磁性試料観察用磁界型対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57118814A JPS599842A (ja) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | 磁性試料観察用磁界型対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS599842A true JPS599842A (ja) | 1984-01-19 |
| JPH0136666B2 JPH0136666B2 (ja) | 1989-08-01 |
Family
ID=14745790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57118814A Granted JPS599842A (ja) | 1982-07-08 | 1982-07-08 | 磁性試料観察用磁界型対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599842A (ja) |
-
1982
- 1982-07-08 JP JP57118814A patent/JPS599842A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0136666B2 (ja) | 1989-08-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6855938B2 (en) | Objective lens for an electron microscopy system and electron microscopy system | |
| JPS6257062B2 (ja) | ||
| JPS58129734A (ja) | 複合磁界粒子ビームレンズ及び粒子ビームリソグラフィー装置 | |
| JPS60146430A (ja) | カラー映像管 | |
| US20140319371A1 (en) | Sample holder and charged particle beam apparatus using same | |
| US4570072A (en) | Electromagnetic lens polepiece structure | |
| JPH0136666B2 (ja) | ||
| Tsuno et al. | Magnetic-field-free objective lens around a specimen for observing fine structure of ferromagnetic materials in a transmission electron microscope | |
| US3978338A (en) | Illumination system in a scanning electron microscope | |
| US2243403A (en) | Magnetic objective for electron microscopes | |
| US3150256A (en) | Column for electron microscopes | |
| CN206907735U (zh) | 一种带电粒子圆磁透镜 | |
| JPS5945171B2 (ja) | 電子レンズ | |
| US3396299A (en) | Magnetic flux leakage guide for magnetic electron lenses | |
| JPS58176857A (ja) | 磁性試料観察用磁界型対物レンズ | |
| JPS59158060A (ja) | 対物レンズの磁極片 | |
| CN107204267A (zh) | 一种带电粒子圆磁透镜 | |
| US3401261A (en) | Apparatus for investigating magnetic regions in thin material layers | |
| JPS59158061A (ja) | 対物レンズの磁極片 | |
| JPH08241690A (ja) | スピン偏極走査電子顕微鏡 | |
| JP2667714B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| Kuehler | A new electron mirror design | |
| JPS6245662B2 (ja) | ||
| JP2839683B2 (ja) | フーコー電子顕微鏡 | |
| JPH0828200B2 (ja) | 電磁型レンズ |