JPS60103837U - 半導体ウエフア用カセツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図はこの考案の一実施例を示すもので
、第１図は正面図、第２図は左側面図、第３図は第１図
ｍ−ｍ’線部分で切断し矢印の方向に見た縦断側面図、
第４図は平面図である。また第５図はこの考案の他の実
施例を縦断して示した部分的側面図である。 １、２−−−−−−支持体、３ａ、３ｂ、３ｃ”−・、
４ａ、　４ｂ、　４ｃ・・・・・・挿入溝、５ａ〜５ｃ
・・・・・・連結杆、６ａ〜６ｃ・・・・・・ビス、７
・・・・・・溝、８．９・・・・・・ストッパー、１０
・・・・・・中央突出部、１１・・・・・・枠状突出部
、１２・・・・・・リブ、２１・・・・・・角棒、２２
・・・・・・ビス。 第１図 第３図゛

Claims (6)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）４角形状をなし水平方向の平行な複数個の挿入溝
   を互いに対応させて形成した１対の支持体と、これらの
   支持体を対向させて互いに平行に支持する複数本の連結
   杆と、前記挿入溝に対し直交し少なくとも一部が前記挿
   入溝内に位置するように設けられた直線状のストッパー
   とを備え、前記複数個の挿入溝は底部が狭く開口部が広
   いテーパーを有する゛ことを特徴とする半導体ウェファ
   用カセット。
2. （２）上記ストッパーは合成樹脂よりなり複数個の挿入
   溝に対し直交して形成された溝中に嵌着されていること
   を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の半導
   体ウェファ用カセット。
3. （３）上記ストッパーは金属製の細長い角棒よりなり複
   数個の挿入溝に対し直交して設けられた溝中にビン止め
   により固着されていることを特徴とする実用新案登録請
   求の範囲第１項記載の半導体ウェファ用カセット。
4. （４）上記ストッパーは複数個の挿入溝の底面より浮い
   た状態で設けられていることを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第２項または第３項記載の半導体ウェファ用
   カセット。
5. （５）上記支持体の外側面には対角線方向のリブが形成
   されていることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
   １項ないし第４項のいずれかに記載の半導体ウェファ用
   カセット。
6. （６）上記支持体の略全面に、対象となる半導体ウェフ
   ァの区分を表示する着色が施こされていることを特徴と
   する実用新案登録請求の範囲第１項ないし第５項のいず
   れかに記載の半導体ウェファ用カセット。