JPS6068648U - 半導体ウエ−ハ用キヤリヤ - Google Patents

半導体ウエ−ハ用キヤリヤ

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JPS6068648U
JPS6068648U JP16073583U JP16073583U JPS6068648U JP S6068648 U JPS6068648 U JP S6068648U JP 16073583 U JP16073583 U JP 16073583U JP 16073583 U JP16073583 U JP 16073583U JP S6068648 U JPS6068648 U JP S6068648U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
semiconductor wafer
grooves
pairs
semiconductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP16073583U
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English (en)
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西ケ谷　勲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS6068648U publication Critical patent/JPS6068648U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは従来の半導体ウェーハ用キャリアと収納ウェ
ーハを示す斜視図、同図すは同図ａのキャリヤのみの平
面図である。第２図ａは本考案の一実施例の平面図、同
図すは同図ａによる半導体ウェーハの等間隔溝キャリヤ
における配列を示す平面図、第３ａは違った溝配列の他
の例の平面図、同図すは同図ａによる等間隔溝キャリヤ
におけるウェーハ配列を示す平面図、第４図ａはさらに
違った溝配列のキャリヤの例の平面図、同図すは同図ａ
による等間隔溝キャリヤにおけるウェーハ配列を示す平
面図である。 １・・・・・・キャリヤ本体、２・・・・・・半導体ウ
ェーハ収納用溝、３・・・・・・ガイドピン、４・・・
・・・ガイド穴、５・・・・・・半導体ウェーハ、２０
・・・・・・等間隔溝のキャリヤ、２１，３１，４１・
・・・・・広間隔溝をもつ本考案実施例キャリヤ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数の半導体ウェーハを平行に等間隔で収納すべく相対
    向する側壁の内面に互いに対向して形成された複数対の
    溝を有する半導体ウェーハ用キャリヤに対し、前記複数
    対の溝のうちの１対または数対の溝がない状態とされて
    いることを特徴とする半導体ウェーハ用キャリヤ。
JP16073583U 1983-10-18 1983-10-18 半導体ウエ−ハ用キヤリヤ Pending JPS6068648U (ja)

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JP16073583U JPS6068648U (ja) 1983-10-18 1983-10-18 半導体ウエ−ハ用キヤリヤ

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JP16073583U JPS6068648U (ja) 1983-10-18 1983-10-18 半導体ウエ−ハ用キヤリヤ

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Publication Number Publication Date
JPS6068648U true JPS6068648U (ja) 1985-05-15

Family

ID=30353450

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16073583U Pending JPS6068648U (ja) 1983-10-18 1983-10-18 半導体ウエ−ハ用キヤリヤ

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