JPS60105907A - 超音波厚さ計 - Google Patents
超音波厚さ計Info
- Publication number
- JPS60105907A JPS60105907A JP21313183A JP21313183A JPS60105907A JP S60105907 A JPS60105907 A JP S60105907A JP 21313183 A JP21313183 A JP 21313183A JP 21313183 A JP21313183 A JP 21313183A JP S60105907 A JPS60105907 A JP S60105907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflected wave
- power
- thickness
- measured
- surface reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
- G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野〕
この発明は超音波厚さ計に関する。
［従来技術および欠点］
従来の超音波厚さ計は単一の周波数のパルス状の超音波
のエコ一時間を測定する構成となっている。従って高い
分解能を得るには数Ｍｌｌｚから数十Ｍｔｌｚの高い周
波数の超音波パルスを発射できる手段と、高速なカウン
タを有する必要があり、薄い被測定物の厚さを測定しに
くいという欠点がある。
のエコ一時間を測定する構成となっている。従って高い
分解能を得るには数Ｍｌｌｚから数十Ｍｔｌｚの高い周
波数の超音波パルスを発射できる手段と、高速なカウン
タを有する必要があり、薄い被測定物の厚さを測定しに
くいという欠点がある。
［発明の目的コ
それ故、この発明の目的は、異なる周波数の超音波を、
２つまたは複数使用し、薄い被測定物の厚さを測定でき
る超音波厚さ訂を提供することにある。
２つまたは複数使用し、薄い被測定物の厚さを測定でき
る超音波厚さ訂を提供することにある。
［発明の構成および効果］
この発明は、異なる周波数のビーム状の超音波を使い、
その超音波が被検出物の表面および底面で反射された後
、該反射波のパワーをそれぞれ記憶しておき、演算手段
によって記憶されているパワーにもとづいて被測定物の
厚さを測定するようにしたので、高い周波数の超音波を
発生する素子や、高速な時間を計測する素子を用いずと
も薄い被測定物の厚さを測定でき、低価格で簡単な構成
の超音波厚さ計を提供することができる。
その超音波が被検出物の表面および底面で反射された後
、該反射波のパワーをそれぞれ記憶しておき、演算手段
によって記憶されているパワーにもとづいて被測定物の
厚さを測定するようにしたので、高い周波数の超音波を
発生する素子や、高速な時間を計測する素子を用いずと
も薄い被測定物の厚さを測定でき、低価格で簡単な構成
の超音波厚さ計を提供することができる。
（実施例の説明］
以下この発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第１図は本発明の超音波厚さ削のブロックタイアゲラム
である。１は探触子であり、２と９はパワー検出部であ
り、３は送信部、４はＡ／Ｄ変換変換コント−ロールっ
て異なる周波数の超音波を発生づることかできるしのと
りる。い、１探触子１が被測定物に垂直に取付番プられ
ているものとする。
である。１は探触子であり、２と９はパワー検出部であ
り、３は送信部、４はＡ／Ｄ変換変換コント−ロールっ
て異なる周波数の超音波を発生づることかできるしのと
りる。い、１探触子１が被測定物に垂直に取付番プられ
ているものとする。
（被測定物に触れる探触子の音響インピーダンスは予め
測定して分っているものとする。、）超音波発生部５は
ＣＰＵ７の命令によって周波数ｆ１の超音波を探触７−
１より発射し、第１のパワー検出部２はただちに表面か
らの反射波のパワーを検出する。検出されたパワーはＡ
／Ｄ変換器４でＡ／Ｄ変換されＣＰＵ７を介してメモリ
８に一旦記憶される。次に第２のパワー検出部９は被測
定物の底面で反射して被測定物を透過してやってくる透
過波パワーを検出する。さらにこのパワーもＡ／Ｄ変換
器４でＡ／Ｄ変換され、メモリ８に記憶される。さらに
異なる周波数のｆ、の超音波に対しても同様な動作を行
う。この結果法の式（１）、（２）が得られる。
測定して分っているものとする。、）超音波発生部５は
ＣＰＵ７の命令によって周波数ｆ１の超音波を探触７−
１より発射し、第１のパワー検出部２はただちに表面か
らの反射波のパワーを検出する。検出されたパワーはＡ
／Ｄ変換器４でＡ／Ｄ変換されＣＰＵ７を介してメモリ
８に一旦記憶される。次に第２のパワー検出部９は被測
定物の底面で反射して被測定物を透過してやってくる透
過波パワーを検出する。さらにこのパワーもＡ／Ｄ変換
器４でＡ／Ｄ変換され、メモリ８に記憶される。さらに
異なる周波数のｆ、の超音波に対しても同様な動作を行
う。この結果法の式（１）、（２）が得られる。
Ｆ＝（ρｃ、ｄ、ｆ１）−α・Ｇ（ρｃ、ｄ、ｆｌ）・
・・（１）Ｆ ＝ ＜ｏｃ 、ｄ、ｆ２）＝ β・Ｇ
（、ＱＣ、ｄ、ｆ２）・ｔ２）ここでＥおよびＧは予め
理論的に分っている関数であり、ρＣは被測定物質の音
響インピーダンス、ｄは被測定物体の厚さ、ｆｌおよび
ｆ２は超音波の周波数、αは周波数で１の超音波が被測
定物体の表面で反射された表面反射波のパワーと底面で
反射された底面反射波のパワーの比であり、βは同様に
周波数ｆ２の超音波の表面反射波と底面反射波との比で
ある。
・・（１）Ｆ ＝ ＜ｏｃ 、ｄ、ｆ２）＝ β・Ｇ
（、ＱＣ、ｄ、ｆ２）・ｔ２）ここでＥおよびＧは予め
理論的に分っている関数であり、ρＣは被測定物質の音
響インピーダンス、ｄは被測定物体の厚さ、ｆｌおよび
ｆ２は超音波の周波数、αは周波数で１の超音波が被測
定物体の表面で反射された表面反射波のパワーと底面で
反射された底面反射波のパワーの比であり、βは同様に
周波数ｆ２の超音波の表面反射波と底面反射波との比で
ある。
上記（１）式および（２）式を連立方程式として解けば
、岳費インピーダンスρＧと厚さｄとをめることができ
る。そして請求められた厚さｄを表示部６に表示する。
、岳費インピーダンスρＧと厚さｄとをめることができ
る。そして請求められた厚さｄを表示部６に表示する。
第１図は本発明の一実施例である超音波厚さ計のブロッ
クタイアゲラムである。 １・・・探触子、２・・・第１のパワー検出部、４・・
・Ａ／Ｄ変換器、５・・・超音波発生部、７・・・ＣＰ
ｔＪ、８・・・メモリ、９・・・第２のパワー検出部。 Ｒ訂出願人 立石電機株式会社
クタイアゲラムである。 １・・・探触子、２・・・第１のパワー検出部、４・・
・Ａ／Ｄ変換器、５・・・超音波発生部、７・・・ＣＰ
ｔＪ、８・・・メモリ、９・・・第２のパワー検出部。 Ｒ訂出願人 立石電機株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 箕なる周波数のビーム状の超音波を発射する手段と、 この超音波発射手段により発射された超音波が被測定物
の表面で反則した反射波のパワーを検出する第１のパワ
ー検出部と、 前記ｉＩＡ音波が被測定物の底面で反射した反則波のパ
ワーを検出り−る第２のパワー検出部と、前記第１、第
２のパワー検出部出ノＪを△／Ｄ変換するΔ／Ｄ変換Ｔ
段と、 とのΔ／Ｄ変換器出ノ〕を記憶するメモリと、このメＬ
りに記憶された異なる周波数にもとづ（第１のパワー検
出部のパワー検出値と第２のパワー検出部のパワー検出
値とを予め定められた式にもとづいて演算する演算手段
とを備え被測定物の厚さをめることを特徴とする超音波
戸さ旧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21313183A JPS60105907A (ja) | 1983-11-11 | 1983-11-11 | 超音波厚さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21313183A JPS60105907A (ja) | 1983-11-11 | 1983-11-11 | 超音波厚さ計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60105907A true JPS60105907A (ja) | 1985-06-11 |
Family
ID=16634084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21313183A Pending JPS60105907A (ja) | 1983-11-11 | 1983-11-11 | 超音波厚さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60105907A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101806590A (zh) * | 2010-03-25 | 2010-08-18 | 南京卓实电气有限责任公司 | 一种利用高次驻波谐振定量检测弹性板厚度的方法 |
-
1983
- 1983-11-11 JP JP21313183A patent/JPS60105907A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101806590A (zh) * | 2010-03-25 | 2010-08-18 | 南京卓实电气有限责任公司 | 一种利用高次驻波谐振定量检测弹性板厚度的方法 |
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