JPS60106964A - 超微粒子膜の形成法並に装置 - Google Patents
超微粒子膜の形成法並に装置Info
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- JPS60106964A JPS60106964A JP21169583A JP21169583A JPS60106964A JP S60106964 A JPS60106964 A JP S60106964A JP 21169583 A JP21169583 A JP 21169583A JP 21169583 A JP21169583 A JP 21169583A JP S60106964 A JPS60106964 A JP S60106964A
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、超微粒子膜の形成法並に装置に関する０
発明＠は、先に、特願昭５７−１９６０８５号により超
微粒子を基材等のベース面にスプレーノズルによシ吹付
けその膜を形成せしめる方法を提案したが、その超微粒
子膜は大気にてらされると急速に酸化し温度が上昇し、
燃焼する場合がめる。従ってその超微粒子としては、予
め徐酸化処理した超微粒子を使用し、その膜形成上行な
うことが考えられる。しかし乍ら、かかる徐酸化処理し
た超微粒子を使用し１上記の方法で膜を形成した場合、
更にその膜に加熱処理を行ない比抵抗をできるだけ小さ
くした膜とした場合でも、例えばＮ１超微粒子膜の比抵
抗は１．２ Ｘ １０−３Ω−αでちり、これ以下の比
抵抗の膜を得ることは困難である。従って、徐酸化しな
い新鮮な活性表面をもつ金属超微粒子を使用し、比抵抗
の著しく小さい超微粒子膜を酸化されずに形成すること
が望まれる。
微粒子を基材等のベース面にスプレーノズルによシ吹付
けその膜を形成せしめる方法を提案したが、その超微粒
子膜は大気にてらされると急速に酸化し温度が上昇し、
燃焼する場合がめる。従ってその超微粒子としては、予
め徐酸化処理した超微粒子を使用し、その膜形成上行な
うことが考えられる。しかし乍ら、かかる徐酸化処理し
た超微粒子を使用し１上記の方法で膜を形成した場合、
更にその膜に加熱処理を行ない比抵抗をできるだけ小さ
くした膜とした場合でも、例えばＮ１超微粒子膜の比抵
抗は１．２ Ｘ １０−３Ω−αでちり、これ以下の比
抵抗の膜を得ることは困難である。従って、徐酸化しな
い新鮮な活性表面をもつ金属超微粒子を使用し、比抵抗
の著しく小さい超微粒子膜を酸化されずに形成すること
が望まれる。
本発明の目的は、か＼る新鮮な活性表面をもつ超微粒子
でも、酸素、水蒸気により酸化されることなしに、安全
に、その超微粒子膜を形成し得る方法を提供したもので
、非酸化性ガスの雰囲気とした金属蒸気生成用容器内で
金属材料全加熱蒸発して超微粒子に生成せしめ、これを
搬送管を介して該非酸化性ガスと共に蒸着処理容器内に
導入し、該蒸着容器内で、搬送管の先端のノズルより超
微粒子をその非酸化性ガスの噴気を介してその超微粒子
を被処理ベース面に吠付は該面に超微粒子の膜を付着形
成せしめることを特徴とする。
でも、酸素、水蒸気により酸化されることなしに、安全
に、その超微粒子膜を形成し得る方法を提供したもので
、非酸化性ガスの雰囲気とした金属蒸気生成用容器内で
金属材料全加熱蒸発して超微粒子に生成せしめ、これを
搬送管を介して該非酸化性ガスと共に蒸着処理容器内に
導入し、該蒸着容器内で、搬送管の先端のノズルより超
微粒子をその非酸化性ガスの噴気を介してその超微粒子
を被処理ベース面に吠付は該面に超微粒子の膜を付着形
成せしめることを特徴とする。
更に、本発明の他の目的は、前記の方法を実施する膜形
成装置を提供するもので、内部に金属材料の加熱装置を
もち、且つ非酸化性ガスを導入されるようにし友金属蒸
気生成用容器と旭該容器よシ導出する先端にノズルをも
つ搬送管と、内部に該搬送管のノズルをもつ先端部と、
被処理部材をセットする設置部とを備え）且つ非酸化性
ガスを導入されるようにした蒸着処理容器とＳ該金属蒸
気生成用容器と該蒸着処理容器とに接続する排気真空装
置とから成る。
成装置を提供するもので、内部に金属材料の加熱装置を
もち、且つ非酸化性ガスを導入されるようにし友金属蒸
気生成用容器と旭該容器よシ導出する先端にノズルをも
つ搬送管と、内部に該搬送管のノズルをもつ先端部と、
被処理部材をセットする設置部とを備え）且つ非酸化性
ガスを導入されるようにした蒸着処理容器とＳ該金属蒸
気生成用容器と該蒸着処理容器とに接続する排気真空装
置とから成る。
次に本発明の方法並に装置の１例を添付図面につき説明
する〇 図面で（１）は、金属蒸気生成用容器を示し、該容器（
１）内には、金属材料１の加熱装置としてプラズマアー
ク用電源（２）に接続するプラズマＴｈ −チ（３）を
設け、これに対向して金属材料＆を上面に収容した水冷
銅ハース（４）とを有する。該容器（１１は、列部の非
酸化性ガス源（５）に供給管（６）を介し接続し１該容
器（１）内に非酸化性ガスを供給するようにする０更に
１該容器（１１は一外部の真空ポンプ（７〕に排気用導
管（８）を介し接続し、容器（１）内金適宜のガス圧に
保持し得るようにした。（９）は供給管（６）に介入し
た調節弁、仕りは排気用導管（８）に介入した調節弁を
示す。該非酸化性ガス源（５１１′ｔ、、Ａｒ、 Ｈｅ
などの不活性ガス源（５ａ）と、不活性ガスとＮ、な
どの活性ガスとの混合ガス源（５ｂ）と、不活性ガスと
Ｈ８などの還元性ガス源との混合ガス源（５０）との３
種から成り、供給管（６）は、その途中で分岐しｆｃｓ
つの分岐管（６ａＪ （６ｂ）Ｃ６０）ｋ介して夫々の
ガス源（５ａ）（５ｂ） （，５ｃ）に接続せしめ、そ
の任意のガス源を撰択し容器（１）内に供給し得るよう
にした。 ｎ（Ｃ２１（ｔ３は、夫々分岐管に介入した
開閉弁を示すＯ該不活性ガス源（５ａ）の分岐管（６＆
）からはｔ−チ（２）に接続する導管Ｉが分岐している
。住ωは該導管Ｉに介入した調節弁を示す０該容器（１
）の上面には、覗き窓←Ｑ１真閂計測定子αη、圧力計
α榎が設けられているＯ該容器（１）には、前記のガス
供給管（６）と反対側Ｋａ置して搬送管部を気＠に接続
して設ける。
する〇 図面で（１）は、金属蒸気生成用容器を示し、該容器（
１）内には、金属材料１の加熱装置としてプラズマアー
ク用電源（２）に接続するプラズマＴｈ −チ（３）を
設け、これに対向して金属材料＆を上面に収容した水冷
銅ハース（４）とを有する。該容器（１１は、列部の非
酸化性ガス源（５）に供給管（６）を介し接続し１該容
器（１）内に非酸化性ガスを供給するようにする０更に
１該容器（１１は一外部の真空ポンプ（７〕に排気用導
管（８）を介し接続し、容器（１）内金適宜のガス圧に
保持し得るようにした。（９）は供給管（６）に介入し
た調節弁、仕りは排気用導管（８）に介入した調節弁を
示す。該非酸化性ガス源（５１１′ｔ、、Ａｒ、 Ｈｅ
などの不活性ガス源（５ａ）と、不活性ガスとＮ、な
どの活性ガスとの混合ガス源（５ｂ）と、不活性ガスと
Ｈ８などの還元性ガス源との混合ガス源（５０）との３
種から成り、供給管（６）は、その途中で分岐しｆｃｓ
つの分岐管（６ａＪ （６ｂ）Ｃ６０）ｋ介して夫々の
ガス源（５ａ）（５ｂ） （，５ｃ）に接続せしめ、そ
の任意のガス源を撰択し容器（１）内に供給し得るよう
にした。 ｎ（Ｃ２１（ｔ３は、夫々分岐管に介入した
開閉弁を示すＯ該不活性ガス源（５ａ）の分岐管（６＆
）からはｔ−チ（２）に接続する導管Ｉが分岐している
。住ωは該導管Ｉに介入した調節弁を示す０該容器（１
）の上面には、覗き窓←Ｑ１真閂計測定子αη、圧力計
α榎が設けられているＯ該容器（１）には、前記のガス
供給管（６）と反対側Ｋａ置して搬送管部を気＠に接続
して設ける。
該搬送管−はその先端にノズルｗ’ｅ有し、その先端部
は蒸着処理容器Ｑｖ内に気密に導入し、そのノズルｃＡ
ヲ下向きに垂直に設ける。該ノズル（イ）は、適宜の保
持具（図示しないンにより所定位置に保持し１或は遠隔
操作によシ可動に保持する。該容器Ｃ’ｌＪ内には１そ
のノズル（至）下面にペース移動装置（２４ｔ−設け１
その上面にガラス板等の被処理部材ベースｂ’ｌノズル
（イ）に対面させて設置する。該搬送管（１１には、該
容器（１）と該容器ＣＩ！υとの間の空間に延びる中間
部にｍｍ＊ｃ！３１を介入する。該容器Ｃ１υは１ｂ部
の非醸化性ガス源Ｑ４）に供給管（ハ）を介し接続し、
該容器（２１）内に非酸化性ガスを供給するようにする
。更に該容器ＣＩ）は１ｂ部に前記の真空ポンプ（７）
に排気用導管＠を介し接続し、容器ＱＸｌ内を適宜のガ
ス圧に保持するようにした。＠は、供給管（ハ）に介入
した調節弁を示す。該非酸化性ガス源（２４）は、Ａｒ
５）Ｉｓなどの不活性ガス源（２４ａＪと、不活性ガス
とＮ、などの活性ガスとの混合ガス源（２４りと、不活
性ガスと馬などの還元性ガスとの混合ガス源（２４ａ）
とから成シＳ該供給管＠は１その途中で分岐した３つの
分岐管（２５ａＪ （２５ｂ） （２５ｃ）を介して夫
々のガスｆｐ （２４ａＪ （２４ｂＪ （２４ｏ）に
接続せしめ、その任意のガス＃ｔを選択し容器圓内に供
給し得るようにしたＯ（ハ）ｃ２■（至）は夫々分岐管
囮介入した開閉弁を示す。
は蒸着処理容器Ｑｖ内に気密に導入し、そのノズルｃＡ
ヲ下向きに垂直に設ける。該ノズル（イ）は、適宜の保
持具（図示しないンにより所定位置に保持し１或は遠隔
操作によシ可動に保持する。該容器Ｃ’ｌＪ内には１そ
のノズル（至）下面にペース移動装置（２４ｔ−設け１
その上面にガラス板等の被処理部材ベースｂ’ｌノズル
（イ）に対面させて設置する。該搬送管（１１には、該
容器（１）と該容器ＣＩ！υとの間の空間に延びる中間
部にｍｍ＊ｃ！３１を介入する。該容器Ｃ１υは１ｂ部
の非醸化性ガス源Ｑ４）に供給管（ハ）を介し接続し、
該容器（２１）内に非酸化性ガスを供給するようにする
。更に該容器ＣＩ）は１ｂ部に前記の真空ポンプ（７）
に排気用導管＠を介し接続し、容器ＱＸｌ内を適宜のガ
ス圧に保持するようにした。＠は、供給管（ハ）に介入
した調節弁を示す。該非酸化性ガス源（２４）は、Ａｒ
５）Ｉｓなどの不活性ガス源（２４ａＪと、不活性ガス
とＮ、などの活性ガスとの混合ガス源（２４りと、不活
性ガスと馬などの還元性ガスとの混合ガス源（２４ａ）
とから成シＳ該供給管＠は１その途中で分岐した３つの
分岐管（２５ａＪ （２５ｂ） （２５ｃ）を介して夫
々のガスｆｐ （２４ａＪ （２４ｂＪ （２４ｏ）に
接続せしめ、その任意のガス＃ｔを選択し容器圓内に供
給し得るようにしたＯ（ハ）ｃ２■（至）は夫々分岐管
囮介入した開閉弁を示す。
該容器（２υの上面には、真空計測定子６υ及び圧力計
（ハ）が設けられている。（ハ）は、容器（ハ）内に設
けたベース５面に形成される超微粒子膜の赤外線等の加
熱装置を示す。
（ハ）が設けられている。（ハ）は、容器（ハ）内に設
けたベース５面に形成される超微粒子膜の赤外線等の加
熱装置を示す。
上記の本発明装置全使用し、次のように超微粒子の膜を
ベース５面に吹付は形成する。即ち１咳金属蒸気生成用
容器（１）内に、例えば、不活性ガス源（５りより該供
給管（６）を介して不活性ガスを導入する１方真窒ポン
プ（７）全作動し、その真空パル１ａｏ＋ｔ−適宜に調
節して排気を行ない該容器（１）内に不活性ガス圧を例
えば常圧又は常圧以上の比較的高圧の例えば１．１ａｔ
ｍの不活性ガス雰囲気に維持する。この状態で、プラズ
マ電源（２１′（ｉ：作動し、プラズマ［−チ（３）と
水冷銅ハース（３）との間でプラズマアーク放電を生ゼ
しめ−そのハース（２）内の所望の金属材料ａを溶解す
る。
ベース５面に吹付は形成する。即ち１咳金属蒸気生成用
容器（１）内に、例えば、不活性ガス源（５りより該供
給管（６）を介して不活性ガスを導入する１方真窒ポン
プ（７）全作動し、その真空パル１ａｏ＋ｔ−適宜に調
節して排気を行ない該容器（１）内に不活性ガス圧を例
えば常圧又は常圧以上の比較的高圧の例えば１．１ａｔ
ｍの不活性ガス雰囲気に維持する。この状態で、プラズ
マ電源（２１′（ｉ：作動し、プラズマ［−チ（３）と
水冷銅ハース（３）との間でプラズマアーク放電を生ゼ
しめ−そのハース（２）内の所望の金属材料ａを溶解す
る。
該金属材料ａとは金属又はその合金を総称する。
加熱温度は１プラズマア一クｍ源（２）の圧力調整器等
を介して適宜にその金属材料の融点以上に加熱し、溶解
金属を蒸発させる。１方、真空ポンプ（７１を作動し、
容器（１）内を一旦排気真空とした後・調節弁ｕｃＪ）
ｆ、ＨｍＬ、て容器（１）内を不活性ガスの圧力が常圧
又はこれより高い圧力例えば１．１ａｔｍに維持する１
方容器Ｃ〃内を排気し真空減圧下例えば０．６ ａｔｍ
に維持し、容器（１）内の気圧よシ低圧に保持する。こ
の状態で、搬送管（１９の弁（ハ）を開けば翫該容器（
１）内の不活性ガスの比較的高圧と該容器（２υ内の不
活性ガスの比較的低圧との圧力差によシ、該容器（１）
内の不活性ガスは生成した金属蒸気の超微粒子全件ない
該搬送管Ｑｔ内に流入しその先端のノズル（社）より勢
い良く噴出し、その担持した超微粒子をその下面に予め
置かれたベースｂの上面に吹き付け、該ベース５面上に
例えば該移動装置四の移動によシ、線状の超微粒子膜を
形成せしめ、その後の両容器（１）Ｑυ内の圧力調節は
それぞれのガス供給量と真空排気で行なう。容器（１）
内での超微粒子の生成から容器（２υ円でのその膜形成
までの時間は１０秒以内でめった。弁（２１開くと、そ
の圧力差で、容器（１）内の不活性ガスは生成した金属
蒸気の超微粒子全件ない搬送管ｏ９内に勢い良く流入し
該容器０υ内でその搬送管←１の先端のノズル（２）よ
り噴出せしめ、その担持した超微粒子をその下面にセッ
トしたベースｂの面に吠き付け１移動装置（２７Ｊ全一
定速度で移動するときは、所定の線状の超微粒子膜を形
成することができる０この膜は１容器（１）内の排気真
空下に加え、ノズル（７）よシ噴出する不活性ガスでの
雰囲気に包まれるので１酸化なく、その活性状態の超微
粒子の連続した膜となり、その比抵抗は著しく減少した
ものが、容易且つ円滑に得られることとなる。而して更
に比抵抗を小さくする必要がある場合−加熱装置缶によ
シその股を加熱し超微粒子の焼結を行なう。この結果、
ベース面への固着性も向上する効果をともなう。尚、そ
の加熱時等その処理容器１２Ｕ内の非酸化性雰囲気が要
求される場合は〜例えば不活性ガスｆｉ（２４ａＪよシ
ネ活性ガスを供給管（２５＋を介して適宜容器（１）内
に供給するようにする。
を介して適宜にその金属材料の融点以上に加熱し、溶解
金属を蒸発させる。１方、真空ポンプ（７１を作動し、
容器（１）内を一旦排気真空とした後・調節弁ｕｃＪ）
ｆ、ＨｍＬ、て容器（１）内を不活性ガスの圧力が常圧
又はこれより高い圧力例えば１．１ａｔｍに維持する１
方容器Ｃ〃内を排気し真空減圧下例えば０．６ ａｔｍ
に維持し、容器（１）内の気圧よシ低圧に保持する。こ
の状態で、搬送管（１９の弁（ハ）を開けば翫該容器（
１）内の不活性ガスの比較的高圧と該容器（２υ内の不
活性ガスの比較的低圧との圧力差によシ、該容器（１）
内の不活性ガスは生成した金属蒸気の超微粒子全件ない
該搬送管Ｑｔ内に流入しその先端のノズル（社）より勢
い良く噴出し、その担持した超微粒子をその下面に予め
置かれたベースｂの上面に吹き付け、該ベース５面上に
例えば該移動装置四の移動によシ、線状の超微粒子膜を
形成せしめ、その後の両容器（１）Ｑυ内の圧力調節は
それぞれのガス供給量と真空排気で行なう。容器（１）
内での超微粒子の生成から容器（２υ円でのその膜形成
までの時間は１０秒以内でめった。弁（２１開くと、そ
の圧力差で、容器（１）内の不活性ガスは生成した金属
蒸気の超微粒子全件ない搬送管ｏ９内に勢い良く流入し
該容器０υ内でその搬送管←１の先端のノズル（２）よ
り噴出せしめ、その担持した超微粒子をその下面にセッ
トしたベースｂの面に吠き付け１移動装置（２７Ｊ全一
定速度で移動するときは、所定の線状の超微粒子膜を形
成することができる０この膜は１容器（１）内の排気真
空下に加え、ノズル（７）よシ噴出する不活性ガスでの
雰囲気に包まれるので１酸化なく、その活性状態の超微
粒子の連続した膜となり、その比抵抗は著しく減少した
ものが、容易且つ円滑に得られることとなる。而して更
に比抵抗を小さくする必要がある場合−加熱装置缶によ
シその股を加熱し超微粒子の焼結を行なう。この結果、
ベース面への固着性も向上する効果をともなう。尚、そ
の加熱時等その処理容器１２Ｕ内の非酸化性雰囲気が要
求される場合は〜例えば不活性ガスｆｉ（２４ａＪよシ
ネ活性ガスを供給管（２５＋を介して適宜容器（１）内
に供給するようにする。
容器＋１）と容器ＣＩ！１１内のガス圧の差は、容器Ｉ
２υ内も非酸化性ガスのガス圧が常圧又はそれ以上の圧
力に保つようにしてもよく１この場合は、真空ポンプ（
７）により容器シｖ内の空気金除去し排気ｔつ鵞けて１
方非酸化性ガス源（財）よシガスを容器ＣＩ！ｖ内に供
給し１その非酸化性ガスによりその圧力が常圧又はそれ
以上に維持するように保持するようにし、１方容器（１
）内の非酸化性ガスの圧力をか−る容器ｃ！ｖ内の該ガ
ス圧よりも高く設足する。これは真空パルプｔｌＱｌ、
−を夫々調節することにより達成される。図面では、真
空ボン７ （７１’ｉｉ−共用したが１勿論島各別に設
けるようにしてもよい。非酸化性ガスのうち、不活性ガ
スとＮ！の混合ガス及び不活性ガスとＨ３との混合ガス
は夫々超微粒子の生成時に窒素ガスが存在すると高温の
超微粒子の表面との反応で窒化膜が形成される。水素ガ
スの存在では、高温の超微粒子表面の酸化を防止するに
役立つ。
２υ内も非酸化性ガスのガス圧が常圧又はそれ以上の圧
力に保つようにしてもよく１この場合は、真空ポンプ（
７）により容器シｖ内の空気金除去し排気ｔつ鵞けて１
方非酸化性ガス源（財）よシガスを容器ＣＩ！ｖ内に供
給し１その非酸化性ガスによりその圧力が常圧又はそれ
以上に維持するように保持するようにし、１方容器（１
）内の非酸化性ガスの圧力をか−る容器ｃ！ｖ内の該ガ
ス圧よりも高く設足する。これは真空パルプｔｌＱｌ、
−を夫々調節することにより達成される。図面では、真
空ボン７ （７１’ｉｉ−共用したが１勿論島各別に設
けるようにしてもよい。非酸化性ガスのうち、不活性ガ
スとＮ！の混合ガス及び不活性ガスとＨ３との混合ガス
は夫々超微粒子の生成時に窒素ガスが存在すると高温の
超微粒子の表面との反応で窒化膜が形成される。水素ガ
スの存在では、高温の超微粒子表面の酸化を防止するに
役立つ。
尚１図示しないが、Ｎ、などの活性ガス単独のガス源或
はＮ３などの還元性ガス単独のガス源を設けてもよい。
はＮ３などの還元性ガス単独のガス源を設けてもよい。
このように形成した膜を形成したベースを外部に取９出
すには、予め、容器Ｑυの開閉弁（図示しない〕を徐々
に開けて膜の表面を徐酸化することが好ましい。
すには、予め、容器Ｑυの開閉弁（図示しない〕を徐々
に開けて膜の表面を徐酸化することが好ましい。
実施例１
金属蒸気生成用容器内の水冷銅ハース内に１５．３９の
Ｎ１塊をチャージし１該容器内を高真空（くＩ Ｐａ
ｓ ７−６ Ｘ １０ ）−ル】に排気したのち、アル
ゴンガスを導入し、１．１ ａｔｍ （０，１１叶ａ）
の圧力に保つ。蒸着処理容器内はベース移動装置上にペ
ースをセットし、該容器内を高真空（〈Ｉ Ｐａ、７．
６Ｘ１０ ）−ルンに排気後、アルゴンガスを導入して
０，６ ａｔｍ （・０．０６ ＭＰａ 、 ４５６ト
ール）の圧力に保つ。直流電源に接続した１９Ｘ”マト
ーチに高周波を印加し、パイロットアークを発生させた
のち、仝トーチと水冷鋼ハース間に直流電圧を印加して
例えば電圧５２Ｖ＠流５０ムのプラズマアーク放ＷＬヲ
移行し、水冷銅るつぼ内のＮ１を溶解せしめる。１方容
器（１）内には１１／１ｎｉｘでアルゴンガスを流入し
つ！け真空ポンプｏｓＩｆｉ弁ｔ−８１ｉｔｌｉシて常
時Ｌ１ ＊ｔｒｒｒのガス圧を保つようにする。放ｍ關
始後約３０秒経過するとＮｉ溶湯面からＮ１蒸気が発生
し、煙状のＮ１超微粒子の生成が目視できる。放亀捌始
後１分後に搬送管のパルプ′ｔ−開き、該容器からアル
ゴンガスと共に生成Ｎ１超微粒子を蒸着処理容器内に搬
送しノズルよりスライドグラスのペース上面にスプレー
する◎ペースは３０■層の速度で移動し一スプレー時間
２分間で長さ６０■の超微粒子膜を形成し友。その膜の
幅は０４１１１１厚さ＃′１４．１声謂であった◎こＯ
形成膜を大気中に取り出し電気抵抗を測定した所、５．
８×１０ Ω・ａを示した。この値は、前記特許出願の
方法で１アルゴン雰囲気中で徐酸化処理Ｎ１超微粒子の
膜を形成し１その後５００°Ｃに加熱した膜の比抵抗値
の約りであった。
Ｎ１塊をチャージし１該容器内を高真空（くＩ Ｐａ
ｓ ７−６ Ｘ １０ ）−ル】に排気したのち、アル
ゴンガスを導入し、１．１ ａｔｍ （０，１１叶ａ）
の圧力に保つ。蒸着処理容器内はベース移動装置上にペ
ースをセットし、該容器内を高真空（〈Ｉ Ｐａ、７．
６Ｘ１０ ）−ルンに排気後、アルゴンガスを導入して
０，６ ａｔｍ （・０．０６ ＭＰａ 、 ４５６ト
ール）の圧力に保つ。直流電源に接続した１９Ｘ”マト
ーチに高周波を印加し、パイロットアークを発生させた
のち、仝トーチと水冷鋼ハース間に直流電圧を印加して
例えば電圧５２Ｖ＠流５０ムのプラズマアーク放ＷＬヲ
移行し、水冷銅るつぼ内のＮ１を溶解せしめる。１方容
器（１）内には１１／１ｎｉｘでアルゴンガスを流入し
つ！け真空ポンプｏｓＩｆｉ弁ｔ−８１ｉｔｌｉシて常
時Ｌ１ ＊ｔｒｒｒのガス圧を保つようにする。放ｍ關
始後約３０秒経過するとＮｉ溶湯面からＮ１蒸気が発生
し、煙状のＮ１超微粒子の生成が目視できる。放亀捌始
後１分後に搬送管のパルプ′ｔ−開き、該容器からアル
ゴンガスと共に生成Ｎ１超微粒子を蒸着処理容器内に搬
送しノズルよりスライドグラスのペース上面にスプレー
する◎ペースは３０■層の速度で移動し一スプレー時間
２分間で長さ６０■の超微粒子膜を形成し友。その膜の
幅は０４１１１１厚さ＃′１４．１声謂であった◎こＯ
形成膜を大気中に取り出し電気抵抗を測定した所、５．
８×１０ Ω・ａを示した。この値は、前記特許出願の
方法で１アルゴン雰囲気中で徐酸化処理Ｎ１超微粒子の
膜を形成し１その後５００°Ｃに加熱した膜の比抵抗値
の約りであった。
実施例２
金属部材としてＴ１ヲ使用し１プラズマ電圧３４Ｖ仝電
流５０Ａで加熱蒸発し１生成用呈容器内ａｔｍ （０，
０４ＭＰａ、 ５０４ ）−ルンとした以外は、実施例
１と同じ条件で笑施し、長さ６１ｍ５幅０．５閣厚さ３
．８戸−の膜を形成した・この比抵抗は６．５Ωαで導
通性の膜として得られた。
流５０Ａで加熱蒸発し１生成用呈容器内ａｔｍ （０，
０４ＭＰａ、 ５０４ ）−ルンとした以外は、実施例
１と同じ条件で笑施し、長さ６１ｍ５幅０．５閣厚さ３
．８戸−の膜を形成した・この比抵抗は６．５Ωαで導
通性の膜として得られた。
不法は、上記の他、Ｍｂｓ Ｔａ５Ｚｒｓ Ｈｌｓ Ｍ
ｏ、 Ｗなどの高融点金属、１・、００などの遷移金属
、Ａノ、Ｏｒなどの活性金属、Ａｇｓ Ｏｕなどの導電
金属、Ａｕ、Ｐｔなどの貴金属などの種々の金属、又は
その合金等によりその超微粒子膜の形成が可能である。
ｏ、 Ｗなどの高融点金属、１・、００などの遷移金属
、Ａノ、Ｏｒなどの活性金属、Ａｇｓ Ｏｕなどの導電
金属、Ａｕ、Ｐｔなどの貴金属などの種々の金属、又は
その合金等によりその超微粒子膜の形成が可能である。
尚１上記のプラズマアーク加熱以外に、加熱装置として
、アーク加熱−高周波銹導加熱、抵抗加熱、レーザー加
熱などが使用できる・このように本発明によるときは、
金属蒸発生成用容器と蒸着処理容器とこれら容器を接続
する搬送管とから成シ、該金属蒸発生成用容器内で生成
せしめた金属部材の蒸気ｔ％該容器内に導入した非酸化
性ガスと共に該容器内と蒸着処理容器内との圧力の差を
利用して該搬送管を介して該蒸着処理容器に導入しその
搬送管の先端のノズルよシそのガスによりベース面に吠
き付けるようにしたので一ペース向には酸化されない超
微粒子の膜が形成し得られ、比抵抗の比較的低い膜が得
られる効果を有する。
、アーク加熱−高周波銹導加熱、抵抗加熱、レーザー加
熱などが使用できる・このように本発明によるときは、
金属蒸発生成用容器と蒸着処理容器とこれら容器を接続
する搬送管とから成シ、該金属蒸発生成用容器内で生成
せしめた金属部材の蒸気ｔ％該容器内に導入した非酸化
性ガスと共に該容器内と蒸着処理容器内との圧力の差を
利用して該搬送管を介して該蒸着処理容器に導入しその
搬送管の先端のノズルよシそのガスによりベース面に吠
き付けるようにしたので一ペース向には酸化されない超
微粒子の膜が形成し得られ、比抵抗の比較的低い膜が得
られる効果を有する。
図面は不法を実施する装置の１例の線図である０
（１）−・・金属蒸発生成用器 （３）・・・金属材料
加熱装置ａ・・・金属材料 （５）−・・非酸化性ガス
源 （７）・・・真空ポンプ （１９−・・搬送管 翰
・・・ノズルシト・・蒸着処理容器 特許出鳳人 新手技、ツ術ミ・梶１発【事、゛業、団同
上 林 主税 同 上 賀 集 誠一部
加熱装置ａ・・・金属材料 （５）−・・非酸化性ガス
源 （７）・・・真空ポンプ （１９−・・搬送管 翰
・・・ノズルシト・・蒸着処理容器 特許出鳳人 新手技、ツ術ミ・梶１発【事、゛業、団同
上 林 主税 同 上 賀 集 誠一部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 を非酸化性ガスの雰囲気とした金属蒸気生成用容器内で
金属材料を加熱蒸発して超微粒子に生成せしめＮこれを
搬送管を介して該非酸化性ガスと共に蒸着処理容器内に
導入し１該蒸着容器内で搬送管の先端のノズルより超微
粒子をその非酸化性ガスの噴気を介してその超微粒子を
被処理ベース面に吹付は咳面に超微粒子の膜を付着形成
せしめることを特徴とする超微粒子膜の形成法◎ ２該金属蒸気生成用容器内と蒸着処理容器内とのガス圧
の差を利用して生成金属蒸気を搬送管を介して蒸着処理
容器内に圧送又は吸引搬送すると共にノズルより噴気せ
しめるようにしたことを特徴とする特ｒｆ諸求の範囲１
項に記載の形成法。 五内部に金属材料の加熱装置をもち１且つ非酸化性ガス
を導入されるようにした金属蒸気生成用容器と、該容器
より導出する先端にノズルをもつ搬送管と１内部に該搬
送管のノズルをもつ先端部と、被処理部材をセットする
設置部とを備え、且つ非酸化性ガスを導入されるように
した蒸着処理容器と、該金属蒸気生成用容器と該蒸着処
理容器とに接続する排気真空装置とから成る超微粒子膜
の形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21169583A JPS60106964A (ja) | 1983-11-12 | 1983-11-12 | 超微粒子膜の形成法並に装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21169583A JPS60106964A (ja) | 1983-11-12 | 1983-11-12 | 超微粒子膜の形成法並に装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60106964A true JPS60106964A (ja) | 1985-06-12 |
| JPH0216379B2 JPH0216379B2 (ja) | 1990-04-17 |
Family
ID=16610052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21169583A Granted JPS60106964A (ja) | 1983-11-12 | 1983-11-12 | 超微粒子膜の形成法並に装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60106964A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0270058A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-03-08 | Stanley Electric Co Ltd | 安定化超微粒子膜形成装置 |
| JPH0273958A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-13 | Stanley Electric Co Ltd | 超微粒子膜形成装置 |
| US5104293A (en) * | 1990-07-16 | 1992-04-14 | United Technologies Corporation | Method for applying abrasive layers to blade surfaces |
| JPH0627329B2 (ja) * | 1984-02-13 | 1994-04-13 | シュミット，ジェロウム・ジェイ・ザ・サ−ド | 導電および誘電性固体薄膜のガスジェット付着方法および装置とそれによって製造される生産物 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07137681A (ja) * | 1993-11-18 | 1995-05-30 | Toshihisa Suga | 自転車における電動補助駆動装置 |
| JPH07291175A (ja) * | 1994-04-25 | 1995-11-07 | Kinzo Matsunaga | 自転車用補助駆動装置 |
| JP4828108B2 (ja) * | 2004-10-14 | 2011-11-30 | タマティーエルオー株式会社 | 物理蒸着装置 |
-
1983
- 1983-11-12 JP JP21169583A patent/JPS60106964A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627329B2 (ja) * | 1984-02-13 | 1994-04-13 | シュミット，ジェロウム・ジェイ・ザ・サ−ド | 導電および誘電性固体薄膜のガスジェット付着方法および装置とそれによって製造される生産物 |
| JPH0270058A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-03-08 | Stanley Electric Co Ltd | 安定化超微粒子膜形成装置 |
| JPH0273958A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-13 | Stanley Electric Co Ltd | 超微粒子膜形成装置 |
| US5104293A (en) * | 1990-07-16 | 1992-04-14 | United Technologies Corporation | Method for applying abrasive layers to blade surfaces |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0216379B2 (ja) | 1990-04-17 |
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