JPS60109042U - スル−ホ−ル検査装置 - Google Patents

スル−ホ−ル検査装置

Info

Publication number
JPS60109042U
JPS60109042U JP20389883U JP20389883U JPS60109042U JP S60109042 U JPS60109042 U JP S60109042U JP 20389883 U JP20389883 U JP 20389883U JP 20389883 U JP20389883 U JP 20389883U JP S60109042 U JPS60109042 U JP S60109042U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hole
hole inspection
light
inspection equipment
inspection device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20389883U
Other languages
English (en)
Inventor
三田 喜久夫
護俊 安藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP20389883U priority Critical patent/JPS60109042U/ja
Publication of JPS60109042U publication Critical patent/JPS60109042U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来のスルーホール検査装置の概略構造を示す
断面図、第2図は本考案に係るスルーホール検査装置の
概略構造を示す断面図、第3図と第4図は本考案の他の
実施例を示す断面図である。 〔符号の説明〕、1・・・・・・プリント板、2・・・
・・・スルーホール、16,18,20・・・・・・遮
光マスク、17.19,21・・・・・・反射防止手段

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. スルーホール入口に遮光マスクを施してプリント板表面
    に光を照射し、スルーホール内に漏れた光を検知してス
    ルーホール内面の導電層欠陥を検知するネル−ホール検
    査装置において、前記遮光マスクの表面に反射防止を埠
    したことを特徴とするスルーホール検査装置。
JP20389883U 1983-12-27 1983-12-27 スル−ホ−ル検査装置 Pending JPS60109042U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20389883U JPS60109042U (ja) 1983-12-27 1983-12-27 スル−ホ−ル検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20389883U JPS60109042U (ja) 1983-12-27 1983-12-27 スル−ホ−ル検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60109042U true JPS60109042U (ja) 1985-07-24

Family

ID=30766302

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20389883U Pending JPS60109042U (ja) 1983-12-27 1983-12-27 スル−ホ−ル検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60109042U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60109042U (ja) スル−ホ−ル検査装置
JPS6039047U (ja) マスクブランク板
JPS59146709U (ja) 欠陥検査装置
JPS5874360U (ja) シ−ルドジヤンパ−線
JPS5982257U (ja) レジスト塗布装置
JPS60140955U (ja) 段差付きホトマスク
JPS59192870U (ja) プリント基板装置
JPS58133990U (ja) シ−ルド構造
JPS62173748U (ja)
JPS5920172U (ja) ユニバ−サルフイクスチヤ−
JPS58177967U (ja) 配線基板
JPS5825066U (ja) プリント基板
JPS5917441U (ja) フオトマスク
JPS5842965U (ja) プリント板のパタ−ン形成用ア−トワ−クフィルム
JPS5997482U (ja) プリント回路板検査装置
JPS5863746U (ja) 電子ビ−ム露光装置における測定用位置マ−クの構造
JPS59128564U (ja) 磁粉探傷に用いるテストパタ−ン
JPS5942954U (ja) パタ−ン検査装置
JPS597444U (ja) 校正用フイルム
JPS5874344U (ja) 半導体装置
JPS6029650U (ja) メタルスクリ−ン
JPS5920541U (ja) 露光装置
JPS5877073U (ja) 印刷配線板
JPS59186850U (ja) 感光性皮膜の露光装置
JPS5871109U (ja) 表面測定装置