JPS6039047U - マスクブランク板 - Google Patents

マスクブランク板

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Publication number
JPS6039047U
JPS6039047U JP1983130550U JP13055083U JPS6039047U JP S6039047 U JPS6039047 U JP S6039047U JP 1983130550 U JP1983130550 U JP 1983130550U JP 13055083 U JP13055083 U JP 13055083U JP S6039047 U JPS6039047 U JP S6039047U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask blank
blank board
transparent substrate
board
shielding film
Prior art date
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Pending
Application number
JP1983130550U
Other languages
English (en)
Inventor
久野　輝雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Inc filed Critical Toppan Inc
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Publication of JPS6039047U publication Critical patent/JPS6039047U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のマスクブランク板の一例を示し第１図イ
は平面図、第１図口は断面図である。第２図は従来のマ
スクブランク板の欠点を示す説明図であり、第３図は本
考案のマスクブランク板の一実施例を示し第３図イは平
面図、第３図口は断面図である。第４図は本考案のマス
クブランク板の製造法の一例を示す説明図である。 １・・・透明基板、２・・・遮光膜、３・・・周辺部、
４・・・側面、５・・・粉片、６・・・パターン部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 透明基板の片面に、該透明基板の周辺部を除いて遮光膜
    を一様に形成してなること特徴とするマスクブランク板
    。
JP1983130550U 1983-08-24 1983-08-24 マスクブランク板 Pending JPS6039047U (ja)

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Family

ID=30295438

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