JPS60110A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS60110A JPS60110A JP10715983A JP10715983A JPS60110A JP S60110 A JPS60110 A JP S60110A JP 10715983 A JP10715983 A JP 10715983A JP 10715983 A JP10715983 A JP 10715983A JP S60110 A JPS60110 A JP S60110A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- piezoelectric
- oscillator
- vibrator
- patterns
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02086—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/0211—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明はエネルギ閉じ込め製圧電振動子のスプリアスを
抑制する高性能化に関する。
抑制する高性能化に関する。
伽）技術の背景
圧電基板の対向主面それぞれに適当な電極をノくターン
形成した振動子において、該基板には水晶。
形成した振動子において、該基板には水晶。
セラミックスとともにＬｉＴａ０．やＬｉＮｂＯ５等の
圧電性を有する単結晶から切出したものが使用されてい
る。そしてセラミックス及び圧電性単結晶の基板は水晶
のものに比べて結合係数が大きく、圧電性単結晶の基板
はセラミックスのものに比べて制動容量が小さくて済む
特徴がある０従って、電圧制御発振器として圧電性単結
晶から切出した基板ｔこ励振用電極をパターン形成した
エネルギ閉じ込め型振動子は、制御域が広く、小容量の
コンデンサで制動可能になる利点を有する。
圧電性を有する単結晶から切出したものが使用されてい
る。そしてセラミックス及び圧電性単結晶の基板は水晶
のものに比べて結合係数が大きく、圧電性単結晶の基板
はセラミックスのものに比べて制動容量が小さくて済む
特徴がある０従って、電圧制御発振器として圧電性単結
晶から切出した基板ｔこ励振用電極をパターン形成した
エネルギ閉じ込め型振動子は、制御域が広く、小容量の
コンデンサで制動可能になる利点を有する。
（ｃ） 従来技術と問題点
第１図はＬｉＴａ０．単結晶の圧電基板を用いた振器１
図において、１はエネルギ閉じ込め型振動素子、２はＬ
ＩＴａＯ，の圧電基板、３，４は励振用電極パターン、
３ａ、４ａは電極パターン３及び４とそれぞれ一体に形
成された引出しパターンである。
図において、１はエネルギ閉じ込め型振動素子、２はＬ
ＩＴａＯ，の圧電基板、３，４は励振用電極パターン、
３ａ、４ａは電極パターン３及び４とそれぞれ一体に形
成された引出しパターンである。
ＬＩＴａＯ，Ｍｌ結晶のＸ板から切出した基板２は平面
視正方形であり、平面視長方形の電極パターン３と４は
、基板２の対向主面のそれぞれ中心部、かつ基板２の対
角線方向にその長さ方向が一致し、引出しパターン３ａ
と４ａは基板２のそれぞれ異なるコーナに延長形成され
ている。
視正方形であり、平面視長方形の電極パターン３と４は
、基板２の対向主面のそれぞれ中心部、かつ基板２の対
角線方向にその長さ方向が一致し、引出しパターン３ａ
と４ａは基板２のそれぞれ異なるコーナに延長形成され
ている。
第２図及び第３図において、５は振動子、６は金属にて
なるパッケージ基板、７，８は絶縁プツシ、 ９．１０
を介して基板６に中間部が固着されたリード端子、１１
は基板６に一端が接続されたアース端子、１２は金属に
てなるキャップ、１３．．１４は導電性接着材であり、
素子１のパターン３ａを端子７に接続する接着材１３と
パターン４ａを端子８に接続する接着材１４は、素子１
を端子７と８に固定する。
なるパッケージ基板、７，８は絶縁プツシ、 ９．１０
を介して基板６に中間部が固着されたリード端子、１１
は基板６に一端が接続されたアース端子、１２は金属に
てなるキャップ、１３．．１４は導電性接着材であり、
素子１のパターン３ａを端子７に接続する接着材１３と
パターン４ａを端子８に接続する接着材１４は、素子１
を端子７と８に固定する。
このように構成された振動子５において、端子７と８及
びパターン３ａと４ａを介して電極３と４に所定の高周
波適圧を印加すると、基板２は振動エネルギが電極３と
４の対向間に閉じ込められた厚みすべり振動をするよう
になる。そして電極３と４の長さ方向を基板２の対角線
方向とし、基板２の外郭辺と平行にしてないのは振動さ
せたとき該外郭辺で反射するバルク波によるスプリアス
の最小にするためである。しかし、このような対策によ
りスプリアスを無くすることができず、その改善が強く
望まれていた。
びパターン３ａと４ａを介して電極３と４に所定の高周
波適圧を印加すると、基板２は振動エネルギが電極３と
４の対向間に閉じ込められた厚みすべり振動をするよう
になる。そして電極３と４の長さ方向を基板２の対角線
方向とし、基板２の外郭辺と平行にしてないのは振動さ
せたとき該外郭辺で反射するバルク波によるスプリアス
の最小にするためである。しかし、このような対策によ
りスプリアスを無くすることができず、その改善が強く
望まれていた。
、（ｄ）発明の目的
本発明の目的は上記問題点を除去し、ＬｉＴａＯ５やＬ
ＩＮｂＯｓ等の圧電革結晶から切出した基板を用いてな
るエネルギ閉じ込め型振動子の特性を、向上させること
である。
ＩＮｂＯｓ等の圧電革結晶から切出した基板を用いてな
るエネルギ閉じ込め型振動子の特性を、向上させること
である。
（ｅ） 発明の構成
上記目的は、圧電基板の周端面にエポキシ系樹脂等から
なるバルク波吸収層を被着したことを特徴とする圧電振
動子により達成される。
なるバルク波吸収層を被着したことを特徴とする圧電振
動子により達成される。
（ｆ） 発明の実施例
以下、本発明の実施例に係わる図面を用いて本発明を説
明する。
明する。
第４図は本発明の一実施例に係わる振動子のキャップを
取除いた平面図である。
取除いた平面図である。
前出図と同等部分には同一符号を用いた第４図において
、振動子２１は第２図及び第３図に示した振動子５に本
発明を適用した一実施例を示、したものであり、振動素
子２２は電極パターン３．４及びその引出しパターン３
ａ、４ａを形成した圧電基板２の、引出しパターン３ａ
、４ａ導出端を除く周端面に、バルク波吸収層（例えば
エポキシ系樹脂／ｉり２３が被着されている。そしてこ
のような素子２２は、絶縁ブツシュ９，１０を介して基
板６に固着されたリード端子７．８に、導電性接着材１
３．１４でそれぞれ接続・搭載されてたのち、基板６に
キャンプ（第２図のキャップ１２と同等品）を気密接合
しその閉空間に収容される。
、振動子２１は第２図及び第３図に示した振動子５に本
発明を適用した一実施例を示、したものであり、振動素
子２２は電極パターン３．４及びその引出しパターン３
ａ、４ａを形成した圧電基板２の、引出しパターン３ａ
、４ａ導出端を除く周端面に、バルク波吸収層（例えば
エポキシ系樹脂／ｉり２３が被着されている。そしてこ
のような素子２２は、絶縁ブツシュ９，１０を介して基
板６に固着されたリード端子７．８に、導電性接着材１
３．１４でそれぞれ接続・搭載されてたのち、基板６に
キャンプ（第２図のキャップ１２と同等品）を気密接合
しその閉空間に収容される。
このように構成された振動子２１は、圧電基板１の周端
で反射するバルク波を吸収層２３が吸収するため、該反
射によるスプリアスを抑制、例えば第２図及び第３図に
示す如く構成されたワイヤレスマイク用の２６Ｍ１（ｚ
振動子を第４図に示す如く構成して用いたとき、共振周
波数よりも約５チ低い周波数で発生していた約０．１ｄ
Ｂのスプリアスが消滅された。
で反射するバルク波を吸収層２３が吸収するため、該反
射によるスプリアスを抑制、例えば第２図及び第３図に
示す如く構成されたワイヤレスマイク用の２６Ｍ１（ｚ
振動子を第４図に示す如く構成して用いたとき、共振周
波数よりも約５チ低い周波数で発生していた約０．１ｄ
Ｂのスプリアスが消滅された。
なお、上記実施例では圧笛４基板１のほぼ全周端面に渡
ってバルク波吸収層２３を被着しているが基板１を支持
しない基板コーナ部近傍の周端面のみに、バルク波吸収
層を被着してもスプリアス低減効果を有する。また、本
発明は上記実施列に示す構成の振動子に限定されず、他
種パッケージ及び素子支持構造が異なる振動子について
も実施例と同等の効果を有することを付記する。
ってバルク波吸収層２３を被着しているが基板１を支持
しない基板コーナ部近傍の周端面のみに、バルク波吸収
層を被着してもスプリアス低減効果を有する。また、本
発明は上記実施列に示す構成の振動子に限定されず、他
種パッケージ及び素子支持構造が異なる振動子について
も実施例と同等の効果を有することを付記する。
（ｇ） 発明の詳細
な説明した如く本発明によれば、エネルギ閉じ込め型振
動素子のスプリアスを抑制し、該素子を用いた振動子の
振動特性が高性能された効果は極めて顕著である。
動素子のスプリアスを抑制し、該素子を用いた振動子の
振動特性が高性能された効果は極めて顕著である。
第１図はＬ ｉ Ｔ ａ０３１結晶の圧電基板を用いた
エネルギ閉じ込め型振動素子の従来構造例を示す斜視図
、第２図は前記素子をＴｏ型パッケージに収容した振動
子のキャンプを破断した側面図、第３図は前記振動子の
キャップを取除いた平面図、第４図は本発明の一実施例
になる振動子のキャンプを取除いた平面図である。 図中におい°Ｕ、１．２２は振動素子、２は圧電基板、
３，４は電極パターン、５．２１は圧電振動子。
エネルギ閉じ込め型振動素子の従来構造例を示す斜視図
、第２図は前記素子をＴｏ型パッケージに収容した振動
子のキャンプを破断した側面図、第３図は前記振動子の
キャップを取除いた平面図、第４図は本発明の一実施例
になる振動子のキャンプを取除いた平面図である。 図中におい°Ｕ、１．２２は振動素子、２は圧電基板、
３，４は電極パターン、５．２１は圧電振動子。
Claims (1)
- エネルギ閉じ込め型振動素子の圧電基板の周端面にエポ
キシ系樹脂等からなるバルク波吸収層を被着したことを
特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10715983A JPS60110A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10715983A JPS60110A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60110A true JPS60110A (ja) | 1985-01-05 |
Family
ID=14451986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10715983A Pending JPS60110A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60110A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08261915A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Olympus Optical Co Ltd | 触覚センサプローブ及び触覚センサ |
-
1983
- 1983-06-15 JP JP10715983A patent/JPS60110A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08261915A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Olympus Optical Co Ltd | 触覚センサプローブ及び触覚センサ |
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