JPS60112251U - 現像装置 - Google Patents
現像装置Info
- Publication number
- JPS60112251U JPS60112251U JP20419183U JP20419183U JPS60112251U JP S60112251 U JPS60112251 U JP S60112251U JP 20419183 U JP20419183 U JP 20419183U JP 20419183 U JP20419183 U JP 20419183U JP S60112251 U JPS60112251 U JP S60112251U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- developing device
- substrate
- recorded
- heater
- electronic filing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１区は従来の現像装置の断面図、第２図は本考案の一
実施例を示す現像装置の断面図である。 図において、１・・・半導体基板、２，２′・・・スプ
レィノズル、３，３′・・・フタ部、４・・・水滴、５
・・・ヒーターを示す。
実施例を示す現像装置の断面図である。 図において、１・・・半導体基板、２，２′・・・スプ
レィノズル、３，３′・・・フタ部、４・・・水滴、５
・・・ヒーターを示す。
Claims (1)
- 基板上方に位置する部分にヒーターを設け〃事を特徴と
する基板上の感光膜の現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20419183U JPS60112251U (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | 現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20419183U JPS60112251U (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | 現像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60112251U true JPS60112251U (ja) | 1985-07-30 |
Family
ID=30766599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20419183U Pending JPS60112251U (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | 現像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60112251U (ja) |
-
1983
- 1983-12-29 JP JP20419183U patent/JPS60112251U/ja active Pending
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