JPS60122845U - 温度補償機構付圧力・差圧伝送器 - Google Patents
温度補償機構付圧力・差圧伝送器Info
- Publication number
- JPS60122845U JPS60122845U JP966384U JP966384U JPS60122845U JP S60122845 U JPS60122845 U JP S60122845U JP 966384 U JP966384 U JP 966384U JP 966384 U JP966384 U JP 966384U JP S60122845 U JPS60122845 U JP S60122845U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature compensation
- pressure
- compensation mechanism
- fixed
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来装置の断面図、第２図は、第１図に示す
従来装置における温度補償ダイアフラム部分の拡大断面
図、第３図は、従来装置の応答特性を示す波形図で、図
ａは入力波形図、図すは出力波形図、第４図は、本考案
実施例装置の要部断面図、第５図は、第４図に示す本考
案実施例装置における溝部の具体例を示す、ディスク９
，１０部分の平面図、第６図は、本考案実施例装置にお
ける溝部の他の具体例を示す、ディスク９，１０部分の
平面図である。 １・・・本体、３，４・・・貫通孔、５，６・・・開口
部、７．８・・□・受圧ダイアフラム、９．１０・・・
ディスク、１１．１２・・・貫通孔、１３．１４・・・
温度補償ダイアフラム、１５・・・移動電極、１９．２
０・・・固定電極、２３ａ〜２３ｅ・・・溝部。
従来装置における温度補償ダイアフラム部分の拡大断面
図、第３図は、従来装置の応答特性を示す波形図で、図
ａは入力波形図、図すは出力波形図、第４図は、本考案
実施例装置の要部断面図、第５図は、第４図に示す本考
案実施例装置における溝部の具体例を示す、ディスク９
，１０部分の平面図、第６図は、本考案実施例装置にお
ける溝部の他の具体例を示す、ディスク９，１０部分の
平面図である。 １・・・本体、３，４・・・貫通孔、５，６・・・開口
部、７．８・・□・受圧ダイアフラム、９．１０・・・
ディスク、１１．１２・・・貫通孔、１３．１４・・・
温度補償ダイアフラム、１５・・・移動電極、１９．２
０・・・固定電極、２３ａ〜２３ｅ・・・溝部。
Claims (1)
- 本体の片側或は両側に設けられた、本体内部室へ連通ず
る貫通孔が設けられた開口部と、この開口部周縁に外周
部が固定された受圧ダイアフラムと、この受圧ダイアフ
ラムの内周縁に外周部が固定され、表面に貫通孔が設け
られたディスクと、このディスクの外側より、このディ
スクの外周縁に周縁が固定さ杆た、波形のない温度補償
ダイアフラムと、前記本体内部室に設けられた圧力検出
要素と、前記本体内部空間及び前記温度補償ダイアフラ
ム部分に充填された非圧縮性流体とを備え、 た温度
補償機構付圧力・差圧伝送器において、前記温度補償ダ
イアフラムに面する前記ディスク表面に、前記貫通孔部
分と連絡する溝部を設けたこ、 とを特徴とする温度
補償機構付圧力・差圧伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP966384U JPS60122845U (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 温度補償機構付圧力・差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP966384U JPS60122845U (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 温度補償機構付圧力・差圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60122845U true JPS60122845U (ja) | 1985-08-19 |
Family
ID=30490098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP966384U Pending JPS60122845U (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 温度補償機構付圧力・差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60122845U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170103890A (ko) * | 2015-01-16 | 2017-09-13 | 캐논 가부시끼가이샤 | 온도 제어 장치, 리소그래피 장치 및 물품 제조 방법 |
-
1984
- 1984-01-26 JP JP966384U patent/JPS60122845U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170103890A (ko) * | 2015-01-16 | 2017-09-13 | 캐논 가부시끼가이샤 | 온도 제어 장치, 리소그래피 장치 및 물품 제조 방법 |
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