JPS60124042U - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS60124042U JPS60124042U JP1079584U JP1079584U JPS60124042U JP S60124042 U JPS60124042 U JP S60124042U JP 1079584 U JP1079584 U JP 1079584U JP 1079584 U JP1079584 U JP 1079584U JP S60124042 U JPS60124042 U JP S60124042U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- lower valve
- lock chamber
- vacuum lock
- semiconductor manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体製造装置（イオン注入装置）の要
部断面側面図、第２図及び第３図は第１図の各部分の動
作を説明するための各状態時での部分拡大断面図、第４
図は第１図の一部拡大平面 図の一部拡大平面図、第５
図は本考案の二実施例を示す要部断面側面図、第６図は
第５図の一部拡大平面図、第７図は第６図のＸ−Ｘ線に
沿う部分拡大断面図、第８図は第５図の一部の動作を示
す概略平面図である。
部断面側面図、第２図及び第３図は第１図の各部分の動
作を説明するための各状態時での部分拡大断面図、第４
図は第１図の一部拡大平面 図の一部拡大平面図、第５
図は本考案の二実施例を示す要部断面側面図、第６図は
第５図の一部拡大平面図、第７図は第６図のＸ−Ｘ線に
沿う部分拡大断面図、第８図は第５図の一部の動作を示
す概略平面図である。
Claims (1)
- 傾斜した両側壁にウェーハ入口とウェーハ出口を有する
真空ロック室と、該真空ロック室に内蔵されると共に上
下で対向して対向方向に適宜量欠勤して真空ロック室内
を適宜二分する傾斜した上部及び下部バルブを有し、前
記ウェーハ入口から自重で滑降して搬入された半導体ウ
ェーハを前記下部バルブ上で仮止め搭載してから前記ウ
ェーハ出口より自重で滑降させ搬出するものにおいて、
前記下部バルブ上面に該上面に沿って外部開閉手段によ
り適宜開閉動して下部バルブ上に搬入された半導体ウェ
ーハを適宜弾圧挾持する一対のサイドストッパを設置し
たことを特徴とする半導体製・ 造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1079584U JPS60124042U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1079584U JPS60124042U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60124042U true JPS60124042U (ja) | 1985-08-21 |
Family
ID=30492305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1079584U Pending JPS60124042U (ja) | 1984-01-27 | 1984-01-27 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60124042U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5285462A (en) * | 1976-01-09 | 1977-07-15 | Hitachi Ltd | Plate feed stand |
-
1984
- 1984-01-27 JP JP1079584U patent/JPS60124042U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5285462A (en) * | 1976-01-09 | 1977-07-15 | Hitachi Ltd | Plate feed stand |
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