JPS60129652A - オ−ジエ分光スペクトルの表示方法 - Google Patents
オ−ジエ分光スペクトルの表示方法Info
- Publication number
- JPS60129652A JPS60129652A JP58238099A JP23809983A JPS60129652A JP S60129652 A JPS60129652 A JP S60129652A JP 58238099 A JP58238099 A JP 58238099A JP 23809983 A JP23809983 A JP 23809983A JP S60129652 A JPS60129652 A JP S60129652A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- spectrum
- processing unit
- memory apparatus
- display
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/227—Measuring photoelectric effect, e.g. photoelectron emission microscopy [PEEM]
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
゛′本発明は試料に電子線を照射した際に得られるオニ
ジェ電子検出信号に基づいて、スペクトルを表示する方
法に関する。
ジェ電子検出信号に基づいて、スペクトルを表示する方
法に関する。
例えば、オージェスペクトロメーターにおいては、試料
に電子線を照射し、その際得られるオージェ電子をエネ
ルギーアナライザーに導き、エネルギーアナライザーに
よって分光されたオージェ電子の検出信号に基づいて、
第１図に示す如きスペクトルを表示している。この第１
図より明らかなように、この生のスペクトルには大きな
バックグラウンド成分が含まれており、定量及び定性分
析を簡単に行いにくい。そこで、従来においては、この
スペクトルに対応する信号を微分回路に供給して微分し
、この微分処理を施された信号に基づいてスペクトルを
表示することも行なわれていたが、微分処理によっては
スペクトルに含まれるバックグラウンド成分のうちの定
数項しか除くことはできない。そこで、近時検出器より
の出力信号をエネルギーＥ ｉ” Ｋ対応する信号値を
Ｙｉとデジタル信号に変換した後、Ｏを中心として対称
的に広がる幅ＬＪＷの変数・域においては値Ｃ（但しＣ
は任意定数）を有し、この変数域の両脇の幅ＬＷの変数
域においては値 ・ １努・Ｃ を有する第２図に示す如き所謂トップハツト型関数Ｈｋ
に、この信号Ｙｉをコンボリューションして、 Ｆｉ −Σｌ−１ｋＹｉ＋ｋ ・・・（１）ｋ＠−ｓ なる信号に変換し、この信号に基づいてスペクトルを表
示覆ることが行なわれている。このスペクトルは第３図
に示すように、定数項及び１次の項に対応するバックグ
ラウンド成分を除くことができるが、正のピークのみな
らず負のピークが存在するため解析しに（く、又、物質
同定の為のデータベースを作成するため、スペクトル情
報を入力する際に取り扱いが面倒となる。
に電子線を照射し、その際得られるオージェ電子をエネ
ルギーアナライザーに導き、エネルギーアナライザーに
よって分光されたオージェ電子の検出信号に基づいて、
第１図に示す如きスペクトルを表示している。この第１
図より明らかなように、この生のスペクトルには大きな
バックグラウンド成分が含まれており、定量及び定性分
析を簡単に行いにくい。そこで、従来においては、この
スペクトルに対応する信号を微分回路に供給して微分し
、この微分処理を施された信号に基づいてスペクトルを
表示することも行なわれていたが、微分処理によっては
スペクトルに含まれるバックグラウンド成分のうちの定
数項しか除くことはできない。そこで、近時検出器より
の出力信号をエネルギーＥ ｉ” Ｋ対応する信号値を
Ｙｉとデジタル信号に変換した後、Ｏを中心として対称
的に広がる幅ＬＪＷの変数・域においては値Ｃ（但しＣ
は任意定数）を有し、この変数域の両脇の幅ＬＷの変数
域においては値 ・ １努・Ｃ を有する第２図に示す如き所謂トップハツト型関数Ｈｋ
に、この信号Ｙｉをコンボリューションして、 Ｆｉ −Σｌ−１ｋＹｉ＋ｋ ・・・（１）ｋ＠−ｓ なる信号に変換し、この信号に基づいてスペクトルを表
示覆ることが行なわれている。このスペクトルは第３図
に示すように、定数項及び１次の項に対応するバックグ
ラウンド成分を除くことができるが、正のピークのみな
らず負のピークが存在するため解析しに（く、又、物質
同定の為のデータベースを作成するため、スペクトル情
報を入力する際に取り扱いが面倒となる。
本発明はこのような点に鑑み、より単純化されて特徴の
判別し易く、又コンピュータデータベース入力及び検索
処理に適したスペクトルを表示することのできるオージ
ェ分光スペクトルの表示方法を提供することを目的とし
ている。
判別し易く、又コンピュータデータベース入力及び検索
処理に適したスペクトルを表示することのできるオージ
ェ分光スペクトルの表示方法を提供することを目的とし
ている。
本発明は分析装置より得られるスペクトルを表わす信号
をデジタル信号に変換し、実質的にトップハツト型関数
を該信号へコンボリューションすることにより該信号に
含まれていた１次以下のバックグラウンド成分を除去す
るようにした方法において、該１次以下のバックグラウ
ンド成分を除去した信号の負又は正側の信号をＯに置き
換え、該置き換えられた信号に基づいてスペクトルを表
示するようにしたことを特徴としている。
をデジタル信号に変換し、実質的にトップハツト型関数
を該信号へコンボリューションすることにより該信号に
含まれていた１次以下のバックグラウンド成分を除去す
るようにした方法において、該１次以下のバックグラウ
ンド成分を除去した信号の負又は正側の信号をＯに置き
換え、該置き換えられた信号に基づいてスペクトルを表
示するようにしたことを特徴としている。
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第４図は本発明を実施するための装置の一例を示すため
のものであり、図中１は電子銃であり、２は電子銃１よ
りの電子線ＥＢを集束するための集束レンズ系であり、
集束レンズ系２により集束された電子線Ｅ［３は試料３
に照射される。電子ＦＢの照射によって試料より発生し
たオージェ電子Ａｕはシリンドリカルミラー型エネルギ
、−アナライザー４に導かれて、エネルギーに応じ分光
される。５はエネルギーアナライザー４によって選別さ
れたオージェ電子Ａｕを検出するための検出器であり、
この検出器５よりの出力信号は増幅器６により増幅され
た後、ＡＤ変換器７に供給される。
のものであり、図中１は電子銃であり、２は電子銃１よ
りの電子線ＥＢを集束するための集束レンズ系であり、
集束レンズ系２により集束された電子線Ｅ［３は試料３
に照射される。電子ＦＢの照射によって試料より発生し
たオージェ電子Ａｕはシリンドリカルミラー型エネルギ
、−アナライザー４に導かれて、エネルギーに応じ分光
される。５はエネルギーアナライザー４によって選別さ
れたオージェ電子Ａｕを検出するための検出器であり、
この検出器５よりの出力信号は増幅器６により増幅され
た後、ＡＤ変換器７に供給される。
ＡＤ変換器７によって変換されたデジタル信号は中央演
算処理装置８を介して記憶装Ｎ９に供給さ３− れる。この中央演算処理装置８には記録計のようなスペ
クトル表示装置１０が接続されている。
算処理装置８を介して記憶装Ｎ９に供給さ３− れる。この中央演算処理装置８には記録計のようなスペ
クトル表示装置１０が接続されている。
この□ような構成の装置において、いま、ＡＤ変換器７
よりの信号は中央演算処理装置８を介して記憶装置９に
格納されるが、この格納された信号のエネルギーＥｉに
対応する値をＹｉとすると、中央演算処理装置８は記憶
装置９よりこの信号を読み出す。中央演算処理装置８に
おいては、前記トップハツト型フィルタ関数をこの信号
Ｙｉへコンボリューションして、前記第（１）式で表わ
される信号Ｆｉに変換する。中央演算処理装置８におい
ては、次に負の値を有するＦｉをＯに置き換え、信号Ｇ
ｉに変換し、この信号Ｇｉを記憶装置９に格納する。そ
こで、中央演算処理装置８は、記憶鼓＠９よりこの信号
Ｇｉを読み出して表示装置に供給し、第５図に示す如き
スペクトルを表示する。この第５図より明らかなように
、表示装置１Ｏにピークの位置及び高さに関する情報を
保持したまま、極めて単純なスペクトルを表示すること
ができる。
よりの信号は中央演算処理装置８を介して記憶装置９に
格納されるが、この格納された信号のエネルギーＥｉに
対応する値をＹｉとすると、中央演算処理装置８は記憶
装置９よりこの信号を読み出す。中央演算処理装置８に
おいては、前記トップハツト型フィルタ関数をこの信号
Ｙｉへコンボリューションして、前記第（１）式で表わ
される信号Ｆｉに変換する。中央演算処理装置８におい
ては、次に負の値を有するＦｉをＯに置き換え、信号Ｇ
ｉに変換し、この信号Ｇｉを記憶装置９に格納する。そ
こで、中央演算処理装置８は、記憶鼓＠９よりこの信号
Ｇｉを読み出して表示装置に供給し、第５図に示す如き
スペクトルを表示する。この第５図より明らかなように
、表示装置１Ｏにピークの位置及び高さに関する情報を
保持したまま、極めて単純なスペクトルを表示すること
ができる。
４−
尚、上述した実施例においては、スペクトルの負の部分
を８！１去するにうにしたが、逆に正の部分を消去して
も良い。又、微小なノイズピークを除くため、小ざなス
レッシュホールドレベル以下のＦｉをＯに置き換えて信
号Ｑｉとしても良い。
を８！１去するにうにしたが、逆に正の部分を消去して
も良い。又、微小なノイズピークを除くため、小ざなス
レッシュホールドレベル以下のＦｉをＯに置き換えて信
号Ｑｉとしても良い。
上述した説明から明らかなように、本発明に基づく方法
によれば、正又は負の片側のピークのみしか存在しない
単純なスペクトルを表示できるため、解析し易いばかり
でなく、検索用データベースを作成するため、スペクト
ル情報を記憶させる場合に、入力エラーが発生しにくい
。又、片側のみにピークが存在するだ【プであるため、
ピーク長さを２倍に拡大して表示できる。
によれば、正又は負の片側のピークのみしか存在しない
単純なスペクトルを表示できるため、解析し易いばかり
でなく、検索用データベースを作成するため、スペクト
ル情報を記憶させる場合に、入力エラーが発生しにくい
。又、片側のみにピークが存在するだ【プであるため、
ピーク長さを２倍に拡大して表示できる。
第１図は生のオージェ電子スペクトルを例示するための
図、第２図はトップハツト型関数を説明するだめの図、
第３図はｉ−ツブハツト型関数を用いた］ンボリューシ
ョン処理を流した従来のオージェ電子スペクトルを例示
するための図、第４図は本発明を実施するための装置を
例示するための図、第５図は本発明によって得られたス
ペクトルを例示するための図である。 １：電子銃、２：集束レンズ系、３：試料、４：エネル
ギーアナライザー、５：検出器、６：増幅器、７：ＡＤ
変換器、８：中央演算処理装置、９：記憶装嵌、１０：
表示装置。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 ７一
図、第２図はトップハツト型関数を説明するだめの図、
第３図はｉ−ツブハツト型関数を用いた］ンボリューシ
ョン処理を流した従来のオージェ電子スペクトルを例示
するための図、第４図は本発明を実施するための装置を
例示するための図、第５図は本発明によって得られたス
ペクトルを例示するための図である。 １：電子銃、２：集束レンズ系、３：試料、４：エネル
ギーアナライザー、５：検出器、６：増幅器、７：ＡＤ
変換器、８：中央演算処理装置、９：記憶装嵌、１０：
表示装置。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 ７一
Claims (1)
- 分析装置より得られるスペクトルを表わす信号をデジタ
ル信号に変換し、実質的にトップハツト型関数を該信号
へコンボリューションすることにより該信号に含まれて
いた１次以下のバックグラウンド成分番除去するように
した方法において、゛該１次以下のバックグラウンド成
分を除去した信号［の負又は正側の信号を０に置き換え
、該置き換えられた信号に基づいてスペクトルを表示す
るようにしたことを特・徴とするオージェ分光スペクト
ルの表示方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58238099A JPS60129652A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | オ−ジエ分光スペクトルの表示方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58238099A JPS60129652A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | オ−ジエ分光スペクトルの表示方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60129652A true JPS60129652A (ja) | 1985-07-10 |
Family
ID=17025153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58238099A Pending JPS60129652A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | オ−ジエ分光スペクトルの表示方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60129652A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07183343A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Nec Corp | Ｘ線光電子分光分析装置 |
-
1983
- 1983-12-16 JP JP58238099A patent/JPS60129652A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07183343A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Nec Corp | Ｘ線光電子分光分析装置 |
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