JPH02262040A - スペクトル情報に基づく自動定性分析方法 - Google Patents
スペクトル情報に基づく自動定性分析方法Info
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- JPH02262040A JPH02262040A JP1083778A JP8377889A JPH02262040A JP H02262040 A JPH02262040 A JP H02262040A JP 1083778 A JP1083778 A JP 1083778A JP 8377889 A JP8377889 A JP 8377889A JP H02262040 A JPH02262040 A JP H02262040A
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、分析試料より発生した荷電粒子をエネルギー
または質量に応じて分離して検出し、該信号に基づいて
試料を自動定性分析するための方法に関する。
または質量に応じて分離して検出し、該信号に基づいて
試料を自動定性分析するための方法に関する。
［従来の技術］
従来、試料に電子線を照射し、該試料より発生した荷電
粒子の中よりオージェ電子をシリンドリカルミラー型分
光器などによってエネルギーに応じて分離すると共に、
該オージェ電子を検出器によって検出し、該検出器によ
り検出された信号に基づいてスペクトルを表示装置また
は記録装置に表示するようにした、オージェ電子分光装
置が知られている。
粒子の中よりオージェ電子をシリンドリカルミラー型分
光器などによってエネルギーに応じて分離すると共に、
該オージェ電子を検出器によって検出し、該検出器によ
り検出された信号に基づいてスペクトルを表示装置また
は記録装置に表示するようにした、オージェ電子分光装
置が知られている。
ところで、オージェ電子分光法では観測者が前記オージ
ェ電子分光装置によって得られたオージェスペクトル（
チャートペーパ上に記録されたベクトルなど）から該ス
ペクトルのピーク出現位置に対応するエネルギーレベル
を読取って、該読取ったエネルギーレベルを標準スペク
トル表などと対応させることにより、存在元素の同定を
行なっていた。
ェ電子分光装置によって得られたオージェスペクトル（
チャートペーパ上に記録されたベクトルなど）から該ス
ペクトルのピーク出現位置に対応するエネルギーレベル
を読取って、該読取ったエネルギーレベルを標準スペク
トル表などと対応させることにより、存在元素の同定を
行なっていた。
［発明が解決しようとする課題］
さて、上述したようなオージェ電子分光装置において未
知試料の定性分析を行なう場合、例えば、合金や化合物
などの試料を用いた分析では、オージェスペクトル中に
ピークが林立し、ピークどうしが重複したりするなど複
雑なスペクトル構造を示す場合が多い。そのため、この
ような複雑なスペクトルから元素ピークに対応するエネ
ルギーレベルを読取り、存在元素の同定を行なう作業は
不慣れな者にとっては、極めて難しい作業となる。
知試料の定性分析を行なう場合、例えば、合金や化合物
などの試料を用いた分析では、オージェスペクトル中に
ピークが林立し、ピークどうしが重複したりするなど複
雑なスペクトル構造を示す場合が多い。そのため、この
ような複雑なスペクトルから元素ピークに対応するエネ
ルギーレベルを読取り、存在元素の同定を行なう作業は
不慣れな者にとっては、極めて難しい作業となる。
本発明は上述のような問題点を考慮し、検出されたピー
クに基づいて検出元素の同定を自動的に行なうことので
きるスペクトル情報に基づく自動定性分析方法を提供す
ることを目的としている。
クに基づいて検出元素の同定を自動的に行なうことので
きるスペクトル情報に基づく自動定性分析方法を提供す
ることを目的としている。
［課題を解決するための手段］
本発明は、試料に荷電粒子線を照射し、該試料より発生
した荷電粒子をエネルギーまたは質量に応じて分離して
信号を検出し、該信号に基づいて試料を定性分析するよ
うにした方法において、前記検出信号に基づいてピーク
を検出し、該検出ピークをピーク強度の大小により分類
を行ない、該分類されたピークの各々に対してそのピー
ク位置に対応した元素芯を予め記憶された情報の中から
読み出し、該読み出された元素の検出ピーク位置及びそ
のファミリーピークの標準位置と該検出ピークのファミ
リー内での強度の順位を示すランク情報を予め記憶され
た情報の中から読み出し、前記検出ピークのランクを調
べ、該検出ピークが他に同等以上の強度のファミリーピ
ークを有するようなランクであるか否かを判定し、該判
定が肯定であるランクである場合には該検出ピークのフ
ァミリーピークが前記検出されたピーク中に存在するか
否かという情報と、前記検出ピークの検出時になされた
分類情報により前記読み出された元素の存在を判定する
ようにしたことを特徴とする。
した荷電粒子をエネルギーまたは質量に応じて分離して
信号を検出し、該信号に基づいて試料を定性分析するよ
うにした方法において、前記検出信号に基づいてピーク
を検出し、該検出ピークをピーク強度の大小により分類
を行ない、該分類されたピークの各々に対してそのピー
ク位置に対応した元素芯を予め記憶された情報の中から
読み出し、該読み出された元素の検出ピーク位置及びそ
のファミリーピークの標準位置と該検出ピークのファミ
リー内での強度の順位を示すランク情報を予め記憶され
た情報の中から読み出し、前記検出ピークのランクを調
べ、該検出ピークが他に同等以上の強度のファミリーピ
ークを有するようなランクであるか否かを判定し、該判
定が肯定であるランクである場合には該検出ピークのフ
ァミリーピークが前記検出されたピーク中に存在するか
否かという情報と、前記検出ピークの検出時になされた
分類情報により前記読み出された元素の存在を判定する
ようにしたことを特徴とする。
［実施例コ
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明の一実施例を説明するためのフローチャート
、第２図は本発明を実施するための装置の一例を示すた
めの図、第３図はピーク位置（エネルギー値）に対する
元素芯の情報を格納したテーブルを説明するための図、
第４図は各元素芯データに対するオージェ電子ピーク位
置（エネルギー値）の情報を格納したテーブルを説明す
るための図、第５図は動作を説明するための図、第７図
はランクを説明するための図である。
図は本発明の一実施例を説明するためのフローチャート
、第２図は本発明を実施するための装置の一例を示すた
めの図、第３図はピーク位置（エネルギー値）に対する
元素芯の情報を格納したテーブルを説明するための図、
第４図は各元素芯データに対するオージェ電子ピーク位
置（エネルギー値）の情報を格納したテーブルを説明す
るための図、第５図は動作を説明するための図、第７図
はランクを説明するための図である。
第２図において、１は電子銃、２は電子銃１よりの電子
線ＥＢを集束するための集束レンズ、３は集束レンズ２
によって集束された電子線ＥＢが照射される試料、４は
電子線ＥＢの照射により試料３から発生したオージェ電
子ＡＥをこネルギーに応じて分光するためのシリンドリ
カルミラー型分光器、５は分光器４によって選別された
オージェ電子ＡＥを検出する検出器、６は検出器の信号
を増幅するための増幅器、７は前記増幅器６によって増
幅された信号をＡ−Ｄ変換するためのＡ−Ｄ変換器、８
は中央演算処理装置である。前記Ａ−Ｄ変換器７によっ
て変換されたデジタル信号は中央演算処理装置８を介し
て記憶装置９に供給される。また、この中央演算処理装
置８にはパスラインを介してスペクトル表示装置１０が
接続されると共に、第３図に示すようなピーク位置（エ
ネルギー値）に対する元素芯の情報を格納したテーブル
（メモリ）１１及び第４図に示すような各元素芯に対す
るオージェ電子ピーク位置（エネルギー値）と各ピーク
の出現強度の標準値の情報であるランク情報を格納した
テーブル（メモリ）１２が接続されている。
線ＥＢを集束するための集束レンズ、３は集束レンズ２
によって集束された電子線ＥＢが照射される試料、４は
電子線ＥＢの照射により試料３から発生したオージェ電
子ＡＥをこネルギーに応じて分光するためのシリンドリ
カルミラー型分光器、５は分光器４によって選別された
オージェ電子ＡＥを検出する検出器、６は検出器の信号
を増幅するための増幅器、７は前記増幅器６によって増
幅された信号をＡ−Ｄ変換するためのＡ−Ｄ変換器、８
は中央演算処理装置である。前記Ａ−Ｄ変換器７によっ
て変換されたデジタル信号は中央演算処理装置８を介し
て記憶装置９に供給される。また、この中央演算処理装
置８にはパスラインを介してスペクトル表示装置１０が
接続されると共に、第３図に示すようなピーク位置（エ
ネルギー値）に対する元素芯の情報を格納したテーブル
（メモリ）１１及び第４図に示すような各元素芯に対す
るオージェ電子ピーク位置（エネルギー値）と各ピーク
の出現強度の標準値の情報であるランク情報を格納した
テーブル（メモリ）１２が接続されている。
このような構成の装置において、試料３に電子線ＥＢを
照射し、該試料３より発生したオージェ電子ＡＥを分光
器４によってエネルギーに応じて分離し、該オージェ電
子ＡＥが検出器５によって検出された信号が増幅器６を
介してＡ−Ｄ変換器７に供給される。そして、該Ａ−Ｄ
変換器７よりの信号が中央演算処理装置８を介して記憶
装置９に格納される。
照射し、該試料３より発生したオージェ電子ＡＥを分光
器４によってエネルギーに応じて分離し、該オージェ電
子ＡＥが検出器５によって検出された信号が増幅器６を
介してＡ−Ｄ変換器７に供給される。そして、該Ａ−Ｄ
変換器７よりの信号が中央演算処理装置８を介して記憶
装置９に格納される。
ここで、該記憶装置９に格納された信号は中央演算処理
装置８によって、以下のようなステップで自動定性分析
され、その結果がスペクトル表示装置１０上に表示され
る。
装置８によって、以下のようなステップで自動定性分析
され、その結果がスペクトル表示装置１０上に表示され
る。
中央演算処理装置８は予め組まれたプログラムによって
第１図のフローチャートのステップ１に示すように、先
ず、記憶装置９に記憶された信号を読み出し、該全検出
信号に二次微分等の信号処理を行ない、該処理された信
号よりバックグラウンドを除去し、ピークを抽出する。
第１図のフローチャートのステップ１に示すように、先
ず、記憶装置９に記憶された信号を読み出し、該全検出
信号に二次微分等の信号処理を行ない、該処理された信
号よりバックグラウンドを除去し、ピークを抽出する。
次に、中央演算処理装置８は第１図のフローチャートの
ステップ２に示すように、抽出されたピークよりピーク
位置を検出する。
ステップ２に示すように、抽出されたピークよりピーク
位置を検出する。
そして、ステップ３に示すように、ピーク位置に対応し
た元素芯データが記憶されたテーブル１１から前記ステ
ップ２で検出された夫々のピーク位置の前後２〜３ｅＶ
のＲＯＩ内の元素芯データが読み出される。
た元素芯データが記憶されたテーブル１１から前記ステ
ップ２で検出された夫々のピーク位置の前後２〜３ｅＶ
のＲＯＩ内の元素芯データが読み出される。
更に、ステップ４に示すように、全元素のオージェ電子
ピークの位置（エネルギー値）と各ピークのランク情報
とがセットとして記憶されたテーブル１２から前記ステ
ップ３で読み出された元素のオージェ電子ピークの位置
とランク情報のセットが読み出される。
ピークの位置（エネルギー値）と各ピークのランク情報
とがセットとして記憶されたテーブル１２から前記ステ
ップ３で読み出された元素のオージェ電子ピークの位置
とランク情報のセットが読み出される。
ここで、前記ランク情報は第７図に示すように、ファミ
リーピークが存在しないピークのものを（ランク１）、
自分自身より強度の小さいファミリーピークが存在する
ものを（ランク２）、自分自身と同等の強度のファミリ
ーピークが存在するものを（ランク３）、自分自身より
大きい強度のファミリーピークが存在するものを（ラン
ク４）としている。
リーピークが存在しないピークのものを（ランク１）、
自分自身より強度の小さいファミリーピークが存在する
ものを（ランク２）、自分自身と同等の強度のファミリ
ーピークが存在するものを（ランク３）、自分自身より
大きい強度のファミリーピークが存在するものを（ラン
ク４）としている。
そして、ステップ５に示すように、前ステップ４で読み
出されたオージェ電子ピークの位置とランク情報から前
記注目するピークのランクが該ピークと同等以上の強度
のファミリーピークを有するランクであるか否かが判定
される。
出されたオージェ電子ピークの位置とランク情報から前
記注目するピークのランクが該ピークと同等以上の強度
のファミリーピークを有するランクであるか否かが判定
される。
該ステップ５において、前記注目するピークが該ピーク
と同等以上の強度のファミリーピークを有するランクで
ある場合、ステップ６に示すように、該ファミリーピー
クが前記検出されたピーク中に存在するか否かが判定さ
れる。そして、ファミリーピークが発見されればステッ
プ７として前記注目するピークによって読み出された元
素が存在すると判定される。
と同等以上の強度のファミリーピークを有するランクで
ある場合、ステップ６に示すように、該ファミリーピー
クが前記検出されたピーク中に存在するか否かが判定さ
れる。そして、ファミリーピークが発見されればステッ
プ７として前記注目するピークによって読み出された元
素が存在すると判定される。
ステップ６の判定の結果、検出されたピークの中にファ
ミリーピークが発見されなければ、次のステップ６′に
おいて注目するピークの実際に検出されたときの分類が
メジャー（ピーク強度が予め設定した基準値ａより大き
い）であるか否かの判定を行なう。この判定において肯
定と判定されれば、元素の存在可能性のみを示唆する判
定結果を出力し、否定と判定されれば元素は不存在と判
定される。
ミリーピークが発見されなければ、次のステップ６′に
おいて注目するピークの実際に検出されたときの分類が
メジャー（ピーク強度が予め設定した基準値ａより大き
い）であるか否かの判定を行なう。この判定において肯
定と判定されれば、元素の存在可能性のみを示唆する判
定結果を出力し、否定と判定されれば元素は不存在と判
定される。
また、ステップ５において検出ピークが該ピークと同等
以上の強度のファミリーピークを有するランクでない場
合には、ステップ８に示すように、前記注目するピーク
の実際に検出されたときの分類がメジャーあるいはオー
バーラツプ（ピーク強度が予め設定した基準値ａより大
きく重複するピークが存在する）であるか否かが判定さ
れる。
以上の強度のファミリーピークを有するランクでない場
合には、ステップ８に示すように、前記注目するピーク
の実際に検出されたときの分類がメジャーあるいはオー
バーラツプ（ピーク強度が予め設定した基準値ａより大
きく重複するピークが存在する）であるか否かが判定さ
れる。
前記ステップ８において、ピーク検出時の分類がメジャ
ーあるいはオーバーラツプである場合、ステップ９とし
て前記注目するピーク位置に前記読み出された元素芯デ
ータの元素が存在するとの判定結果を出力する。
ーあるいはオーバーラツプである場合、ステップ９とし
て前記注目するピーク位置に前記読み出された元素芯デ
ータの元素が存在するとの判定結果を出力する。
また、ステップ８においてメジャーあるいはオーバーラ
ツプでない場合、即ちマイナー（ピーク強度が予め設定
した基準値ａより小さい）である場合には、ステッ、ブ
１０として前記注目するピーク位置に前記読み出された
元素芯データの元素の存在が不確実であるため、元素の
存在可能性のみ示唆する判定結果を出力する。
ツプでない場合、即ちマイナー（ピーク強度が予め設定
した基準値ａより小さい）である場合には、ステッ、ブ
１０として前記注目するピーク位置に前記読み出された
元素芯データの元素の存在が不確実であるため、元素の
存在可能性のみ示唆する判定結果を出力する。
そして、上記各判定結果がスペクトル表示装置１０上に
オージェ電子スペクトルの各ピークに付随して第５図（
ｄ）に示すように表示される。
オージェ電子スペクトルの各ピークに付随して第５図（
ｄ）に示すように表示される。
次に、より詳細に具体的な動作について説明する。
先ず、ステップ１で記憶装置９より第５図（ａ）に示す
ような検出信号が読み出された場合、該信号に二次微分
等の信号処理を行ない、第５図（ｂ）に示すようなスペ
クトルが得られる。
ような検出信号が読み出された場合、該信号に二次微分
等の信号処理を行ない、第５図（ｂ）に示すようなスペ
クトルが得られる。
次に、ステップ２で、第５図（Ｃ）に示すような前記バ
ックグラウンドの除去されたスペクトル中よりピークが
検出され、該ピークの位置（エネルギー値）が割り出さ
れる。そして、ステップ３に示すように、該検出された
ピーク位置の情報に対応した元素芯データがテーブル１
１の中から読み出される。ここで、例えばピーク位置の
情報（７００，９ｅＶ）が検出された場合はこの値を中
心として前後２〜３ｅＶの小エネルギー幅（Ｒｅｇｌｏ
ｎ ｏｒ １ｎｔｅｒｅｓｔ ；以下ＲＯＩと称する）
内に該当する元素をテーブル１０の中から選び出す。こ
の場合は元素ＣＰｅ：鉄）が読み出される。
ックグラウンドの除去されたスペクトル中よりピークが
検出され、該ピークの位置（エネルギー値）が割り出さ
れる。そして、ステップ３に示すように、該検出された
ピーク位置の情報に対応した元素芯データがテーブル１
１の中から読み出される。ここで、例えばピーク位置の
情報（７００，９ｅＶ）が検出された場合はこの値を中
心として前後２〜３ｅＶの小エネルギー幅（Ｒｅｇｌｏ
ｎ ｏｒ １ｎｔｅｒｅｓｔ ；以下ＲＯＩと称する）
内に該当する元素をテーブル１０の中から選び出す。こ
の場合は元素ＣＰｅ：鉄）が読み出される。
そして、ステップ４に示すように、読み出された元素芯
データ（Ｆｅ：鉄）のオージェ電子ピーク位置のデータ
とランク情報のセット［４５ｅＶ（ランク３） 、７８
ｅＶ（ランク３） 、５８９ｅｖ（ランク３） 、８４
５ｅＶ（ランク３） 、７００ｅＶ（ランク３） 、７
１２ｅＶ（ランク４）］がテーブル１２の中から読み出
される。
データ（Ｆｅ：鉄）のオージェ電子ピーク位置のデータ
とランク情報のセット［４５ｅＶ（ランク３） 、７８
ｅＶ（ランク３） 、５８９ｅｖ（ランク３） 、８４
５ｅＶ（ランク３） 、７００ｅＶ（ランク３） 、７
１２ｅＶ（ランク４）］がテーブル１２の中から読み出
される。
次に、ステップ５に示すように、前記ステップ４で検出
されたピークが該ピークと同等以上の強度のファミリー
ピークを有するランク（即ち、ランク３またはランク４
）であるか否かが判定される。
されたピークが該ピークと同等以上の強度のファミリー
ピークを有するランク（即ち、ランク３またはランク４
）であるか否かが判定される。
ステップ５において、該検出ピークと同等以上の強度の
ファミリーピークを有するランクである場合、ステップ
６に示すように、注目するピーク（７００，９ｅＶ）フ
ァミリーピークが第５図（ｃ）に示すような全ピーク中
に実際に存在するか否かが判定される。そして、例えば
ファミリーピーク（８４５ｅＶ）または（５８９ｅＶ）
が発見されれば前記注目するピーク（７００，９ｅＶ）
の発見に基づいてテーブル１１より読み出された元素（
Ｆｅ：鉄）が存在すると判定される。また、ファミリー
ピークが全ピーク中から発見されない場合は、ステップ
６′において注目スルピーク（７００，９ｅＶ）の実際
に検出されたときのピークの高さに関する分類がメジャ
ーが否がが判定される。
ファミリーピークを有するランクである場合、ステップ
６に示すように、注目するピーク（７００，９ｅＶ）フ
ァミリーピークが第５図（ｃ）に示すような全ピーク中
に実際に存在するか否かが判定される。そして、例えば
ファミリーピーク（８４５ｅＶ）または（５８９ｅＶ）
が発見されれば前記注目するピーク（７００，９ｅＶ）
の発見に基づいてテーブル１１より読み出された元素（
Ｆｅ：鉄）が存在すると判定される。また、ファミリー
ピークが全ピーク中から発見されない場合は、ステップ
６′において注目スルピーク（７００，９ｅＶ）の実際
に検出されたときのピークの高さに関する分類がメジャ
ーが否がが判定される。
ステップ６゛において、前記注目するピーク（７００，
９ｅＶ）の実際に検出されたピークの分類がもし、メジ
ャーであれば、前記ピーク（７００，９ｅＶ）の発見に
基づいて読み出された元素の存在の一応の可能性のみ示
唆する判定結果を出力し、オーバーラツプあるいはマイ
ナーであれば、前記ピーク（７００，９ｅＶ）の発見に
基づいて読み出された元素の不存在の判定を行なう。
９ｅＶ）の実際に検出されたピークの分類がもし、メジ
ャーであれば、前記ピーク（７００，９ｅＶ）の発見に
基づいて読み出された元素の存在の一応の可能性のみ示
唆する判定結果を出力し、オーバーラツプあるいはマイ
ナーであれば、前記ピーク（７００，９ｅＶ）の発見に
基づいて読み出された元素の不存在の判定を行なう。
また、ステップ５の判定において、検出されたピークが
、該ピークと同等以上の強度のファミリーピークを有す
るランクでない（即ち、ランク１マタはランク２）の場
合、ステップ８に示すように、前記注目するピーク（７
００，９ｅＶ）の実際に検出されたときの分類がメジャ
ーであるがまたはオーバーラツプであるかが判定される
。
、該ピークと同等以上の強度のファミリーピークを有す
るランクでない（即ち、ランク１マタはランク２）の場
合、ステップ８に示すように、前記注目するピーク（７
００，９ｅＶ）の実際に検出されたときの分類がメジャ
ーであるがまたはオーバーラツプであるかが判定される
。
そして、ステップ８において、前記注目するピーク（７
００，９ｅＶ）の実際に検出されたときの分類がメジャ
ー及びオーバーラツプの場合は、ステップ９に示すよう
に前記読み出された元素芯データの元素が存在すると判
定される。
００，９ｅＶ）の実際に検出されたときの分類がメジャ
ー及びオーバーラツプの場合は、ステップ９に示すよう
に前記読み出された元素芯データの元素が存在すると判
定される。
また、ステップ８において前記注目するピーク（７００
，９ｅＶ）の実際の検出時の分類がメジャー及びオバー
ラップ以外、即ちマイナーである場合には、前記ピーク
（７００，９ｅＶ）の発見に基づいて読み出された元素
ＣＦｅ：鉄）の存在が不確実となるため、元素（Ｐｅ：
鉄）の存在の一応の可能性のみ示唆する判定出力が打ち
出される（ステップ１０）。
，９ｅＶ）の実際の検出時の分類がメジャー及びオバー
ラップ以外、即ちマイナーである場合には、前記ピーク
（７００，９ｅＶ）の発見に基づいて読み出された元素
ＣＦｅ：鉄）の存在が不確実となるため、元素（Ｐｅ：
鉄）の存在の一応の可能性のみ示唆する判定出力が打ち
出される（ステップ１０）。
ところで、前記ステップ３において、ＲＯ１中：壬２つ
以上の元素が発見された場合は、第６図に示すようなフ
ローチャートに従い元素の同定が行なわれる。
以上の元素が発見された場合は、第６図に示すようなフ
ローチャートに従い元素の同定が行なわれる。
まず、検出されたピーク位置の情報に対応した元素芯デ
ータがテーブル１１の中から読み出される。ここで、例
えばピーク位置の情報（８４７，４ｅＶ）が検出された
場合はこの値を中心として前後２〜３ｅＶのＲＯＩ内に
該当する元素が第３図に示すテーブル１１Ｑ中から選び
出される。この場合は元素（Ｆｅ：鉄）（Ｆ：フッ素）
（Ｃｏ：コバルト）が読み出される。
ータがテーブル１１の中から読み出される。ここで、例
えばピーク位置の情報（８４７，４ｅＶ）が検出された
場合はこの値を中心として前後２〜３ｅＶのＲＯＩ内に
該当する元素が第３図に示すテーブル１１Ｑ中から選び
出される。この場合は元素（Ｆｅ：鉄）（Ｆ：フッ素）
（Ｃｏ：コバルト）が読み出される。
そして、ステップ４′において、これら読み田された各
元素が自分自身と同等以上のファミリーピークを有する
ランク（即ち、ランク３またはランク４）であり、且つ
そのファミリーピークが実際に検出されたピークを検索
した際に存在すれば、その元素の存在を摘出する操作が
行われる。
元素が自分自身と同等以上のファミリーピークを有する
ランク（即ち、ランク３またはランク４）であり、且つ
そのファミリーピークが実際に検出されたピークを検索
した際に存在すれば、その元素の存在を摘出する操作が
行われる。
次に、ステップ５−１において前記ステップ４′で摘出
された元素が存在すると判定された場合は、ステップ５
−２で該存在した元素名が出力され、ステップ９におい
て該出力された元素がピーク位置に存在すると判定され
る。
された元素が存在すると判定された場合は、ステップ５
−２で該存在した元素名が出力され、ステップ９におい
て該出力された元素がピーク位置に存在すると判定され
る。
即ち、ステップ３において検出された元素［Ｆｅ；８４
５ｅＶ（ランク３） 、Ｐ；８４５ｅＶ（ランク２）
、Ｃｏ；８４６ｅＶ（ランク３）］の内、注目する成る
ピークを例えば、Ｐｅ；６４５ｅＶ（ランク３）とした
場合、該ピークは自分自身のピークと同等の強度のファ
ミリーピークを有するランク３であるから、検出された
ピークの中の該当ピーク位置に自分自身のピークと同等
以上の強度のファミリーピークが存在するかを検索する
。そして、ステップ５−１における判定結果が肯定の場
合は、ステップ５−２で該存在した元素名が出力され、
ステップ９において該出力された元判定されると共に、
ステップ９において該出力された元素がピーク位置に存
在すると判定される。一方、ステップ５−３において、
前記Ｆｅ；Ｂ４５ｅＶ（ランク３）以外の残りの元素Ｐ
； ８４５ｅｖ（ランク２ ） 、Ｃｏ；８４８ｅＶ（
５ンク３）、の元素ニラいて分類がメジャーまたはオー
バーラツプピークであり、ランク３またはランク４のフ
ァミリーピークを有さないランク（即ちランク１または
２か）であるかが判定される。
５ｅＶ（ランク３） 、Ｐ；８４５ｅＶ（ランク２）
、Ｃｏ；８４６ｅＶ（ランク３）］の内、注目する成る
ピークを例えば、Ｐｅ；６４５ｅＶ（ランク３）とした
場合、該ピークは自分自身のピークと同等の強度のファ
ミリーピークを有するランク３であるから、検出された
ピークの中の該当ピーク位置に自分自身のピークと同等
以上の強度のファミリーピークが存在するかを検索する
。そして、ステップ５−１における判定結果が肯定の場
合は、ステップ５−２で該存在した元素名が出力され、
ステップ９において該出力された元判定されると共に、
ステップ９において該出力された元素がピーク位置に存
在すると判定される。一方、ステップ５−３において、
前記Ｆｅ；Ｂ４５ｅＶ（ランク３）以外の残りの元素Ｐ
； ８４５ｅｖ（ランク２ ） 、Ｃｏ；８４８ｅＶ（
５ンク３）、の元素ニラいて分類がメジャーまたはオー
バーラツプピークであり、ランク３またはランク４のフ
ァミリーピークを有さないランク（即ちランク１または
２か）であるかが判定される。
そして、前記判定結果が肯定の場合はステップ１０にお
いて該元素の存在可能性のみを示唆する判定を行なう。
いて該元素の存在可能性のみを示唆する判定を行なう。
また、前記ステップ５−３の判定結果が否定の場合は元
素の不存在を判定される。
素の不存在を判定される。
さて、前記ステップ５−１において、摘出された元素の
存在が確認されなかった場合は、ステップ５−４におい
てステップ４″で検誹された全ての元素のピークについ
て、その分類がメジャーまたはオーバーラツプであるか
が調べられる。
存在が確認されなかった場合は、ステップ５−４におい
てステップ４″で検誹された全ての元素のピークについ
て、その分類がメジャーまたはオーバーラツプであるか
が調べられる。
そして、前記ステップ５−４における判定結果が肯定の
場合はステップ５−５において、自分自身のピークと同
等以上の強度のファミリーピークを有するランクである
か否かが判定される。そして、自分自身のピークと同等
以上の強度のファミリーピークを持たないランクである
場合（否定の場合）は、ステップ９に示すように前記読
み出された元素名データの元素が存在すると判定され、
前記同等以上の強度のファミリーピークを有するランク
である場合（肯定の場合）は、元素の不存在が判定され
る。
場合はステップ５−５において、自分自身のピークと同
等以上の強度のファミリーピークを有するランクである
か否かが判定される。そして、自分自身のピークと同等
以上の強度のファミリーピークを持たないランクである
場合（否定の場合）は、ステップ９に示すように前記読
み出された元素名データの元素が存在すると判定され、
前記同等以上の強度のファミリーピークを有するランク
である場合（肯定の場合）は、元素の不存在が判定され
る。
一方、前記ステップ５−４における判定結果が否定の場
合は、ステップ５−６において自分自身のピークとより
大きい強度のファミリーピークを有するランクであるか
否か（即ち、ランク４であるか）が判定される。前記ス
テップ５−６において、自分自身のピークより大きい強
度のファミリーピークを有するランクである場合（肯定
の場合）は、元素の不存在が判定される。
合は、ステップ５−６において自分自身のピークとより
大きい強度のファミリーピークを有するランクであるか
否か（即ち、ランク４であるか）が判定される。前記ス
テップ５−６において、自分自身のピークより大きい強
度のファミリーピークを有するランクである場合（肯定
の場合）は、元素の不存在が判定される。
また、前記ステップ５−６において、自分自身のピーク
より大きい強度のファミリーピークを有さないランクで
ある場合（否定の場合）は、ステ・ツブ５−７において
、自分自身のピークと同等の強度のファミリーピークを
有するランクであるか否か（即ち、ランク３であるか）
が判定される。該ステップ５−７において、同等の強度
のファミリーピークを持たないランクである場合（否定
の場合）、前記読み出された元素名データの元素が存在
すると判定される（ステップ９）。
より大きい強度のファミリーピークを有さないランクで
ある場合（否定の場合）は、ステ・ツブ５−７において
、自分自身のピークと同等の強度のファミリーピークを
有するランクであるか否か（即ち、ランク３であるか）
が判定される。該ステップ５−７において、同等の強度
のファミリーピークを持たないランクである場合（否定
の場合）、前記読み出された元素名データの元素が存在
すると判定される（ステップ９）。
更に、ステップ５−７において、同等の強度のファミリ
ーピークを有するランクであると判定された場合（肯定
の場合）は、ステップ５−８において、前記ステップ４
″で検出された他の全元素のピークについて、元素が存
在するという判定が１つも無いことを調べる。そして、
元素が存在するという判定が１つも無い場合は、前記読
み出された元素名データの元素が存在すると判定される
（ステップ９）。
ーピークを有するランクであると判定された場合（肯定
の場合）は、ステップ５−８において、前記ステップ４
″で検出された他の全元素のピークについて、元素が存
在するという判定が１つも無いことを調べる。そして、
元素が存在するという判定が１つも無い場合は、前記読
み出された元素名データの元素が存在すると判定される
（ステップ９）。
なお、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本
発明は種々変形して実施することができる。
発明は種々変形して実施することができる。
例えば、上述した実施例では、オージェ電子分光装置に
よって得られたオージェ電子のスペクトル情報に基づく
自動定性分析方法について説明したが、該スペクトルの
情報はＸ線回折装置によるＸ線スペクトルの情報や質量
分析装置による質量スペクトルの情報であっても良い。
よって得られたオージェ電子のスペクトル情報に基づく
自動定性分析方法について説明したが、該スペクトルの
情報はＸ線回折装置によるＸ線スペクトルの情報や質量
分析装置による質量スペクトルの情報であっても良い。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、検出
信号に基づいてピークを検出し、該検出ピークをピーク
強度の大小により分類を行ない、該分類されたピークの
各々に対してそのピーク位置に対応した元素芯を予め記
憶された情報の中から読み出し、該読み出された元素の
検出ピーク位置及びそのファミリーピークの標準位置と
該検出ピークのファミリー内での強度の順位を示すラン
ク情報を予め記憶された情報の中から読み出し、前記検
出ピークのランクを調べ、該検出ピークが他に同等以上
の強度のファミリーピークを有するようなランクである
か否かを判定し、判定が肯定である場合には該検出ピー
クのファミリーピークが前記検出されたピーク中に存在
するか否かという情報と、前記検出ピークの検出時にな
された分類情報により前記読み出された元素の存在を判
定することにより、前記読み出された元素の存在を判定
をすることができるスペクトル情報に基づく自動定性分
析方法が提供される。そのため、従来のように人間がス
ペクトルのピークに対応するエネルギーレベルをチャー
トペーパー等から読取って標準スペクトル表などと対応
させることなく、自動的に存在元素の同定を行なうこと
ができる。
信号に基づいてピークを検出し、該検出ピークをピーク
強度の大小により分類を行ない、該分類されたピークの
各々に対してそのピーク位置に対応した元素芯を予め記
憶された情報の中から読み出し、該読み出された元素の
検出ピーク位置及びそのファミリーピークの標準位置と
該検出ピークのファミリー内での強度の順位を示すラン
ク情報を予め記憶された情報の中から読み出し、前記検
出ピークのランクを調べ、該検出ピークが他に同等以上
の強度のファミリーピークを有するようなランクである
か否かを判定し、判定が肯定である場合には該検出ピー
クのファミリーピークが前記検出されたピーク中に存在
するか否かという情報と、前記検出ピークの検出時にな
された分類情報により前記読み出された元素の存在を判
定することにより、前記読み出された元素の存在を判定
をすることができるスペクトル情報に基づく自動定性分
析方法が提供される。そのため、従来のように人間がス
ペクトルのピークに対応するエネルギーレベルをチャー
トペーパー等から読取って標準スペクトル表などと対応
させることなく、自動的に存在元素の同定を行なうこと
ができる。
第１図及び第６図は本発明の詳細な説明するためのフロ
ーチャート、第２図は本発明を実施するための装置の一
例を示すための図、第３図はピーク位置に対する元素芯
の情報を格納したテーブルを説明するための図、第４図
は各元素芯データに対するファミリーピーク位置の情報
を格納したテーブルを説明するための図、第５図は動作
を説明するための図、第７図はランクを説明するための
図である。 １：電子銃 ２：集束レンズ ３：試料 ４ニジリントリ力ルミラー型分光器 ５：検出器 ６：増幅器 ７：Ａ−Ｄ変換器 ８：中央演算処理装置 ９：記憶装置 １０ニスベクトル表示装置 １１：テーブル １２：テーブル
ーチャート、第２図は本発明を実施するための装置の一
例を示すための図、第３図はピーク位置に対する元素芯
の情報を格納したテーブルを説明するための図、第４図
は各元素芯データに対するファミリーピーク位置の情報
を格納したテーブルを説明するための図、第５図は動作
を説明するための図、第７図はランクを説明するための
図である。 １：電子銃 ２：集束レンズ ３：試料 ４ニジリントリ力ルミラー型分光器 ５：検出器 ６：増幅器 ７：Ａ−Ｄ変換器 ８：中央演算処理装置 ９：記憶装置 １０ニスベクトル表示装置 １１：テーブル １２：テーブル
Claims (1)
- 試料に荷電粒子線を照射し、該試料より発生した荷電
粒子をエネルギーまたは質量に応じて分離して信号を検
出し、該信号に基づいて試料を定性分析するようにした
方法において、前記検出信号に基づいてピークを検出し
、該検出ピークをピーク強度の大小により分類を行ない
、該分類されたピークの各々に対してそのピーク位置に
対応した元素名を予め記憶された情報の中から読み出し
、該読み出された元素の検出ピーク位置及びそのファミ
リーピークの標準位置と該検出ピークのファミリー内で
の強度の順位を示すランク情報を予め記憶された情報の
中から読み出し、前記検出ピークのランクを調べ、該検
出ピークが他に同等以上の強度のファミリーピークを有
するようなランクであるか否かを判定し、該判定が肯定
であるランクである場合には該検出ピークのファミリー
ピークが前記検出されたピーク中に存在するか否かとい
う情報と、前記検出ピークの検出時になされた分類情報
により前記読み出された元素の存在を判定するようにし
たことを特徴とするスペクトル情報に基づく自動定性分
析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1083778A JP2598821B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | スペクトル情報に基づく自動定性分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1083778A JP2598821B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | スペクトル情報に基づく自動定性分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02262040A true JPH02262040A (ja) | 1990-10-24 |
| JP2598821B2 JP2598821B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=13812074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1083778A Expired - Fee Related JP2598821B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | スペクトル情報に基づく自動定性分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598821B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06130004A (ja) * | 1992-10-17 | 1994-05-13 | Horiba Ltd | スペクトル処理を用いた螢光ｘ線定性分析方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5589738A (en) * | 1978-12-28 | 1980-07-07 | Jeol Ltd | Auger electron photometry unit |
| JPS63229350A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-26 | Shimadzu Corp | スペクトル分析装置における状態分析方法 |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP1083778A patent/JP2598821B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5589738A (en) * | 1978-12-28 | 1980-07-07 | Jeol Ltd | Auger electron photometry unit |
| JPS63229350A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-26 | Shimadzu Corp | スペクトル分析装置における状態分析方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06130004A (ja) * | 1992-10-17 | 1994-05-13 | Horiba Ltd | スペクトル処理を用いた螢光ｘ線定性分析方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2598821B2 (ja) | 1997-04-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |