JPS60133432A - 薄膜型光偏向装置 - Google Patents
薄膜型光偏向装置Info
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- JPS60133432A JPS60133432A JP24089183A JP24089183A JPS60133432A JP S60133432 A JPS60133432 A JP S60133432A JP 24089183 A JP24089183 A JP 24089183A JP 24089183 A JP24089183 A JP 24089183A JP S60133432 A JPS60133432 A JP S60133432A
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- JP
- Japan
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- light
- angle
- waveguide
- deflection
- surface acoustic
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/33—Acousto-optical deflection devices
- G02F1/335—Acousto-optical deflection devices having an optical waveguide structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技り８ｊ分野〕
本発明は導波光の回折を利用した薄膜型光偏向装置に関
する。
する。
超音波光−回器（Ａ１０偏向器と、亦す）は、ポリ了ン
ミラー、ガ゛ルバノミラー等の機械釣元偏向器に比べて
高速定配が可能なため、商運し−ザービームグリンター
、ＴＶディスプレイ寺への適用が期待されている。しか
し、従来の方式のＡ１０ＩＪｉｉｌ向器においてはその
偏向角（走査可能な角度範囲）が小さいという欠点があ
った。
ミラー、ガ゛ルバノミラー等の機械釣元偏向器に比べて
高速定配が可能なため、商運し−ザービームグリンター
、ＴＶディスプレイ寺への適用が期待されている。しか
し、従来の方式のＡ１０ＩＪｉｉｌ向器においてはその
偏向角（走査可能な角度範囲）が小さいという欠点があ
った。
ここで、従来のＡ１０−回器及びその問題点に関し、図
面を参照しつつ詳細に説明する。
面を参照しつつ詳細に説明する。
第１図は従来の体Ｉｊｔ型のＡ１０偏向器の斜視図であ
る。第１図において、１はＰＬＺＴ等の圧電物からなる
トランスデユーサ−であシ、この超音波トランスデユー
サ−１はＴｅ Ｏ２等の超督波導波体２に密着凸装置さ
れている。このトランスデー−サ−１に外部から５０〜
１０００ ＭＨｚ −ｗｉ域の高周波α圧が印加される
と、超音波が導諷体２中を疎峠彼の形で進行し、導波体
２中に屈折率の変化による回折格子構造が形成される。
る。第１図において、１はＰＬＺＴ等の圧電物からなる
トランスデユーサ−であシ、この超音波トランスデユー
サ−１はＴｅ Ｏ２等の超督波導波体２に密着凸装置さ
れている。このトランスデー−サ−１に外部から５０〜
１０００ ＭＨｚ −ｗｉ域の高周波α圧が印加される
と、超音波が導諷体２中を疎峠彼の形で進行し、導波体
２中に屈折率の変化による回折格子構造が形成される。
この導波体２にレーザービーム３を入射させると、該ビ
ームは上記回折洛子傳造によシブラッグ回折を受け、回
折光束４として射出される。この時、４次回折光束５と
回折光束４とのなす角、即ち回折角θはトランスデユー
サ−１に印加する高周波の周波数により変化し、θは次
式で与えられる。
ームは上記回折洛子傳造によシブラッグ回折を受け、回
折光束４として射出される。この時、４次回折光束５と
回折光束４とのなす角、即ち回折角θはトランスデユー
サ−１に印加する高周波の周波数により変化し、θは次
式で与えられる。
ここで、Ｖは超音波の速度、ｆは印加高周波の周波数、
λは入射）ＹＳ末の生気中での波長、ｎは導波体２０ノ
Ｕ（折率である。
λは入射）ＹＳ末の生気中での波長、ｎは導波体２０ノ
Ｕ（折率である。
上式から、付加周波数ｆを変えることによりθを変化さ
せ出射光束４を飼向走在させ得ることが理解される。こ
の偏向角の最大振シ角はブラッグ回折の角度選択幅で決
まシ、ある周波数以上になると入射光束が超音波の嚇に
よる回折格子構造のカッシリング条トドからはずれてし
まい回折効率は低下する。そのため、最大ｔ＠向角は限
定されてしまい、従来例ではせいぜい３°程度であった
。
せ出射光束４を飼向走在させ得ることが理解される。こ
の偏向角の最大振シ角はブラッグ回折の角度選択幅で決
まシ、ある周波数以上になると入射光束が超音波の嚇に
よる回折格子構造のカッシリング条トドからはずれてし
まい回折効率は低下する。そのため、最大ｔ＠向角は限
定されてしまい、従来例ではせいぜい３°程度であった
。
第２図は従来の薄膜導波路型のＡ１０偏向器の斜視図で
ある。第２図において、ＬｉＮｂＯ５等の圧電性結晶基
板６の表面にＴ１を拡散させて光導波路７が形成されて
いる。この光導波路７は厚みが２μｍ程度であシ、その
屈折率は基板６のＬｉＮｂＯ３の屈折率２．２に対し約
０．０またけ高い。光導波路７に高屈折不のノリズム８
を近接させ、該プリズム８内に外部からレーザー光束９
を入射させ、該光束を導波路７内に導く。導波路７０面
上にはくしの来状の超音波励起用の′電極１０が１投け
られている。この′成極１０に尚周波を印加することに
よシ、結晶６０表面に超音波励起用が発生−ノーる。導
波路７中に入射した光束１１はこの超晋波表１Ｈｊ波に
より回折され１桶向光東１２となる。？ｉＪ記の体積型
Ａ ／ ０圓向器の場合と同様に、電極工０に印加する
高周波の周反故を変えることにより光束１２は「４向さ
れる。−向光束１２は射出用グリズム１３によシ外部に
射出される。この導波路型Ａ ／ Ｏ偏向器の場合もブ
ラッグ回折のカッシリング条件によシ最犬輔向角はｉｌ
＋ｔＪ ：服される。
ある。第２図において、ＬｉＮｂＯ５等の圧電性結晶基
板６の表面にＴ１を拡散させて光導波路７が形成されて
いる。この光導波路７は厚みが２μｍ程度であシ、その
屈折率は基板６のＬｉＮｂＯ３の屈折率２．２に対し約
０．０またけ高い。光導波路７に高屈折不のノリズム８
を近接させ、該プリズム８内に外部からレーザー光束９
を入射させ、該光束を導波路７内に導く。導波路７０面
上にはくしの来状の超音波励起用の′電極１０が１投け
られている。この′成極１０に尚周波を印加することに
よシ、結晶６０表面に超音波励起用が発生−ノーる。導
波路７中に入射した光束１１はこの超晋波表１Ｈｊ波に
より回折され１桶向光東１２となる。？ｉＪ記の体積型
Ａ ／ ０圓向器の場合と同様に、電極工０に印加する
高周波の周反故を変えることにより光束１２は「４向さ
れる。−向光束１２は射出用グリズム１３によシ外部に
射出される。この導波路型Ａ ／ Ｏ偏向器の場合もブ
ラッグ回折のカッシリング条件によシ最犬輔向角はｉｌ
＋ｔＪ ：服される。
導波路型Ａ１０偏向器において偏向角を増大させるいく
つかの試みがなされている。この様な例は、たとえば、
文献ＩＥＥＦＪ＊ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎｃ
ｉｒｃｕｔｔａｎｄ Ｓｙｓｔｅｍｓ 、ｖｏｌ、ＣＡ
Ｓ−２６Ｎｏ、１２ ＋ ｐ １０７２［Ｇｕｌｄｅｄ
−Ｗａｖｅ Ａｃｏｕａｔｏ −０ｐｔ ｌｃ Ｂｒ
ａｇｇ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎｓｆｏｒ Ｗｉｄｅ −
Ｂａｎｄ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ０ｐｔｉｃ Ｃｏｒ
ｒｒｎｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ ａｎｄＳｉｇｎａｌ Ｐ
ｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｊ ｂｙ Ｃ，Ｓ、 ＴＳＡＩに
詳しく述べられている。その−例は、第３図に示される
如く、広周波該帝域を共振帯域の異なる仮数のトランス
デユーサ−１４によシ分担させ、且つ各トランスデー−
゛す−を互いにわずかづつ１頃けて１杷置することによ
り全１↑を域で入射光束がカッシリングされる様に工夫
されている。４個のトランスデユーサ−を用いた例では
６８０ Ｍｆ（ｚの帯域が得られている。
つかの試みがなされている。この様な例は、たとえば、
文献ＩＥＥＦＪ＊ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎｃ
ｉｒｃｕｔｔａｎｄ Ｓｙｓｔｅｍｓ 、ｖｏｌ、ＣＡ
Ｓ−２６Ｎｏ、１２ ＋ ｐ １０７２［Ｇｕｌｄｅｄ
−Ｗａｖｅ Ａｃｏｕａｔｏ −０ｐｔ ｌｃ Ｂｒ
ａｇｇ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎｓｆｏｒ Ｗｉｄｅ −
Ｂａｎｄ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ０ｐｔｉｃ Ｃｏｒ
ｒｒｎｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ ａｎｄＳｉｇｎａｌ Ｐ
ｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｊ ｂｙ Ｃ，Ｓ、 ＴＳＡＩに
詳しく述べられている。その−例は、第３図に示される
如く、広周波該帝域を共振帯域の異なる仮数のトランス
デユーサ−１４によシ分担させ、且つ各トランスデー−
゛す−を互いにわずかづつ１頃けて１杷置することによ
り全１↑を域で入射光束がカッシリングされる様に工夫
されている。４個のトランスデユーサ−を用いた例では
６８０ Ｍｆ（ｚの帯域が得られている。
この時の偏向角は約４°である。また、他の例は、第４
図に示される如く、くシの来状の′成極１５のピッチｐ
と１頃きψを順次変化させ低域から高域になるにつれ超
音波の進行方向が変化し、広４ｊｆ域で入射光束がカッ
シリングされる様に工夫されている。
図に示される如く、くシの来状の′成極１５のピッチｐ
と１頃きψを順次変化させ低域から高域になるにつれ超
音波の進行方向が変化し、広４ｊｆ域で入射光束がカッ
シリングされる様に工夫されている。
これら改良型の扁内器でも、ドライバー技術、くしの両
電極の／４’ターン加工技術等の制約にょ９、以上の様
にして偏向角を増大させる方法においては偏向角の増大
にともなって広い周波数帯域の電圧印加用発振器が必要
となるが、−役に広い周波数帯域の発振器を得るのは困
難である。
電極の／４’ターン加工技術等の制約にょ９、以上の様
にして偏向角を増大させる方法においては偏向角の増大
にともなって広い周波数帯域の電圧印加用発振器が必要
となるが、−役に広い周波数帯域の発振器を得るのは困
難である。
周波数帯域を広げないで偏向角を広角化する方法として
、同一周波数帯域のトランスデユーサ−を第５図に示さ
れる如く腹故個配列し、それらの頌き角を変え且つ入射
光束の方向もそれら各トランスデユーサーの傾き角に対
応して変えて、各入射光束と各トランスデユーサ−との
組合せを順次切許えて広い偏向角を得ることも考えられ
る。この場合には超音波トランスデー−サー周波数が極
端に高くならないという利点がある。しかし、この場合
の間魂点はこの種の偏向器に存在する４次回折光の影響
である。即ち、第５図において第１のトランスデユーサ
−１６によυ励起された超音波１７に第１の光束１８を
入射させると、その一部は偏向光束となるが一部の光束
は回折されずに零次光１９となる。この第１のトランス
デー−サＩ Ｃ＋ｆＦ ＩＱ ＩＪ−＋１Ｆｉｌ 婚４
ｂ Ｑ ｌ’１ 品、ｒ−赫爪ＩＦ 子荀９Ａまでの間
の糾；鍜都２１の角度範囲が走査される。
、同一周波数帯域のトランスデユーサ−を第５図に示さ
れる如く腹故個配列し、それらの頌き角を変え且つ入射
光束の方向もそれら各トランスデユーサーの傾き角に対
応して変えて、各入射光束と各トランスデユーサ−との
組合せを順次切許えて広い偏向角を得ることも考えられ
る。この場合には超音波トランスデー−サー周波数が極
端に高くならないという利点がある。しかし、この場合
の間魂点はこの種の偏向器に存在する４次回折光の影響
である。即ち、第５図において第１のトランスデユーサ
−１６によυ励起された超音波１７に第１の光束１８を
入射させると、その一部は偏向光束となるが一部の光束
は回折されずに零次光１９となる。この第１のトランス
デー−サＩ Ｃ＋ｆＦ ＩＱ ＩＪ−＋１Ｆｉｌ 婚４
ｂ Ｑ ｌ’１ 品、ｒ−赫爪ＩＦ 子荀９Ａまでの間
の糾；鍜都２１の角度範囲が走査される。
この第１の偏向範囲２１に頃続して、時系列的に切替え
られた第２のトランスデユーサ−２２と入射光束２３と
の組合せにより最大回折角２４から最小回折角２６まで
の間の斜線郡２５の１桶向範囲が走査される。この偏向
範囲２５の中には先の第１の光束１８による零次回折光
１９がｑ在することになる。そのため、この偏向器をし
”−ザービーム記録またはレーザーディスプレイに用い
た場合には、この零次光束１９は偏向光束に対し静止光
束となるためその元叶が多少低い場合でも偏向範囲２１
．２５中に琲祿ノイズとなってｉ己録またはディスルレ
イに非常に有博となる。
られた第２のトランスデユーサ−２２と入射光束２３と
の組合せにより最大回折角２４から最小回折角２６まで
の間の斜線郡２５の１桶向範囲が走査される。この偏向
範囲２５の中には先の第１の光束１８による零次回折光
１９がｑ在することになる。そのため、この偏向器をし
”−ザービーム記録またはレーザーディスプレイに用い
た場合には、この零次光束１９は偏向光束に対し静止光
束となるためその元叶が多少低い場合でも偏向範囲２１
．２５中に琲祿ノイズとなってｉ己録またはディスルレ
イに非常に有博となる。
本発明は、以上のμｍ」き従来技術に鑑み、広い偏向角
を実現できる４ｊ漠型元偏向装置を提供することを目的
とする。
を実現できる４ｊ漠型元偏向装置を提供することを目的
とする。
以上の如き目的は、導波の回折位置を通る円の一部分に
相当する回折導波光反射面を設けることにより達成され
る。
相当する回折導波光反射面を設けることにより達成され
る。
以下、図面を参照しつつ本究明の実施例を説明する。
第６図は本究明の漣：模型光偏向装置の第１実施−クリ
を示す平面図である。第６図において、３１はＴｉ拡散
ｙ板Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏ５光導波路、３２．３３はグレ
ーティング光結合器、３４は円弧状にＩνｔＭされた光
導波路肩面、３５はＡｌ薄膜等を蒸着することによシ構
成された反射膜、３６は〈シＢ１電極である。外部から
のＴＥモードのＨｅ −Ｎｅレーザー入射元（波長６３
２８Ｘ）３７はグレーティング光結合器３２を通って光
導波路３１内に導びかれ、導波光３８となる。この導波
光３８は、くシ型心極３６によシ発生せしめられた弾性
表面波３９により回折せしめられ、回折導波光４０とな
る。回折光４０は反射膜３５を付せられた導波路端ｌｌ
ｌ１３４で反射され、反射導波光４１となる。反射光４
１は出力用グレーティング光結合器３３を通って外部に
出射される。
を示す平面図である。第６図において、３１はＴｉ拡散
ｙ板Ｌ ｉ Ｎ ｂ Ｏ５光導波路、３２．３３はグレ
ーティング光結合器、３４は円弧状にＩνｔＭされた光
導波路肩面、３５はＡｌ薄膜等を蒸着することによシ構
成された反射膜、３６は〈シＢ１電極である。外部から
のＴＥモードのＨｅ −Ｎｅレーザー入射元（波長６３
２８Ｘ）３７はグレーティング光結合器３２を通って光
導波路３１内に導びかれ、導波光３８となる。この導波
光３８は、くシ型心極３６によシ発生せしめられた弾性
表面波３９により回折せしめられ、回折導波光４０とな
る。回折光４０は反射膜３５を付せられた導波路端ｌｌ
ｌ１３４で反射され、反射導波光４１となる。反射光４
１は出力用グレーティング光結合器３３を通って外部に
出射される。
第７図は本発明の詳細な説明図である。第７図において
、４３は導波光、４４は連性表山１波、４５．４７はｚ
Ｊ≠波元４３が弾性表面波４４で回折されて生じた回折
導波光、４６．４８は回折導波光４５．４７が導波路端
［ｌＸ１４９で反射されて生じた反射導波光である。弾
性表面波４４に対するブラッグ角をθ８とし、入射導波
光４３が弾性表面波４４に対してブラッグ角で入射する
様に配置されている。第７図に示される如く、入射導波
光４３と）ｆト性表面波４４との相互作用の位置をＡと
し、点Ａから弾性表面波４４０波面方向（ここで、波面
方向とは弾性表面波の進行する方向に直交する方向を、
依ｉ禾するものとする）の直線上の一点を０とする。そ
して、導波路端面４９の形状は、点０を中心とじＡｏを
半径とする円弧であるとする。
、４３は導波光、４４は連性表山１波、４５．４７はｚ
Ｊ≠波元４３が弾性表面波４４で回折されて生じた回折
導波光、４６．４８は回折導波光４５．４７が導波路端
［ｌＸ１４９で反射されて生じた反射導波光である。弾
性表面波４４に対するブラッグ角をθ８とし、入射導波
光４３が弾性表面波４４に対してブラッグ角で入射する
様に配置されている。第７図に示される如く、入射導波
光４３と）ｆト性表面波４４との相互作用の位置をＡと
し、点Ａから弾性表面波４４０波面方向（ここで、波面
方向とは弾性表面波の進行する方向に直交する方向を、
依ｉ禾するものとする）の直線上の一点を０とする。そ
して、導波路端面４９の形状は、点０を中心とじＡｏを
半径とする円弧であるとする。
弾性表面波４４の波長がブラッグ条件を満足する時、回
折光４５は入射導波光４３に対して、−２θＢ偏向をう
ける・。ただし、角度の符号は反時計まわりを正とする
ことにする。回折光４５は、導波路端面４９のＢ点で反
射されるわけであるが、導波１ｌ１８端１１１１の形状
が点Ｏを中＋ｌ’＞とする円「甚ゆう、端面に入射する
回折光４５の入射角はθＢとなる。したがって、と記１
３点での反射により、回折光４５はπ−２θＢ１Ｍ回を
うける。最終的に入射光４３に対する反射光４６の１ｈ
ｔｉ向角ψは＼ ψ＝−２０８＋π−２０．＝π−４０． ・・・（１）
となる。
折光４５は入射導波光４３に対して、−２θＢ偏向をう
ける・。ただし、角度の符号は反時計まわりを正とする
ことにする。回折光４５は、導波路端面４９のＢ点で反
射されるわけであるが、導波１ｌ１８端１１１１の形状
が点Ｏを中＋ｌ’＞とする円「甚ゆう、端面に入射する
回折光４５の入射角はθＢとなる。したがって、と記１
３点での反射により、回折光４５はπ−２θＢ１Ｍ回を
うける。最終的に入射光４３に対する反射光４６の１ｈ
ｔｉ向角ψは＼ ψ＝−２０８＋π−２０．＝π−４０． ・・・（１）
となる。
次に、くし型屯池に印加する高周波の周波数を変化させ
、弾性表面波のピッチを変えると、弾性表面波４４によ
り回折された。！４波光４７は入射光４３に対して−２
０８−Δθ偏向をうける。回折光４７は導波路端面４９
のＢ′点で反射されるわけであるが、三角形ＡＯＢ’も
二等辺三角形であるので端面に入射する回折光４７の入
射角はθ８＋Δθとなる。したがって、上記Ｂ′点での
反射により、回折光４７はπ−２０Ｉｌ−２Δθ偏向を
うけ、最終的に入射光４３に対する反射光４８の偏向角
ψ′は、ψ１−−２０８−Δθ＋π−２θＢ−２Δθ＝
π−４θＢ−３Δθ ・・・（２）となる。
、弾性表面波のピッチを変えると、弾性表面波４４によ
り回折された。！４波光４７は入射光４３に対して−２
０８−Δθ偏向をうける。回折光４７は導波路端面４９
のＢ′点で反射されるわけであるが、三角形ＡＯＢ’も
二等辺三角形であるので端面に入射する回折光４７の入
射角はθ８＋Δθとなる。したがって、上記Ｂ′点での
反射により、回折光４７はπ−２０Ｉｌ−２Δθ偏向を
うけ、最終的に入射光４３に対する反射光４８の偏向角
ψ′は、ψ１−−２０８−Δθ＋π−２θＢ−２Δθ＝
π−４θＢ−３Δθ ・・・（２）となる。
このように、くし型′厄イ返に印加する高周波の周波数
を変化させた場合の振れ角Δψは、（１）式及び（２）
式から、 Δψ＝ψ′−ψ＝３Δθ ・・・（３）となシ、Ａ点に
おける回折光の１脹れ角Δθの３倍の偏向角が得られる
ことになる。第７図においては光束を光線と近似したが
、有限の幅をもつ光束は厳密には、上記（３）式の関係
を満足しない。しかし、光束幅に対して半径ＯＡを十分
大きくとれば、（３）式の関係は良い近似で成シ立っ。
を変化させた場合の振れ角Δψは、（１）式及び（２）
式から、 Δψ＝ψ′−ψ＝３Δθ ・・・（３）となシ、Ａ点に
おける回折光の１脹れ角Δθの３倍の偏向角が得られる
ことになる。第７図においては光束を光線と近似したが
、有限の幅をもつ光束は厳密には、上記（３）式の関係
を満足しない。しかし、光束幅に対して半径ＯＡを十分
大きくとれば、（３）式の関係は良い近似で成シ立っ。
今、くシ型電極３６に、印加する高周波の周波数を連続
的に変化させた時の弾性表面波による回折の最大の振れ
角をΔθ、工とすると、本第１実施列の光偏向装置の最
大の振れ角Δψｍａｘは、（３）式の関係からΔψｍａ
ｘ＝３Δθｍａｘ −（４） となシ、３倍の偏向角を得ることができる。
的に変化させた時の弾性表面波による回折の最大の振れ
角をΔθ、工とすると、本第１実施列の光偏向装置の最
大の振れ角Δψｍａｘは、（３）式の関係からΔψｍａ
ｘ＝３Δθｍａｘ −（４） となシ、３倍の偏向角を得ることができる。
第８図は本発明の薄膜型光偏向装置の第２の実施例を示
す平面図である。第８図において３１は、Ｔｉ拡散ｙ
＆ ＬｉＮｂＯ３光導波路、３２．３３は、グレーティ
ング光結合器、３６はくし型電極である。
す平面図である。第８図において３１は、Ｔｉ拡散ｙ
＆ ＬｉＮｂＯ３光導波路、３２．３３は、グレーティ
ング光結合器、３６はくし型電極である。
光偏向原理は上記第１実施例と同様であるが、本実施例
においては、グレーティング反射器４２を用いて弾性表
面波４４による回折光４０を反射′させるように構成さ
れている。上記グレーティング反射器のグレーティング
の形状は、第１実施例の導波路端面３４の円弧形状と同
じであるため、本実施例の場合も（３）式と同様の関係
を満足する。本実施例の場合は、第１実施例に比べて導
波路端面を円弧状に加工する必要がないため、作製が容
易であるという効果を有する。
においては、グレーティング反射器４２を用いて弾性表
面波４４による回折光４０を反射′させるように構成さ
れている。上記グレーティング反射器のグレーティング
の形状は、第１実施例の導波路端面３４の円弧形状と同
じであるため、本実施例の場合も（３）式と同様の関係
を満足する。本実施例の場合は、第１実施例に比べて導
波路端面を円弧状に加工する必要がないため、作製が容
易であるという効果を有する。
以上の実施例においては、音４元学効果を用いた装置を
説明したが、本発明はこれに限らず、導波光の回折を利
用した薄膜型光偏向装置には全て用いることが出来る。
説明したが、本発明はこれに限らず、導波光の回折を利
用した薄膜型光偏向装置には全て用いることが出来る。
例えば、第９図は電気光学効果を利用したもので、第８
図と共通の部分は同一の符号を附した。Ｔｉ拡散ｙＭｉ
、Ｌ１Ｎｂ０５光導波路３１にグレーティング光結合器
３２を介して結合された入射光３７は、導波光３８とな
る。光導波路３１は、くし型電極４３に電圧を印加する
と、電気光学効果によって、屈折率が周期的に変化し、
前記導波光３８を回折導波光４０のように回折せしめる
。この回折導波光４０は、くし型電極４３による回折位
置を通る円の一部分に相当する円弧形状に形成されたグ
レーティング反射器４２で反射されて、グレーティング
光結合器３３で導波路外に導出される。本実施例でも（
３ン式を満足し、導出された偏向光は大きな偏向角を有
する。
図と共通の部分は同一の符号を附した。Ｔｉ拡散ｙＭｉ
、Ｌ１Ｎｂ０５光導波路３１にグレーティング光結合器
３２を介して結合された入射光３７は、導波光３８とな
る。光導波路３１は、くし型電極４３に電圧を印加する
と、電気光学効果によって、屈折率が周期的に変化し、
前記導波光３８を回折導波光４０のように回折せしめる
。この回折導波光４０は、くし型電極４３による回折位
置を通る円の一部分に相当する円弧形状に形成されたグ
レーティング反射器４２で反射されて、グレーティング
光結合器３３で導波路外に導出される。本実施例でも（
３ン式を満足し、導出された偏向光は大きな偏向角を有
する。
第９図のくし型電極４３の代わシに第１０図に示す様な
はしご型構造のヒーター材よ構成る電極を用いて加熱し
、熱光学効果を利用して光導波路３１に周期的な屈折率
変化を生じさせて、導波光３８を回折させても良い。こ
のような回折を利用した薄膜型光偏向装置は、一般に偏
向角が小さいので、本発明による偏向角の増大は、非常
に有効である。
はしご型構造のヒーター材よ構成る電極を用いて加熱し
、熱光学効果を利用して光導波路３１に周期的な屈折率
変化を生じさせて、導波光３８を回折させても良い。こ
のような回折を利用した薄膜型光偏向装置は、一般に偏
向角が小さいので、本発明による偏向角の増大は、非常
に有効である。
以上の如き本発明の薄ｊ漠型光調向装置によれば、通常
の光偏向装置に比べ３倍の偏向角を実現できる。又、弾
性表面波を用いた偏向装置においては、サー印加高周波
の周波数帯域はかなシ狭くてもよいという効果がある。
の光偏向装置に比べ３倍の偏向角を実現できる。又、弾
性表面波を用いた偏向装置においては、サー印加高周波
の周波数帯域はかなシ狭くてもよいという効果がある。
第１図〜第３図は従来の光偏向器の斜視図であシ、第４
図及び第５図は従来の光偏向器の部分平面図である。第
６図、第８図及び第９図は本発明の光偏向装置の平面図
であシ、第７図は本発明の詳細な説明図である。第１０
図は′電極構造の一例を示す平面図である。 ３１・・・光導波路、３２．３３・・・グレーティング
光結合器、３４．４９・・・導波路端面、３５・・・反
射膜、３６．４３・・・くし型電極、３７・・・入射光
、３８．４３・・・導波光、３９．４４・・・弾性表面
波、４０．４５．４７・・・回折導波光、４１．４６．
４８・・・反射導波光、４２・・・グレーティング反射
器。 ゛・ｉａ１図 ス ＠ ２ 図 笛 ３ 図 箪 ４ 図 ！！５ 図 第 ６ 図 １ ９ ＠８図 １
図及び第５図は従来の光偏向器の部分平面図である。第
６図、第８図及び第９図は本発明の光偏向装置の平面図
であシ、第７図は本発明の詳細な説明図である。第１０
図は′電極構造の一例を示す平面図である。 ３１・・・光導波路、３２．３３・・・グレーティング
光結合器、３４．４９・・・導波路端面、３５・・・反
射膜、３６．４３・・・くし型電極、３７・・・入射光
、３８．４３・・・導波光、３９．４４・・・弾性表面
波、４０．４５．４７・・・回折導波光、４１．４６．
４８・・・反射導波光、４２・・・グレーティング反射
器。 ゛・ｉａ１図 ス ＠ ２ 図 笛 ３ 図 箪 ４ 図 ！！５ 図 第 ６ 図 １ ９ ＠８図 １
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）ブレーナ−型光導波路に周期的な屈折率変化を生
じさせ、導波光を回折せしめる簿膜型の光偏向装置ｎに
おいて、光導波路に回折導波光を反射せしめるための反
射面が形成されておシ、該反射面は導波光の回折位置を
通る円の一部分に相当することを特徴とする、薄膜型光
偏向装置。 （２ン 反射面が）ｔ４波路端面によ多構成される、第
１項の（４模型元詞向装置。 （３）反射面が光導波路上に付されたグレーティングに
よ多構成される、第１項の４１漠型元偏向装置Ｏ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24089183A JPS60133432A (ja) | 1983-12-22 | 1983-12-22 | 薄膜型光偏向装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24089183A JPS60133432A (ja) | 1983-12-22 | 1983-12-22 | 薄膜型光偏向装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60133432A true JPS60133432A (ja) | 1985-07-16 |
Family
ID=17066221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24089183A Pending JPS60133432A (ja) | 1983-12-22 | 1983-12-22 | 薄膜型光偏向装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60133432A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007286428A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路型光変調器及び出力光モニタ付光導波路型光変調器 |
-
1983
- 1983-12-22 JP JP24089183A patent/JPS60133432A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007286428A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路型光変調器及び出力光モニタ付光導波路型光変調器 |
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