JPS60133455U - ハ−ドマスク製造装置 - Google Patents

ハ−ドマスク製造装置

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JPS60133455U
JPS60133455U JP1984020849U JP2084984U JPS60133455U JP S60133455 U JPS60133455 U JP S60133455U JP 1984020849 U JP1984020849 U JP 1984020849U JP 2084984 U JP2084984 U JP 2084984U JP S60133455 U JPS60133455 U JP S60133455U
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JP
Japan
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hard mask
mask manufacturing
manufacturing equipment
plate
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JP1984020849U
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JPS6323705Y2 (ja
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森松　高弘
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Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図Ａは、従来のハードマスク製造装置の平面図、同
図Ｂは、同装置の正面図、第２図Ａ及ｄ□同図Ｂは、同
装置にハードマスクを設置した状態を示す説明図、第３
図Ａは、本考案の一実施例の平面図、同図Ｂは同実施例
の正面図、第４図Ａ及び同図Ｂは、同実施例の装置にハ
ードマスクを設置した状態を示す説明図である。 １０・・・ホルダー、１１・・・ハードマスク、１２・
・・受板、１３・・・回転軸、１４・・・突起体、１５
・・・段部、２０・・・ハードマスク製造装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ハードマスクの片面よりも僅に大きい受板上に、該ハー
    ドマスクの縁部を支持する段部を形成した突起体の複数
    個を形成し、かつ、前記板に回転軸を取付けて回転自在
    に立設されたホルダーを具備してなることを特徴とする
    ノ１−ドマスク製造装置。
JP1984020849U 1984-02-16 1984-02-16 ハ−ドマスク製造装置 Granted JPS60133455U (ja)

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JP1984020849U JPS60133455U (ja) 1984-02-16 1984-02-16 ハ−ドマスク製造装置

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JP1984020849U JPS60133455U (ja) 1984-02-16 1984-02-16 ハ−ドマスク製造装置

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Publication Number Publication Date
JPS60133455U true JPS60133455U (ja) 1985-09-05
JPS6323705Y2 JPS6323705Y2 (ja) 1988-06-29

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JP1984020849U Granted JPS60133455U (ja) 1984-02-16 1984-02-16 ハ−ドマスク製造装置

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JPS6323705Y2 (ja) 1988-06-29

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