JPS611845U - 半導体ウエ−ハ - Google Patents
半導体ウエ−ハInfo
- Publication number
- JPS611845U JPS611845U JP8563584U JP8563584U JPS611845U JP S611845 U JPS611845 U JP S611845U JP 8563584 U JP8563584 U JP 8563584U JP 8563584 U JP8563584 U JP 8563584U JP S611845 U JPS611845 U JP S611845U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- abstract
- transistor elements
- electrodes
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図及び第
３図は従来の半導体ウエーハを示す各断面図である。 １８・・・裏面電極（コレクタ電極）、１９・・・トラ
ンジスタ素子、２０・・・半導体ウエーハ、２１・・・
溝。
３図は従来の半導体ウエーハを示す各断面図である。 １８・・・裏面電極（コレクタ電極）、１９・・・トラ
ンジスタ素子、２０・・・半導体ウエーハ、２１・・・
溝。
Claims (1)
- 複数のトランジスタ素子を表面電極を含め形成した半導
体ウエーハにおいて、裏面のトランジスタ素子間に裏面
電極より深く溝を形成したことを特徴とする半導体ウエ
ーハ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8563584U JPS611845U (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 半導体ウエ−ハ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8563584U JPS611845U (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 半導体ウエ−ハ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS611845U true JPS611845U (ja) | 1986-01-08 |
Family
ID=30636208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8563584U Pending JPS611845U (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | 半導体ウエ−ハ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS611845U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5040836A (ja) * | 1973-08-14 | 1975-04-14 | ||
| JPS5144637A (ja) * | 1975-08-22 | 1976-04-16 | Sankyo Co | Josozai |
-
1984
- 1984-06-08 JP JP8563584U patent/JPS611845U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5040836A (ja) * | 1973-08-14 | 1975-04-14 | ||
| JPS5144637A (ja) * | 1975-08-22 | 1976-04-16 | Sankyo Co | Josozai |
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