JPS60136309A - 収容治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は収容治具、特に半導体薄板（ウェハ）等を林立
状態で収容保持する収容治具に関する。

〔背景技術］ 半導体装置の製造において酸化、拡散処理、エピタキシ
ャルＮ、ポリシリコン層、絶縁膜等の被膜形成処理、プ
ラズマエツチングやアッシング等のドライエツチング等
の各種熱処理をウェハに施す際には、たとえばＳｅｍ１
ｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｗｏｒｌｄ　＊　１９８２年９月
号、６６頁忙も記載されているように、石英ボート（石
英治具）が使用されている。

この石英ボートは平行に延在する数本の石英棒に対応し
て収容溝を設け、同心円上に位置する各石英棒の収容溝
に円板状のウニへの一級を挿入するようにして１枚のウ
ェハを収容保持するようになっている。−！た、ウェハ
は石英治具に林立状態で保持されている。

しかし、このような石英治具はウェハを略垂直に林立さ
せるようにするために、収容溝の溝幅はウェハの厚さに
対してわずかに広くなる構造となっている。このため、
ウェハの石英治具への着脱時の取扱いが難しく、脆弱材
質からなるウェハには治具跡、クラック等の傷が入り易
い。ウェハの損傷は半導体素子（チップ）の製造歩留を
大幅に低下させることになることから、カセットから石
英治具への移し替えは、電子材料１９７５年７月号９４
頁にも記載されているように、ビンセットによる人手作
業が多い。この結果、作業性が悪い。

一方、前記文献にも記載されているように、ウェハの移
し替え機も開発されている。

しかし、移し替え機を用いても、石英治具の収容溝幅が
狭い場合には、ウェハが円滑に収容溝に納まり難く、ウ
ェハの多数同時移し替え時間が多く掛ったり、あるいは
ウェハが収容溝に入らないことによるウェハの損傷が起
きるという問題点があることが本発明者によってあきら
かとされた。

〔発明の目的〕

本発明の目的はウェハの着脱が容易で、しかも、ウェハ
を林立状態に確実に収容保持できる収容治具を提供する
ことにある。

本発明の他の目的はウェハの同時多数着脱が容易でかク
ウエハ損傷が起き難い収容治具を提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明の石英治具に、ウェハの厚さよりも充
分大きな溝幅を有する収容溝を設けた固定棒（固定体）
と可動棒（可動体）を有した構造であり、ウェハの着脱
時には、固定棒と可動棒の収容溝が同一直線上に位置す
るようにして広い収容溝へのウェハの着脱を行ない、ウ
ェハ収容保持時には可動棒を摺動させて固定棒と可動棒
の両収容溝の各−溝壁によってウニノ・を挾持させるこ
とから、ウェハの着脱は収容溝の溝幅が広いことから着
脱が容易となり、ウェハの多数同時着脱もウェハを損傷
させることなく行なえ、かつウェハの収容保持時には、
ウェハを保持する収容溝は実質的に狭くなることからウ
ェハな林立状態で確実に保持できることになる。

〔実施例］ 第１図は本発明の一実施例圧よる石英治具の斜視図、第
２図は同じくウェハの着脱状態の一部断面図、第３図は
同じくウェハの収容保持状態を示す一部断面図である。

この石英治具は全体の各部は耐熱性の石英によって構成
されている。石英治具は１対の細長い固定棒（固定体）
１．２と、この１対の固定棒１゜２の中間部に固定棒１
，２と平行に延在する１本の可動棒（可動体）３とを有
している。そして、固定棒１，２は固定棒１，２と同じ
寸法の支持棒’４．５に重ねられて固定されている。支
持棒４゜５はその両端をそれぞれ１対の支持板６，７の
対応する一端に固定されている。また、可動棒３はこの
１対の支持板６，７の中間上に設けられた溝上に載り、
かつ可動棒３の長さ方向に摺動可能となっている、１対
の固定棒１，２および可動棒３の上面にはそれぞれ対応
して定間隔で収容溝８゜９．１０が設けられている。こ
の収容溝８，９゜１０Ｆｉ被収容物であるウェハ１１の
厚さの数倍の厚さとなっていて、ウェハ１１の収容溝８
，９゜１０への着脱はウェハ１１の周縁を収容溝８，９
゜１０の緑等に誤って衝突させることがないようになっ
ていて、ウェハ１１の着脱は容易となっている。

可動棒３の一端側下部には第２図および第３図で示すよ
うに、１対のストッパ１２．１３は設けられている。こ
のストッパ１２，１３は可動体３の摺動長さくストロー
ク）を規定するストッパであって、可動棒３を摺動させ
た場合、前後進ストロークａはストッパ１２．１３が支
持板６の側縁に当接することによって決まる。また、こ
のストロークａは略前記各収容溝８，９．１０の溝幅す
からウェハ１１の厚さＣを差し引いた長さ、すなわち、
ａ≦ｂ　−ｃの関係となっている。そして、可動棒３を
どちらか一方の方向にストロークａだけ押した場合、た
とえば、手前に引いｆｃ（後退）場合、第２図に示すよ
うに、固定棒１，２と可動棒３の各収容溝８，９．１０
Ｆｉそれぞれ対応する部分が同一平面上に同一円を形成
するように並ぶ。

この結果、ウェハ１１は収容溝８，９．１０の溝幅いっ
ばいに亘って収容できるようになっている。

また、可動棒３を第３図に示すようにストロークａだけ
押すと、ウェハ１１の一面は可動棒３の収容溝１０の一
内壁面によって押されてウェハ１１は移動するため、ウ
ェハ１１の他の而は固定棒】、２の収容溝８，９の一内
壁面に近接することになる。この際の微小なウェハ１１
と固定棒１゜２の収容溝８，９の一内壁面との間隙が従
来の狭い収容溝を有する石英治具のウェハと収容溝との
間隙と同じと考えてよい。また、場合によってはその空
隙は前記間隙よりもわずかに太きくともあるいは小さく
ともよく、ウェハ１１の厚さばらつき、ウェハ１１の林
立支持状態によって適宜選択決定すればよい。さらに、
第３図の状態を維持できるように、可動棒３および支持
板６にはそれぞれガイド孔１４９位置決め孔１５が設け
られ、両孔には挿入端がテーパとなったロックビン１６
が挿脱自在に挿入される、このロックビン１６の挿入に
よって、可動棒３は固定棒１，２に対してウェハ１１を
林立収容保持する状態を維持できるようになっている。

〔効果〕

（１）本発明の石英治具はウェハを収容する収容溝の溝
幅が調整できることから、溝幅を広くした際にウェハの
着脱を行なえば、ウェハの着脱作業がし易く、かつ多数
同時処理も可能となり作業性（工数）が向上する。

（２）上記（１）から、ウェハ着脱時、収容溝の溝幅は
広いことから、ウェハ縁を収容溝縁に衝突させるような
ことは防ぎ易く、ウェハ損傷防止が図れ、歩留の向上が
達成できる。

（３）本発明の石英治具にウェハの収容保持時は収容溝
の溝幅が狭くなることから、ウェハは所望の林立状態が
維持され、熱処理が効果的に行なえる。

この結果、良好な処理が行なえ歩留が向上する。

（４）上記（１）〜（３）により工数の低減および歩留
の向上が圀れることから、ウェハの熱処理コストの軽減
が達成できる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない、たとえば、可動棒は複
数本たとえば２本、又１ｌ−ｔ３本でも前記実施例と同
様な効果が得られる。

また、固だ棒も複数本たとえば３本でも前記実施例と同
様な効果が得られる、 〔利用分野〕 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体ウェハ収容治
具技術に適用した場合について説明したが、それに限定
されるものではなく、たとえば、板状物を収容する収容
治具に対して同様に適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるウェハ用熱処理治其の
斜視図、 第２図は同じくウェハの着脱状態の一部断面図、第３図
は同じくウェハの収容保持状態を示す一部断面図である
。 １．２・・・固定棒（固定体）、３・・・可動棒（可動
体）、４，５・・・支持棒、、６．７・・・支持板、８
，９゜１０・・・収容溝、１１・・・ウェハ、１２．１
３・・・ストッパ、１４・・・カイト孔、１５・・・位
置決め孔、１６・・・ロックビン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、被収容物の厚さよりも充分大きな溝幅となる収容溝
   を少なくとも１つ有する固定体と、前記収容溝と同一ま
   たはわずかに広い溝幅の収容溝を有しかつ前記固定体に
   隣接して設けられる可動体とを有し、被収容物は固定体
   と可動体の両収容溝が同列になった状態のとき少なくと
   も挿入されて両′収容溝に収容され、可動体の固定体に
   対する摺動による固定体の収容溝の一内壁面と可動体の
   収容溝の一内壁面とで挟持保持されるように構成された
   ことを特徴とする収容治具。