JPS6013661U - 荷電粒子線発生装置 - Google Patents
荷電粒子線発生装置Info
- Publication number
- JPS6013661U JPS6013661U JP10496783U JP10496783U JPS6013661U JP S6013661 U JPS6013661 U JP S6013661U JP 10496783 U JP10496783 U JP 10496783U JP 10496783 U JP10496783 U JP 10496783U JP S6013661 U JPS6013661 U JP S6013661U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- beam generator
- potential
- filament
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置の構成略図、第２図は本考案の一実施
例を示す構成略図、第３図及び第４図は本考案を説明す
るための図である。 １・・・・・・電子銃室、２・・・・・・エミッター、
３・・・・・・電源、４・・・・・・制御電極、５．５
′・・・・・・陽極、６・・・・・・電源、７・・・・
・・熱電子放出用フィラメント、８・・・・・・電源、
９・・・・・・スイッチ、１０・・・・・・絶縁体、１
１・・・・・・電源、１２・・・・・・切換手段。 −一一一一−レ′ 〆 」 よ 誹 ↓
例を示す構成略図、第３図及び第４図は本考案を説明す
るための図である。 １・・・・・・電子銃室、２・・・・・・エミッター、
３・・・・・・電源、４・・・・・・制御電極、５．５
′・・・・・・陽極、６・・・・・・電源、７・・・・
・・熱電子放出用フィラメント、８・・・・・・電源、
９・・・・・・スイッチ、１０・・・・・・絶縁体、１
１・・・・・・電源、１２・・・・・・切換手段。 −一一一一−レ′ 〆 」 よ 誹 ↓
Claims (1)
- 荷電粒子線を発生するエミッターと、該エミッターから
放射された荷電粒子線を加速するための加速電極と、該
加速電極の近傍に配置された熱電子放出用フィラメント
と、該加速電極の電位を略フィラメントと同じ電位と該
フィラメントへ電位に対して正の電位とに切換るための
切換手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線発生装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10496783U JPS6013661U (ja) | 1983-07-06 | 1983-07-06 | 荷電粒子線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10496783U JPS6013661U (ja) | 1983-07-06 | 1983-07-06 | 荷電粒子線発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6013661U true JPS6013661U (ja) | 1985-01-30 |
Family
ID=30246247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10496783U Pending JPS6013661U (ja) | 1983-07-06 | 1983-07-06 | 荷電粒子線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6013661U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024525303A (ja) * | 2021-07-06 | 2024-07-12 | ケーエルエー コーポレイション | 逆ｅビーム電流を使用する自己浄化式抽出器を備えた冷電界放出器電子銃 |
| JP2025500975A (ja) * | 2021-12-21 | 2025-01-15 | アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー | 電子顕微鏡、電子顕微鏡用の電子源、および電子顕微鏡を動作させる方法 |
-
1983
- 1983-07-06 JP JP10496783U patent/JPS6013661U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024525303A (ja) * | 2021-07-06 | 2024-07-12 | ケーエルエー コーポレイション | 逆ｅビーム電流を使用する自己浄化式抽出器を備えた冷電界放出器電子銃 |
| JP2025500975A (ja) * | 2021-12-21 | 2025-01-15 | アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー | 電子顕微鏡、電子顕微鏡用の電子源、および電子顕微鏡を動作させる方法 |
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