JPS60140838U - クリ−ンル−ム用空気調和装置 - Google Patents

クリ−ンル−ム用空気調和装置

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JPS60140838U
JPS60140838U JP2878184U JP2878184U JPS60140838U JP S60140838 U JPS60140838 U JP S60140838U JP 2878184 U JP2878184 U JP 2878184U JP 2878184 U JP2878184 U JP 2878184U JP S60140838 U JPS60140838 U JP S60140838U
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JP
Japan
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air conditioner
clean room
room air
path
air
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JP2878184U
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坂倉　立世
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Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案実施例に係るクリーンルーム耳空気調和
装置を備えた空調システムの系統図、第）　　２図は従
来のクリーンルーム用空気調和装置を備：　　＜た空調
システムめ系統図である。 １Ａ・・・クリーンルーム、Ｂ・・・空調機器、Ｃ・・
・パイ、　　パス路、１・・・空調コイル（クーラ）、
２・・・空調コニ　　イル（ヒータ）、３・・・空調用
ファン、４・・・往路、ｔ５・・・復路、６・・・空調
循環回路、７・・・循環用ファ′　　ン。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 空調コイル１，２、空調用ファン３を備え、力つ吹出側
    、吹込側をそれぞれクリーンルームＡに対する空気循環
    回路６を形成する往路４、復路５との連通部となした空
    調機器Ｂを内装するとともに、この空調機器Ｂをバイパ
    スするバイパス路Ｃ設け、さらに該空調機器Ｂとバイパ
    ス路Ｃの下Ｍ。 側に循環用ファン７を設けたことを特徴とするクリーン
    ルーム用空気調和装置。
JP2878184U 1984-02-28 1984-02-28 クリ−ンル−ム用空気調和装置 Granted JPS60140838U (ja)

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JPS60140838U true JPS60140838U (ja) 1985-09-18
JPS64506Y2 JPS64506Y2 (ja) 1989-01-09

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JP2878184U Granted JPS60140838U (ja) 1984-02-28 1984-02-28 クリ−ンル−ム用空気調和装置

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