JPS6014204A - 色フイルタ用パタ−ンの形成方法 - Google Patents
色フイルタ用パタ−ンの形成方法Info
- Publication number
- JPS6014204A JPS6014204A JP58122907A JP12290783A JPS6014204A JP S6014204 A JPS6014204 A JP S6014204A JP 58122907 A JP58122907 A JP 58122907A JP 12290783 A JP12290783 A JP 12290783A JP S6014204 A JPS6014204 A JP S6014204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- pattern
- forming
- photosensitivity
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発＃４は、カラーイメージセンサ等に使用する色分解
フィルタ用パターンの形成方法に関するもので、重クロ
ム酸塩で感光性を付与した水溶性タンパクの露光方法に
関するものである。
フィルタ用パターンの形成方法に関するもので、重クロ
ム酸塩で感光性を付与した水溶性タンパクの露光方法に
関するものである。
従来、この種の色分解フィルタの製造法としては、例え
ば特公昭５２−１’ｉ’３７５号公報に記載されるよう
に、次のような方法が広く採用されている。
ば特公昭５２−１’ｉ’３７５号公報に記載されるよう
に、次のような方法が広く採用されている。
すなわち、ゼラチンやポリビニルアルコールなどの水溶
性樹脂に感光性を付与し′ｆＣ感光液をガラス等からな
る基板の面上に均一に塗布し、乾燥させて感光膜を形成
した後、写真製版技術を用いてストライプやモザイク状
等の所望画像を形成し、この画像部分ｔｊＡ定の分光特
性を有する染料を用いて染色法等で着色する。引続き、
透明な中間層を被覆し、次いでその上に、再び感光膜を
形成し、これを着色する工程を順次繰返して所望パター
ンの着色画像を形成した後、最上面に透明な保護膜を形
成する。
性樹脂に感光性を付与し′ｆＣ感光液をガラス等からな
る基板の面上に均一に塗布し、乾燥させて感光膜を形成
した後、写真製版技術を用いてストライプやモザイク状
等の所望画像を形成し、この画像部分ｔｊＡ定の分光特
性を有する染料を用いて染色法等で着色する。引続き、
透明な中間層を被覆し、次いでその上に、再び感光膜を
形成し、これを着色する工程を順次繰返して所望パター
ンの着色画像を形成した後、最上面に透明な保護膜を形
成する。
ここで、感光性を付与し、て染色土台とする材料として
は、感光性付与が容易なこと、塗膜性、基板への密着性
、解像度、染色性の良好なことなどの点から天然タンパ
クの一種であるゼラチンが最も多く使用されている。事
実、ゼラチン水溶液に重クロム酸塩ケ加えて感光性を付
与したものは、扁圧水銀灯で十分露光可能であり、しか
も、可視域に感光性を有するにもかかわらず、現像後は
可視域の吸収性は消滅し、染色土台としてはきわめて良
好な特性を有している。しかし々から、このゼラチン−
重クロム酸塩感光液は、通常の露光装置において用いら
れる可視域から近紫外域の光に対して低感度であるので
、露光に長時間を要し、従って大量生産性に欠けるとい
う重大な問題を有していた。
は、感光性付与が容易なこと、塗膜性、基板への密着性
、解像度、染色性の良好なことなどの点から天然タンパ
クの一種であるゼラチンが最も多く使用されている。事
実、ゼラチン水溶液に重クロム酸塩ケ加えて感光性を付
与したものは、扁圧水銀灯で十分露光可能であり、しか
も、可視域に感光性を有するにもかかわらず、現像後は
可視域の吸収性は消滅し、染色土台としてはきわめて良
好な特性を有している。しかし々から、このゼラチン−
重クロム酸塩感光液は、通常の露光装置において用いら
れる可視域から近紫外域の光に対して低感度であるので
、露光に長時間を要し、従って大量生産性に欠けるとい
う重大な問題を有していた。
この問題を解決すべく種々検討を行った結果、石英基板
を用いたマスクを用い可視光より短波長、特ｖｃ３’７
０〜２００６ｍの紫外域ないし遠紫外域の光を（活用す
ることによって、露光時間の大巾な短縮が可能であるこ
とを先に見出したく昭和５７年ユＯ月１２日出願、特願
昭５’７−１８８５６３号）。
を用いたマスクを用い可視光より短波長、特ｖｃ３’７
０〜２００６ｍの紫外域ないし遠紫外域の光を（活用す
ることによって、露光時間の大巾な短縮が可能であるこ
とを先に見出したく昭和５７年ユＯ月１２日出願、特願
昭５’７−１８８５６３号）。
他方さらに検討を進めた結果、ゼラチン以外の水溶性天
然タンパク、特に写真製版でよく使用されている卵白ア
ルブミンやカゼイン、フィッシュグルー等Ｖｃ重クロム
酸塩を加えて感光性を付与した感光膜に対しても同様の
効果が得られることを見出した。
然タンパク、特に写真製版でよく使用されている卵白ア
ルブミンやカゼイン、フィッシュグルー等Ｖｃ重クロム
酸塩を加えて感光性を付与した感光膜に対しても同様の
効果が得られることを見出した。
本発明に用いられる水溶性タンパクは分子樋数万〜数十
万程度のもので、感度、解像性、精製度。
万程度のもので、感度、解像性、精製度。
用途並びに使用特性等に適合したものが用いられる。捷
た、感光性を付与する重クロム酸塩又はクロム酸塩とし
ては、例えば重クロム酸アンモニウム、重クロム酸カリ
ウム、重クロム酸ナトリウム等やクロム酸アンモニウム
等が使用され、各々水溶性タンパクに対して５ ＝ ２
５ＰＨＲ（Ｐｅｒ Ｈａｎｄ、ｒｅｄＲｅｓｉｎ）添加
して感光性を付与する。
た、感光性を付与する重クロム酸塩又はクロム酸塩とし
ては、例えば重クロム酸アンモニウム、重クロム酸カリ
ウム、重クロム酸ナトリウム等やクロム酸アンモニウム
等が使用され、各々水溶性タンパクに対して５ ＝ ２
５ＰＨＲ（Ｐｅｒ Ｈａｎｄ、ｒｅｄＲｅｓｉｎ）添加
して感光性を付与する。
以下、実施例を用いてこの発明の詳細な説明するＯ
卵白から得られたアルブミン、フィッシュグルー、まタ
ケ分子量約１００万のミルクカゼインの水溶液に、重ク
ロム酸アンモニウム全各々ｌ０ＰＨＲ加え感光液を得た
。こねらの感光液全ガラスや石英の基板、またげホトダ
イオードアレイを有するシリコンウェーハ上に所定の条
件で回転塗布して厚遠紫外線露光装置（３７０〜２００
ｍｍの波長の光を主。
ケ分子量約１００万のミルクカゼインの水溶液に、重ク
ロム酸アンモニウム全各々ｌ０ＰＨＲ加え感光液を得た
。こねらの感光液全ガラスや石英の基板、またげホトダ
イオードアレイを有するシリコンウェーハ上に所定の条
件で回転塗布して厚遠紫外線露光装置（３７０〜２００
ｍｍの波長の光を主。
とじて使用）Ｋ工って近接露光（ギャップ３．Ｏｆｉｍ
）を行った。なお、マスクＫｔｊ紫外〜遠紫外域の光を
ほとんど透過する石英を基板としたクロムマスクを使用
した。結果を第１表に示す。なお、比較の為５ｏｏｗ高
圧Ｈｇ灯を光源とする通常の紫外線露光装置（４１０〜
３６０矩ｍの光を主に使用）Ｋエリ同・様な露光を行っ
たが、結果を参考例として示す。
）を行った。なお、マスクＫｔｊ紫外〜遠紫外域の光を
ほとんど透過する石英を基板としたクロムマスクを使用
した。結果を第１表に示す。なお、比較の為５ｏｏｗ高
圧Ｈｇ灯を光源とする通常の紫外線露光装置（４１０〜
３６０矩ｍの光を主に使用）Ｋエリ同・様な露光を行っ
たが、結果を参考例として示す。
第 １ 表
することにより、水溶性タンパクの露光時間を大巾に短
縮でき、従って大量生産性が向上した。また、パターニ
ング性も良好であり、更に色フイルタ製作に必須である
染色性もゼラチンパターンと同様に良好であった。
縮でき、従って大量生産性が向上した。また、パターニ
ング性も良好であり、更に色フイルタ製作に必須である
染色性もゼラチンパターンと同様に良好であった。
代理人 大岩増雄
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｆｌｌ 感光性を付与した天然タンパクを基板上に塗布
し、マスクを介して露光した後、現像して所望のパター
ンを保持する色フイルタ用パターンの形成方法において
、上記天然タンパクに感光性を付与する感光剤として、
重クロム酸塩又はクロム酸塩を加え、かつマスクとして
石英基板を用いたマスク全使用するとともに可視光エリ
短波長の光を用いて露光を行なうことを特徴とする色フ
イルタ用パターンの形成方法。 （２） 可視光エリ短波長の光として３７０〜２００ａ
ｍの波長の紫外り龜み遠紫外光を用いることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の色フイルタ用パターンの
形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58122907A JPS6014204A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | 色フイルタ用パタ−ンの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58122907A JPS6014204A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | 色フイルタ用パタ−ンの形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6014204A true JPS6014204A (ja) | 1985-01-24 |
Family
ID=14847559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58122907A Pending JPS6014204A (ja) | 1983-07-04 | 1983-07-04 | 色フイルタ用パタ−ンの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6014204A (ja) |
-
1983
- 1983-07-04 JP JP58122907A patent/JPS6014204A/ja active Pending
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