JPS60142276A - 半導体素子の測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、半導体素子の動特性である遠視野像を一次元
イ２−ジセンサを用い効果的に測定する特性装置に関す
る、。

（従来技術） 上記のような半導体レーザダイオードの遠視野像特性の
測定において、従来の測定方法は、回転機ｔ’ｆｌｔ　
Ｋ電動モータを使用し、回転角度の検出にボグンショｔ
メータを用い、レーザダイオードの光強度と、放射角度
を電気的アナログ量で出力し、レコーダに記録する方法
であった。そのため、レコーダの位檻合せの繁雑さ、レ
コーダの応答速度のおそさ、！動モーターホ動による機
械的的摩耗と、暗室での測定する作業による作業能率の
低下、回転部の摩耗による光軸の位置ズレ、おＬびこの
光軸の位置ズレによる測定精度の低下という欠点があっ
た。

（発明の目的） 本発明の目的は、測定値の信頼性を落すことなく、作業
性が非常に良く、また暗室を使用せずに遠視野像を測定
することのできる測定装置を提供することにある。

（発明の構成） 本発明によれは、レーザダイオード光軸カイトソケット
の付いた９０°回転駆動部とその駆動装置、レーザダイ
オードを発振させるレーザバイアス電源、強いレーザ光
の減衰と測定室内照度の減−ジセンサを動作させるセン
サ駆動回路と一次元イメージセンサからの光強度および
角度に対するアナログ信号とタイミング信号とを補正す
る光強度／角度補正製（２）、および補正装置から出力
された両信号を直視する直視装置とを含む半導体素子の
測定装置を得る。

（発明の実施例） つぎに、図面を診照して本発明をより詳細に説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。レ
ーザダイメート１を光軸ガイドソケット付きの９０°回
転駆動部３に挿入固定し、レーザダイオード１が規定光
出力を出す動作抵流（直をレーザバイアス電源２に接続
して電流を印加する。

レーザダイオード１の光出力は光フィルタ５で減衰され
る。ここで欧州した元フィルタ５は従来の暗室での測定
であったものが室内照度も十分減衰させることを兼ねそ
なえたものである。こゴｔば、レーザダイオード１の１
光出力が大きいと同時に、−次元イメージセンサ６が高
感度であるためレーザダイオード１の光出力と室内照度
の両者を減衰させる必要があるからである。また、レー
ザダイオード１と一次元イメージセンサ６との光軸は±
数十マイクロメートル内におさ址るよう１８　ｈａ的嵩
高精度設計される。−次元イメージセンサ６で一直線状
に受けた光量は、センサ駆動回路７で光を電気信号に変
え増幅し、また角度に対するタイミング信号を発生させ
る。両者の信号を遠視野像波形図＠９に合せるべく、ス
フ−リングを行なう。

光強度／角度補正装置Ｉｔ、通って、第２図に表示され
ているスケールリミット及び遠視野像が見視装置である
遠視野像直視装置９に表わされ、測定者の目視によシ判
定される。

と（Ｄような本発明の半導体素子測定装置は、従来のも
のに比べて高精度で測定が出来、高い作業性が得れると
同時に、保守運用両面での経済的効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２図は、規
格線が記入されている直視装置で観測した遠視野像波形
図である。 １・・・・・・レーザダイオード％　２・・・・・・レ
ーザバイアス電源、３・・・・・・９０’　回転駆動部
、４・・印・９ｏ。 回転駆動装置、５・・・・・・光学フィルタ、６・山・
・−次元イメージセンサ、７・・・・・・センサ駆動回
路、８・・・・・・光強度／角度補正装置、９・・・・
・・遠視野像直視装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体素子に規定条件の電流を供給し、該半導体素子の
   光学的放射特性である遠視野像を測定する半導体素子の
   測定装置に於いて、光軸ガイド治具の付いた回転駆動機
   構部と、前記半導体素子を発振させるバイアス電源と、
   強いレーザ光を減衰する光学フィルタと、放射状に発し
   た光を検出するイメージセンサと、該イメージセンサの
   駆動回路と、測定素子毎に自動的にスケール補正を行な
   う光強度／角度補正装置と、該光強Ｉｆ／角度補正で補
   正された光強度信号と角度信号の両信号を直視する直視
   装置とを含むことを特徴とする半導体素子の特性測定装
   置６゜