JPS60143372U - 半導体素子の電気特性測定装置 - Google Patents

半導体素子の電気特性測定装置

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JPS60143372U
JPS60143372U JP3130484U JP3130484U JPS60143372U JP S60143372 U JPS60143372 U JP S60143372U JP 3130484 U JP3130484 U JP 3130484U JP 3130484 U JP3130484 U JP 3130484U JP S60143372 U JPS60143372 U JP S60143372U
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JP
Japan
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conductive rubber
face
protruding
electrical characteristics
protruding end
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Pending
Application number
JP3130484U
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English (en)
Inventor
岩見　清澄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS60143372U publication Critical patent/JPS60143372U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ないし第５図は半導体素子の従来の電気特性測定
装置にかかり、第１図は装置全体の一部断面図、第２図
は装置の要部の側面図、第３図は第２図に示す部分の斜
視図、第４図はオスピンの斜視図、第５図はメスピンの
一部の斜視図、第６図以降はこの考案の半導体素子の電
気特性測定装置にかかり、第６図は装置要部の構成を説
明するための断面図、第７図は第６図に示す部分の斜視
図、第８図は装置の接続機構を説明す−るための断　　
−面図である。　　　。 ５ｂ・・・カード針、１↓・・・固定カード接続体、１
１ａ・・・位置ぎめピン、１２，１２・・・導電ゴムロ
ッド、１２ａ、Ｌ２ｂ・・・導電ゴムロッドの突出端、
１３・・・（固定カード接続体の）絶縁部材、１３ａ・
・・絶縁部材の第１端面、１３ｂ・・・絶縁部材の第２
端面、土工・・・固定カード、１４ａ・・・（固定カー
ドの）絶縁板、１４ｂ・・・（固定カードの）パターニ
ング端子、１５・・・固定リング（接続機構）、４・・
・配線基板、２０・・・半導体素子。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電気計測部に配線接続された測定端子を有する配線基板
    と、−複数の導電ゴムロッドを絶縁部材で一体に支持す
    るとともにこの導電ゴムロッドの一端を絶縁部材の第１
    端面から突出させて前記測定端子に対向させ他端を絶縁
    部材の第２端面から突出させた固定カード接続体と、前
    記固定力ニド接続体の第２端面における導電ゴーロンド
    の突出端に対向するパターニング端子を絶縁板に備えこ
    のパターニング端子に取着されて半導体素子の電極パッ
    ドに衝接するカード針を有する固定力ニドと、前記固定
    カードと固定カード接続体とを各のパターニング端子と
    第２端面における導電ゴムロッドの突出端とを衝接させ
    て定位に結合させる接続機構とを具備した半導体素子の
    電気特性測定装置。
JP3130484U 1984-03-06 1984-03-06 半導体素子の電気特性測定装置 Pending JPS60143372U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6294635U (ja) * 1985-12-04 1987-06-17
JPS63153481A (ja) * 1986-12-18 1988-06-25 Asia Electron Kk 集積回路測定用接続装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5793543A (en) * 1980-12-03 1982-06-10 Nec Corp Measuring system for semiconductor element
JPS5823453A (ja) * 1981-08-03 1983-02-12 Nippon Denshi Zairyo Kk 半導体ウエハ−試験装置
JPS5910856A (ja) * 1982-07-09 1984-01-20 Nippon Denshi Zairyo Kk プロ−ブカ−ド

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