JPH0267643U - - Google Patents

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JPH0267643U
JPH0267643U JP14701088U JP14701088U JPH0267643U JP H0267643 U JPH0267643 U JP H0267643U JP 14701088 U JP14701088 U JP 14701088U JP 14701088 U JP14701088 U JP 14701088U JP H0267643 U JPH0267643 U JP H0267643U
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JP
Japan
Prior art keywords
probe card
connector section
measuring needle
connector
card plate
Prior art date
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Application number
JP14701088U
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Publication date
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す上面図、第２
図はその要部を示す断面図、第３図は従来例の上
面図、第４図は従来例の要部を示す断面図である
。 １：プローブカード用板体、２：端子、３：端
部、４：プローバ接続用コネクタ、５：プローブ
カード用コネクタ、６：測定針、７：対向部材、
８：スプリング。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 絶縁性のプローブカード用板体と、このプロー
    ブカード用板体に設置する測定針と、この測定針
    を囲むプローブカード用板体に形成する端子と、
    前記プローブカード用板体端部に設置するプロー
    バー接続用コネクター部と、このプローバー接続
    用コネクター部に電気的に接続してプローブカー
    ド用板体に設置するプローブカード用コネクター
    部と、このプローブカード用コネクター部と前記
    端子間を電気的に結ぶ配線層と、前記測定針によ
    り前記プローブカード用コネクター部と電気的に
    結ばれた被測定半導体素子と、両コネクター部間
    を跨いで設置し、伸縮自在な対向部材からなるコ
    ネクター部とを具備し、前記測定針とプローバ接
    続用コネクター部間の距離を調整可能にすること
    を特徴とするプローブカード。
JP14701088U 1988-11-10 1988-11-10 Pending JPH0267643U (ja)

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JP14701088U JPH0267643U (ja) 1988-11-10 1988-11-10

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JPH0267643U true JPH0267643U (ja) 1990-05-22

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ID=31417030

Family Applications (1)

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JP14701088U Pending JPH0267643U (ja) 1988-11-10 1988-11-10

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