JPS60145352U - 真空用材料の試験装置 - Google Patents

真空用材料の試験装置

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JPS60145352U
JPS60145352U JP3234684U JP3234684U JPS60145352U JP S60145352 U JPS60145352 U JP S60145352U JP 3234684 U JP3234684 U JP 3234684U JP 3234684 U JP3234684 U JP 3234684U JP S60145352 U JPS60145352 U JP S60145352U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test
vacuum
container
testing device
gas
Prior art date
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Pending
Application number
JP3234684U
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English (en)
Inventor
加賀谷　正雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ないし第５図はそれぞれ異なる本考案の真空用材
料の試験装置の各実施例を示す断面図で２ある。 １・・・真空容器、１ａ・・・真空容器の蓋、１ｂ・・
・真空容器本体、２・・・試験容器、２ａ・・・上部試
験官　゛器、２ｂ・・・下部試験容器、４・・・試験材
、５・・・真空シール材、６・・・接続管、８・・・注
入管、１ｏ・・・排出管、１０ａｔ　　１０ｂｔ　　１
０ｃ・・・冷媒ガス排出管の分岐管、１１・・・試験ガ
スリークデテクタであるへ　　　。 リウムリークデテクタ、１２・・・接続管、１３．１４
・・・止弁、１５・・・別の試験ガスリークデテクタで
あるヘリウムリークデテクタ、１６・・・ヒーター線、
１８・・・電流調整装置、２０．２１・・・片弁、２２
・・・絞り弁、２３・・・減圧用ポンプ、２８・・・透
過へリウムガス、２９・・・漏洩金すウムガス、３ｏ・
・・加熱流体供給装置、３２・・・加熱流体。 ／−ＩＸ Ｉ　　乙　４ ／′５ 第３図

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 （１）内部を真空引きされた真空容器内に、下方を開放
    した上部試験容器と上方を開放した下部試験容器とＧ間
    にそれぞれ真空シール材を介して試験材を挾んで固定し
    た試験容器を設置し、上部試験容器には試験材からの試
    験ガス透過量お、　　　よび真空シール材周辺からの試
    験ガス漏洩量を、　　　　試験するための試験流体を給
    排する注入管と排出管を設け、下部試験容器と真空容器
    とにはそれぞれ接続管によって真空容器外に設けた試験
    ２　　ガス゛リークデテクタを接続したことを特徴とす
    る真空用材料の試験装置。 （２）試験ガスリークデテクタは１個とし、それぞれの
    接続管に止弁を介在させて下部試験容器と真空容器との
    試験ガス流路を切換えるようにしたことを特徴とする実
    用新案登録請求の範囲第１項記載の真空用材料の試験装
    置。 （３）試験ガスリークデテクタは２個とし、それぞれの
    接続管に別々に接続したことを特徴とする実用新案登録
    請求の範囲第１項記載の真空用材料の試験装置。　１、
    　　　　　　　　　　　゛（４）冷媒ガス排出管には分
    岐管を設け、一方は止”ｍｒ’Ｑ’ｊＥ、”ｕ’＠孫瓢
    謬冒＝２し、上部試験容器の外周には真空容器外に哄け
    ４こ電流調整装置に接続されたヒーター線を巻きつけた
    ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項ないし
    第３項いずれかに記載の真空用材料の試験装置。 （５）試験流体給排用の注入管からは液体ヘリウムを供
    給し、排出管からはヘリウムガスを排出するようにした
    ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項ないし
    第４項いずれかに記載の真空用材料の試験装置。 （６）試験流体は加熱ヘリウムガスとしたことを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項ないし第４項いずれ
    かに記載の真空用材料の試験装１．゛置。
JP3234684U 1984-03-08 1984-03-08 真空用材料の試験装置 Pending JPS60145352U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007271558A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Denso Corp 漏れ検査装置
JP2013003028A (ja) * 2011-06-20 2013-01-07 Sumika Chemical Analysis Service Ltd 測定装置および測定方法

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