JPS60146151A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS60146151A JPS60146151A JP59001902A JP190284A JPS60146151A JP S60146151 A JPS60146151 A JP S60146151A JP 59001902 A JP59001902 A JP 59001902A JP 190284 A JP190284 A JP 190284A JP S60146151 A JPS60146151 A JP S60146151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- power source
- curved surface
- ultrasonic microscope
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 51
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
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- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は超音波顕微鏡に係り、特に曲面を有する試料の
観察に好適な試料台に関するものであ。
観察に好適な試料台に関するものであ。
従来の超音波顕微鏡装置について、第１図および第２図
を用いて説明する。
を用いて説明する。
第１図は、試料からの反射信号を得るための探触子部ｌ
の詳細構造を示す図であり、第２図は、超音波顕微鏡の
構成を示す図である。
の詳細構造を示す図であり、第２図は、超音波顕微鏡の
構成を示す図である。
音波伝播体２（例えばサフアイヤ、石英ガラス等の円柱
状結晶）において、その一端面々は光学研磨された平面
であり、他端面は凹面状の半球穴ｎが形成されている。
状結晶）において、その一端面々は光学研磨された平面
であり、他端面は凹面状の半球穴ｎが形成されている。
端面％に蒸着された圧電薄膜３に発振器８から発振され
たＲＦパルス電気信号により、音波伝播体２内に平面波
のＲＦパＪＬ／ス音波が放射される。この平面音波は、
上記半球穴ｎと媒質４（一般に水）との界面で形成され
た音響レンゾにより、所定の焦点におかれた平面的な試
料５の上に集束される。
たＲＦパルス電気信号により、音波伝播体２内に平面波
のＲＦパＪＬ／ス音波が放射される。この平面音波は、
上記半球穴ｎと媒質４（一般に水）との界面で形成され
た音響レンゾにより、所定の焦点におかれた平面的な試
料５の上に集束される。
平面的な試料５は試料５をｘ、ｙ方向に走査する試料台
６に保持され、試料５によって反射、散乱された超音波
は、同じレンズ告こよって集音され平面波に変換されて
音波伝播体２内を伝播し、最終的に圧電薄膜３によりＲ
Ｆ電気信号に変換される。このＲＦ電気信号は、検波器
９によりダイオード検波してビデオ信号に変換され、ブ
ラウン管１０の入力信号として用いられる。これに試料
台の駆動電源１１からの試料位置の情報（ｘ、ｙ）を同
期させることにより、ブラウン管１０上に試料５の観察
画像を表示することができる。
６に保持され、試料５によって反射、散乱された超音波
は、同じレンズ告こよって集音され平面波に変換されて
音波伝播体２内を伝播し、最終的に圧電薄膜３によりＲ
Ｆ電気信号に変換される。このＲＦ電気信号は、検波器
９によりダイオード検波してビデオ信号に変換され、ブ
ラウン管１０の入力信号として用いられる。これに試料
台の駆動電源１１からの試料位置の情報（ｘ、ｙ）を同
期させることにより、ブラウン管１０上に試料５の観察
画像を表示することができる。
また、試料５の位置の移動は、駆動電源１１でモータ１
４．１５を動作させることにより行なう。ここで、モー
タ１２，１３は上述の如く試料を水平２方向に走査させ
るためのモータである。
４．１５を動作させることにより行なう。ここで、モー
タ１２，１３は上述の如く試料を水平２方向に走査させ
るためのモータである。
上記の装置においては、試料５の制約条件として試料台
６の移動範囲により平面的な試料に限られるという欠点
がある。したがって、試料が曲面を有していれば、観察
能力は限られたものになってしまう。
６の移動範囲により平面的な試料に限られるという欠点
がある。したがって、試料が曲面を有していれば、観察
能力は限られたものになってしまう。
本発明の目的は、曲面を有する試ネ１に列して充分な観
察能力を有する試料台を提供する二日こある。
察能力を有する試料台を提供する二日こある。
超音波顕微鏡においては、画像表示は試料位置の情報と
同期させることにより行なうことから、常に平面音波が
所定の焦点におかれれば、試着は平面的なものに限らず
曲面を有していても観察できる点に基き、本発明は試料
を回転式試料台に設置するようにしたものである。
同期させることにより行なうことから、常に平面音波が
所定の焦点におかれれば、試着は平面的なものに限らず
曲面を有していても観察できる点に基き、本発明は試料
を回転式試料台に設置するようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を第１図および第３図により説
明する。第１図の構成は従来のものと同様で、観察すべ
き試料５が本発明では曲面を有するものである。第３図
は、本発明の超音波顕微鏡の構成を示す図である。
明する。第１図の構成は従来のものと同様で、観察すべ
き試料５が本発明では曲面を有するものである。第３図
は、本発明の超音波顕微鏡の構成を示す図である。
曲面を有する試料加は、駆動電源１１によりモータ１２
を介して試料の曲率半径ｒを中心に回転する回転試料台
２１に設置される。Ｘ方向の走査は、駆動電源１１１こ
より探触子部ｌを走査させる駆動機構ｎで行なう。駆動
電源１１は、従来と同じ＜試料位置の情報（Ｘ、γθ）
を出し、ブラウン管１０の入力信号と同期させることに
よりブラウン管１０上優こ画像表示することができる。
を介して試料の曲率半径ｒを中心に回転する回転試料台
２１に設置される。Ｘ方向の走査は、駆動電源１１１こ
より探触子部ｌを走査させる駆動機構ｎで行なう。駆動
電源１１は、従来と同じ＜試料位置の情報（Ｘ、γθ）
を出し、ブラウン管１０の入力信号と同期させることに
よりブラウン管１０上優こ画像表示することができる。
また、試料加位置の移動は、駆動電源１１と駆動機構ｎ
の操作で探触子部ｌを移動することにより相対的に行な
う。上記駆動機構ｎは、試料加の位置合せの可能なＸお
よびＹ方向の移動ができるものである。
の操作で探触子部ｌを移動することにより相対的に行な
う。上記駆動機構ｎは、試料加の位置合せの可能なＸお
よびＹ方向の移動ができるものである。
本実施例によれば、曲面を有する試ネ１−２０に対して
従来と同様に観察可能であり、コンノ＜り１−な試料台
を提供できる。
従来と同様に観察可能であり、コンノ＜り１−な試料台
を提供できる。
なお、円柱あるいはそ姐こ類似したｔｂ状を有する試料
においては、試料自体を回串云する構成、すなわち回転
試料台自体を試料とすることも可能であり、観察のため
の部分的な試料なｆ「成すること゛ なしに試料全域を
観察できる。
においては、試料自体を回串云する構成、すなわち回転
試料台自体を試料とすることも可能であり、観察のため
の部分的な試料なｆ「成すること゛ なしに試料全域を
観察できる。
本発明によれば、曲面を有する試料６３列して充分な観
察能力を有する試料台を提Ｊ（することカメできるとい
う効果がある。
察能力を有する試料台を提Ｊ（することカメできるとい
う効果がある。
第１図は、探触子部の基本構成を示″「断面図、第２図
は、超音波顕微鏡の全体構成を示すｑ１視図、第３図は
、本発明の一実施例を示す＄１視図である。 ２・・・・・・音波伝播体、４・・・・・・媒質、８・
・・・・・７ｉｌ振器、９・・・・・・検波器、１０・
・・・・・ブラウン管、１１・・・・・・駆動電源、１
２・・・・・・モータ、加・・・・・・試料、２１・・
・・・・１ｄ転試ネ１台、ｎ・・・・・・駆動機構 ｆｌｏ ｆ２（ｆＪ １′３図 第１頁の続き
は、超音波顕微鏡の全体構成を示すｑ１視図、第３図は
、本発明の一実施例を示す＄１視図である。 ２・・・・・・音波伝播体、４・・・・・・媒質、８・
・・・・・７ｉｌ振器、９・・・・・・検波器、１０・
・・・・・ブラウン管、１１・・・・・・駆動電源、１
２・・・・・・モータ、加・・・・・・試料、２１・・
・・・・１ｄ転試ネ１台、ｎ・・・・・・駆動機構 ｆｌｏ ｆ２（ｆＪ １′３図 第１頁の続き
Claims (1)
- １、 音波伝播体と、この伝播体の端部に形成された圧
電薄膜と、上記伝播体の他端部に形成され、かつ所定焦
点を有する音波レンズとからなり、上記焦点近傍に設け
られた所定試料からのしよう乱音波により上記試料を撮
像する超音波顕微鏡において、試料台を回転式としたこ
とを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59001902A JPS60146151A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59001902A JPS60146151A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60146151A true JPS60146151A (ja) | 1985-08-01 |
Family
ID=11514505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59001902A Pending JPS60146151A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60146151A (ja) |
-
1984
- 1984-01-11 JP JP59001902A patent/JPS60146151A/ja active Pending
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