JPS6180043A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6180043A JPS6180043A JP59201609A JP20160984A JPS6180043A JP S6180043 A JPS6180043 A JP S6180043A JP 59201609 A JP59201609 A JP 59201609A JP 20160984 A JP20160984 A JP 20160984A JP S6180043 A JPS6180043 A JP S6180043A
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- JP
- Japan
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- sample
- sonic
- scanning
- image
- lens
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- Pending
Links
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 2
- 240000002853 Nelumbo nucifera Species 0.000 description 1
- 235000006508 Nelumbo nucifera Nutrition 0.000 description 1
- 235000006510 Nelumbo pentapetala Nutrition 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、超音波顕微鏡番こ係り、特−こ音波を収束し
て晃信し試料をｌ５ｌ−するものにおいて好適な＃Ｂ音
波顕微富ａに関するものである。
て晃信し試料をｌ５ｌ−するものにおいて好適な＃Ｂ音
波顕微富ａに関するものである。
従来の超音波顕微鏡、例えば＃開昭５０−１１６０５８
号公報等に示される構成におい工は、音波レノスが横方
向に一定間隔離して配置され、各ｆ波しンズの出力はす
べ′Ｖ電子式加算器に供給され、組合せ出力か表示さｎ
るものでみろ。すなわち、各音波レンズの検出信号を加
算して、撮像のコノトラストの向上を図る構成となって
いる。
号公報等に示される構成におい工は、音波レノスが横方
向に一定間隔離して配置され、各ｆ波しンズの出力はす
べ′Ｖ電子式加算器に供給され、組合せ出力か表示さｎ
るものでみろ。すなわち、各音波レンズの検出信号を加
算して、撮像のコノトラストの向上を図る構成となって
いる。
しかし、Ｕ、料中の欠陥をより早（検出するという点に
ついては配意されていなかった。ところで、超音波顕微
鏡で試料保持台、上の試料の微小な欠陥あるいは、あら
かじめ決定さ０た試料の微小な箇所を観察する場合、走
査範囲が狭いため、ｌＩ［微小な箇所を探し決定するこ
とはかなりの苦労を要していた。換言すれば、ｘｍｍノ
ノズ走査１；加振れ得で行なっており、目ずと加復桐に
限界かあり、走査範囲は非常に狭い。したがって、音波
レンズを走査する範囲に比べて、試料面か相対的に＝（
。
ついては配意されていなかった。ところで、超音波顕微
鏡で試料保持台、上の試料の微小な欠陥あるいは、あら
かじめ決定さ０た試料の微小な箇所を観察する場合、走
査範囲が狭いため、ｌＩ［微小な箇所を探し決定するこ
とはかなりの苦労を要していた。換言すれば、ｘｍｍノ
ノズ走査１；加振れ得で行なっており、目ずと加復桐に
限界かあり、走査範囲は非常に狭い。したがって、音波
レンズを走査する範囲に比べて、試料面か相対的に＝（
。
微小な箇所の検出には、二次元的にＸＹステージ等でわ
ずかづつずらしながら、何回か超音ｅ顕微鏡画像を搗り
てはしめて所望の箇所をＭ整出来るのである。したがっ
て、目的とする観察画像を得るために、多大な労力およ
びＢ＃間を鰐するという欠点かめった。
ずかづつずらしながら、何回か超音ｅ顕微鏡画像を搗り
てはしめて所望の箇所をＭ整出来るのである。したがっ
て、目的とする観察画像を得るために、多大な労力およ
びＢ＃間を鰐するという欠点かめった。
本発明の目的とするところは、所望の観察画像を迅速、
かつ、短時間に得ることかできるａｔ波顕微蜆を提供す
ることにある。
かつ、短時間に得ることかできるａｔ波顕微蜆を提供す
ることにある。
〔発明のＲＩＪ２〕
本発明は、画像信号を得る手段であるｔ妓し／ズを８１
数般け、かつ、級各音波し／ズの検知信号によってそれ
ぞれのＩＩＩ察画像画像成する手段を設けたことを特徴
とするものである。
数般け、かつ、級各音波し／ズの検知信号によってそれ
ぞれのＩＩＩ察画像画像成する手段を設けたことを特徴
とするものである。
〔発明の実３ｉ例〕
以下、本発明の一実施例を第１囮、ｔＢ２図により説明
する。同図において、各音波伝播体２（例えはす７アイ
ヤ、ろ英カラス等の円柱状結晶〕はその一端面２１か光
学研磨された平面、他端面か凹面状の半球穴２２となっ
ており、Ｘ刀向走ｆσ）ために設けられた加振器１２の
加振幅とｆｌｌ岱視野の要求範囲から所定の間隔４層れ
たυｌに並んで配置されている。２３は間隔ｄを保つた
めｎ間隔保持部材であり、６らろん剪だ各５波伝播体２
と一体に形成されても拭い。端面２１にｒＡ着された圧
電薄ｐ３に発振器８から発振された島周波パルス電気信
号により音波伝播体２内に平面波の筋周波パルス音波が
放射される。なお、各音波伝播体２には、発振器８から
の筋周波パルス屯気信号が切換スイッチ２４により順次
切換えて供給されるようＣ二なっている。Ｉｒｌ前記を
波伝播体２内の平【超音波は、上記半球７ｃ２２と核質
４（一般に水ンとの境界面で形成された正の音波レンズ
により、所定の焦点におかれた試料台７上σ）試料５の
上に集束される。
する。同図において、各音波伝播体２（例えはす７アイ
ヤ、ろ英カラス等の円柱状結晶〕はその一端面２１か光
学研磨された平面、他端面か凹面状の半球穴２２となっ
ており、Ｘ刀向走ｆσ）ために設けられた加振器１２の
加振幅とｆｌｌ岱視野の要求範囲から所定の間隔４層れ
たυｌに並んで配置されている。２３は間隔ｄを保つた
めｎ間隔保持部材であり、６らろん剪だ各５波伝播体２
と一体に形成されても拭い。端面２１にｒＡ着された圧
電薄ｐ３に発振器８から発振された島周波パルス電気信
号により音波伝播体２内に平面波の筋周波パルス音波が
放射される。なお、各音波伝播体２には、発振器８から
の筋周波パルス屯気信号が切換スイッチ２４により順次
切換えて供給されるようＣ二なっている。Ｉｒｌ前記を
波伝播体２内の平【超音波は、上記半球７ｃ２２と核質
４（一般に水ンとの境界面で形成された正の音波レンズ
により、所定の焦点におかれた試料台７上σ）試料５の
上に集束される。
そし℃、拭ｔＡ５によって反射、散乱された超音波は、
前述の音波し７ズｆ二よって集音され平面波に度換され
てけ波伝播体２内を伝搬し、耐経的に圧電薄膜３により
高局波九気（Ｈ号に戻換される。二の凡ｒ：＠ｒＢＬ電
気イざ号は検鼓器９によりダイオード検波してビデオ（
ｉ！”；に変換されブラウンＱＩＯの人力信号とじ１用
いる。該ビデオ＜Ｍすと試ネ４台駆動電源１１からの試
料位置の情報（ｘ、ｙ）と同期することにより、ブラウ
ン管１０上にそｎぞれ画像表示する二とかできる。本実
施例によれば、従来の観察視野の倍の情報か優られたこ
とにかるのである。
前述の音波し７ズｆ二よって集音され平面波に度換され
てけ波伝播体２内を伝搬し、耐経的に圧電薄膜３により
高局波九気（Ｈ号に戻換される。二の凡ｒ：＠ｒＢＬ電
気イざ号は検鼓器９によりダイオード検波してビデオ（
ｉ！”；に変換されブラウンＱＩＯの人力信号とじ１用
いる。該ビデオ＜Ｍすと試ネ４台駆動電源１１からの試
料位置の情報（ｘ、ｙ）と同期することにより、ブラウ
ン管１０上にそｎぞれ画像表示する二とかできる。本実
施例によれば、従来の観察視野の倍の情報か優られたこ
とにかるのである。
こうして試料５の微小な欠陥あるいは、あらかじめ決定
さｎた試料５の微小な箇所を、試料位置の移動を駆動電
源１１でモータ１４，１５を動作させて行ないながら探
していくのである。二こで１２および１３は試料を水工
２方向に走査させろための加振器およびモータである。
さｎた試料５の微小な箇所を、試料位置の移動を駆動電
源１１でモータ１４，１５を動作させて行ないながら探
していくのである。二こで１２および１３は試料を水工
２方向に走査させろための加振器およびモータである。
このような構成によｎば、従来のものに比べて観察範囲
が設置した音波伝播体２の数に比例して広くなるため、
目ＦＪとするｒＡ）ｌｉｌＩｌ像が迅速、かっ短１１３
間にＩｔ） ｃ）ｎる。
が設置した音波伝播体２の数に比例して広くなるため、
目ＦＪとするｒＡ）ｌｉｌＩｌ像が迅速、かっ短１１３
間にＩｔ） ｃ）ｎる。
なお、前記実施例においては、複数のブラウン′ｒ１１
０に各音波伝播体２の検知結果を表示する構成となりで
いるか、該ブラウン管１０を一個にして切換えて開用し
てもよい。また１発信然８を複数設置し″！：周数数の
興なる観察を一反に行たつこともてきる。
０に各音波伝播体２の検知結果を表示する構成となりで
いるか、該ブラウン管１０を一個にして切換えて開用し
てもよい。また１発信然８を複数設置し″！：周数数の
興なる観察を一反に行たつこともてきる。
以上説明したように本発明によれは、所望の観察１Ｔｌ
Ｉ像を迅速、かつ、短時間に得る二とができる。
Ｉ像を迅速、かつ、短時間に得る二とができる。
第１図は本発明による超音ｅ顕微鏡グ）一実施例を示す
回路図、第２図は第１因の超音波釦徴鏡の音波伝播体の
！ｌＴｌ１Ｉ１図である。
回路図、第２図は第１因の超音波釦徴鏡の音波伝播体の
！ｌＴｌ１Ｉ１図である。
Claims (1)
- １、発信器からのパルス信号によって超音波を試料へ発
信し、かつ、試料からのじょう乱音波を受信する音波レ
ンズと、試料を支持する試料台と、前記音波レンズおよ
び試料との間で相対的な走査を行なう走査手段と、前記
音波レンズで受信した検知結果と前記走査手段の走査位
置とを付合せ画像を形成する画像形成手段と、該画像形
成手段によって得られた画像を表示する表示手段とから
成る超音波顕微鏡において、前記音波レンズを複数設置
し、かつ、前記画像形成手段を前記各音波レンズに対応
させて設置したことを特徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59201609A JPS6180043A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59201609A JPS6180043A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6180043A true JPS6180043A (ja) | 1986-04-23 |
Family
ID=16443893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59201609A Pending JPS6180043A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6180043A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010075254A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Kyoraku Sangyo Kk | パチンコ遊技機 |
| JP2014023842A (ja) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | Newgin Co Ltd | 遊技機 |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP59201609A patent/JPS6180043A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010075254A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Kyoraku Sangyo Kk | パチンコ遊技機 |
| JP2014023842A (ja) * | 2012-07-30 | 2014-02-06 | Newgin Co Ltd | 遊技機 |
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