JPS60146645U - 研摩装置 - Google Patents

研摩装置

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JPS60146645U
JPS60146645U JP1984034967U JP3496784U JPS60146645U JP S60146645 U JPS60146645 U JP S60146645U JP 1984034967 U JP1984034967 U JP 1984034967U JP 3496784 U JP3496784 U JP 3496784U JP S60146645 U JPS60146645 U JP S60146645U
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JP
Japan
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polishing
polishing equipment
facing
plate
polishing plate
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Pending
Application number
JP1984034967U
Other languages
English (en)
Inventor
重伸 和田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS60146645U publication Critical patent/JPS60146645U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来用いられている回転式の研摩装置の一例を
示す段面図で、ａは高速回転で内周部の・研摩液が無（
なった状態、ｂは板を入れた状態を表わしている。第２
図は本考案の研摩装置の一実施例を示す斜視図である。 第３図は第２図の整流容器の構造を説明するための斜視
図である。第４図は本考案の研摩装置による研摩液の流
れの模式図において１は研摩皿、２は垂直軸、３は容器
、４は研摩液、５は研摩クロス、６はホルダ、７はホル
ダ軸、８は基板、９は板、１０は整流容器、１１は支柱
、１２は支持板、１３は開口部、１４は穴を表わす。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転する研摩皿に被加工物を対向させて研摩を行なう装
    置において、研摩皿の上方に研摩液流に対向して設けら
    れた開口部と研摩皿に面した部分に穴を有する容器を備
    えることを特徴とする研摩装置。
JP1984034967U 1984-03-12 1984-03-12 研摩装置 Pending JPS60146645U (ja)

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JP1984034967U JPS60146645U (ja) 1984-03-12 1984-03-12 研摩装置

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JP1984034967U JPS60146645U (ja) 1984-03-12 1984-03-12 研摩装置

Publications (1)

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JPS60146645U true JPS60146645U (ja) 1985-09-28

Family

ID=30538824

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JP1984034967U Pending JPS60146645U (ja) 1984-03-12 1984-03-12 研摩装置

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