JPS60151809A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （（）産業上の利用分野 本発明は８ミリビデオ等の装置に利用できる磁気ヘッド
の製造方法に関する。

（ロ）従来技術 ８ミリビデオは装置の小型化を徹底するため高抗磁力を
有する磁気テープと高飽和磁束を呈するコア材を持つ磁
気ヘッドを組合せて稠密磁気記録を行なうようにしてい
る。

この種の磁気ヘッドとしてはセンダスト（Ｆθ−８ｉ−
Ａｌ：合金）材よりなシ厚さがトラック巾（例えば２０
μｍ）に一致するセンタコアの両側に、該センタコアの
フロントギャップ付近に対して非磁性体部を設けその他
の部分を酸化物磁性材で構成している１組の補助コアを
付加してなるものが公知（例えば特開昭５７−１５８０
１０号公報診照）であるが、この磁気ヘッドはセンタコ
アと補助コアとをそれぞれコア準位で加工成形すること
で製造されるものであり、大量生産に適さない。

一方、上部にフロントギャップを持つ金属磁性材料より
なるブロックを配し下部に酸化物磁性材料よりなるブロ
ックを配して両ブロックを接合し、その後コアチップに
分断成形する方法が特開昭５６−１１４１１４号公報に
示されていて、これであれば上記製法に比べて生産性が
向上すると認められる。しかし、この磁気ヘッドはトラ
ック巾を規定するため上記コアをフロントギャップ部に
おいて絞り込む構成としているので、この磁気ヘッドの
使用時、フロントギャップ付近が集中荷重を受けて摩滅
し寿命特性が劣るという欠点がある。

（ハ）発明の目的 本発明は以上の点に鑑み彦されたもので、金属磁性材料
よりなるコアをその両側からガラスで挾むタイプの磁気
ヘッドを大量に生産するのに適する磁気ヘッドの製造方
法を提供しようとするものである。

に））発明の構成 本発明は以下の工程［ａｌ〜ｔｇ＋を含む磁気ヘッドの
製造方法である。

（ａ）２枚の金属磁性材料（例えばＦθ−ＡＩ！−８ｉ
合舒）よシなるウェハを中間に非磁性材の膜を挾んで付
き合わせ、両ウェハを該ウェハの少なくとも一方に開設
した条溝を利用して結合材（例えば銀ロウ）を溶着する
ことにより一体化して第１ブロツクを形成する工程と、 （′ｂ）　この第１ブロツクの一面から上記条溝に交差
する方向に複数の溝を、隣接する溝間にトラック巾に一
致する巾のランド部を残して開設する工程と、 ｔｃ＋　上記複数の溝内に上記ｉ［磁性材料の熱膨張係
数に近い（又は一致する）物理特性を有するガラスを充
てんする工程と、 （ａｌ　酸化物磁性材料よりなる第２ブロツクの平面に
コイル窓となる条溝を開設する工程と、（ｅｌ　この第
２ブロツクの上記平面上に上記第１ブロツクを上記複数
の溝が上記第２ブロツクの条溝に交差して向かい合うよ
うに載せ両ブロックを一体化して第６ブロツクを形成す
る工程と、［ｆｌ　この第３ブロツクに付いて上記複数
の溝の溝底を含む上部を除去しさらにこの除去加工面を
Ｒ付は加工してフロントギャップの深さを規制する工程
と、 ［ｇｌ　上記第６ブロツクを上記複数の溝に沿って上記
ランド部がはソ中央部に残るように分断する工程と、で
ある。

咋１実施例 第１図〜＄３図は工程ｔａｌを説明するものである。

センダス？（Ｆθ−Ａｌ−８ｉ合金）よりなるウェハ（
１１を用意しその一面（１１Ｌ）上に適当なスペース（
２）を９けて２本の平行な条溝１ａ）ｉｂ）をボラゾン
島粒ブレードを用いて開設する。各条溝１ａ）（３’ｂ
）は断面がＶ字状に成形されており、一方の条溝例えば
条溝（５ａ）の中側の口縁すなわち稜線（４）は厳密に
規定する。磁気ヘッドのフロントギャップの下端いわゆ
るデプヌエンドとなるからである。上記各条溝の開設後
、上記−面（１ａ）をラッピング及びポリシングにより
鏡面に研磨し、研磨面上に非磁性材（例えば５１０２）
の薄膜（５）をギャップ長に相当する厚さく例えば０．
２５〜０．５５μｍ）だけスパッタリング或いは蒸着法
で付設する。このように加工したウェハ（１）を、もう
一つのセンダスト製ウェハ（６）の鏡面研磨されている
′−面（６ａ）上に鏡面どおしが向かい合うように載せ
、条溝（３ａ）（５１））内に銀ロウのワイヤ（７）を
入れる。そして、真空中（或いはＮ２、Ａｒ等の中性雰
囲気ガス中）でこれら両つェ八（１１（６１を加圧、加
熱して上記ワイヤで溶着させ１点鎖線（Ｘ＋）（Ｎ２）
で不要部分（Ｎｌ）（Ｎ２）を除去して第１ブロツク（
Ｂ１）を得る。本実施例では、固相線温度約６８０℃、
液相線温度約７５０℃のＡｇ−０ｕ−Ｚｎの三元系合金
の銀ロウ材を用い、Ｎ２ガス雰囲気中で最高温度約８０
０℃で溶着を行なった。（８）は結合材（銀ロウ）層で
ある。尚、以上の溶着法とは別に上記各条溝１ａ）（′
５ｔ））内に予め銀ロウ材を充てんしておき、この銀ロ
ウ材を用いて２枚のウェハを結合するようにしても良い
。

第４図、＠５図は工程（１）ｌ、１０１により成形され
た第１ブロツクの斜視図を示すものである。第１ブロツ
ク（Ｂ１）の１面（Ｂｌｌ）から上記各条溝１ａ）（５
１））に交差する方向（例えば垂直）に複数の溝（９番
）〜（９θ）を、隣接する溝間にトラック中ｔＴｌに一
致する巾のランド部（１０ａ）〜（１０α）を残して、
例えばボラゾン臓石（す１０００〜２０００程度）によ
る研削あるいはワイヤーソー等に研磨（Ｇｏす４０００
〜６０００程度）によって開設する。尚、この溝（９ａ
）〜（９ｅ）の深さ方向の直線部分は最終完成品の磁気
ヘッドのギャップ深さく第７図Ｄ）以上にする必要があ
る。フロントギャップｆＦｌのデプスエンドに達する迄
、トラック中を一定に維持するためである。

この開設された溝（９ｅＬ）〜（９ｅ）内にウェハ（１
１＋６＋の熱膨張係数（通常１３０〜１５０Ｘ１０７ Ｚｏ程度）に一致又は近い熱膨張係数を持ち、かつ、作
業温度が溶着用銀ロウ杓の固相線温度より１００℃程度
以上低いがラス０υを溶融光てんする。本実施例でのガ
ラス旧）は、組成が重ｔ％で、Ｐｂ０５Ｑ、５ｉ０２３
Ｑ、に２０１５、Ｎａ２Ｏ５であシ、熱膨張係数が約１
３５×１０−７／、Ｃ１軟化温度約４５０℃、作業温度
約５５０℃である。

このガラス材を熱処理最高温度を６５０℃にし、Ｎ２ガ
ス雰囲気中で溶融光てんさせている。尚、第１ブロツク
（Ｂ１）は余分にはみ出したガラスを除去し、さらに上
面（Ｂ１１　）は研磨加工により平面度良く仕上げる。

第６図は工程［（１１により得られた第２ブロツクの斜
視図である。この第２ブロツク（Ｂ２）は酸化物磁性材
料（例えば磁性フェライト）で構成されていて、平面（
Ｂ２１）上にコイル窓間）（第８図）となる条溝（１２
＋をダイヤモンド龜石の研ＩＱ１１加工により開設して
いる。さらに、この平面（Ｂ２１）を研磨加工によシ平
面度良く仕上げておく。

第７図は工程（ｅｌ、ｉｆｌ及びｆｇｌを説明するため
の第３ブロツクの斜視図である。第２ブロツク（Ｂ２）
の平面（Ｂ２＋）上に第１ブロツク（Ｂ１）の上面（Ｂ
＋１）を、条溝０りと複数の溝（９ａ）〜（９θ）が直
交するように向かい合わせて載せ、真窒若しくはＮ２雰
囲気中で両ブロック（Ｂ１）（Ｂ２）を加圧した状態で
熱処理を行ない、両ブロック（Ｂｌ）（Ｂ２）をガラス
ＯＤで溶着して第３ブロツク（Ｂ３）を得る。この溶着
時の溶着最高温度はガラスｔｔＵの軟化温度から５０℃
程度高い温度が望ましい。流動性が大きくなりすぎると
条溝（１３内にガラスが流入するからである。

両ブロック（Ｂｊ）（Ｂ２）を一体化するに際して本実
施例とは別に餉２ブロックｆＢｌの平面（Ｂ２１）上に
上記ガラスに比べて軟化点が同じか低いガラス材による
膜を付設しておき、このガラス膜を用いるようにしても
良い。

第６ブロツク（Ｂ５）に付いて、図中１点鎖線（Ｎ３）
で示すように複数の溝（９ａ）〜（９θ）の溝底を除去
するように加工して上部（Ｎ３）を除去する。さらに１
点鎖線（Ｎ４）で示すように所望のギャップ深さ＋ＤＩ
を確保しながら後加工でテープ対接面となる面にＲ付は
加工を行なう。次いで、１点鎖線（Ｎ５）で示す様に複
数の溝の各溝に沿って上記ランド部（１０Ｒ，）〜（１
０ｉ）を残すようにワイヤーソー等を用いてスシインン
グを行なう。このスクィシングの方向をフロントギャッ
プの法線方向から所定角度ずＣ〕すことにより、いわゆ
るアジムス角をもたせるようにすることができる。

第８図は切り出されたコアチップに付き厚み加工等を施
してなるものの斜視図を示している。このコアテップは
フロントギャップｉＦｌ　’ｃ有するセンダスト製コア
ＣＪＩの両側にガラス圓を配してなる前部コア轡と、フ
ェライトよりなる後部コア０３１とよす構成されている
。このコアチップをヘッドベースに取付け、コイルを付
設し、さらに回転体に取付けてテープ当接面をＲ付は加
工して完成品の磁気ヘッドが構成される。

第９図は他の実施例の第１ブロツクの斜視図である。こ
れは２枚のウェハの溶着を銀ロク材で行なう代りに、各
々のウェハｅ’１１０１１がそれぞれ別個に溝ｔ３２１
　Ｃ３３）を設け、この溝Ｃ３２θ３）内へのがラス０
ａの充てんと同時にウニ八衝合面間へのガラス浸透を行
なうようにしてもよい。尚溝ｃ３５１は浸透用ガラスの
案内溝である。

（へ）発明の効果 本発明は金属磁性材料を中心材とする第１ブロツクと酸
化物磁性材料よりなる第２ブロツクを結合してなる第３
ブロツクをベースに多数のコアチップを切り出す方法で
あるのでセンタコアと補助コアをコア単位で組立てる従
来例に比べて著しく生産性を向上することができる。又
、第１ブロツクのトラック巾を規定する溝内にガラスを
充てんしてこのガラスで磁気ヘッドのフロントギャップ
付近を裏当てする構成としているので機械強度に秀れた
磁気ヘッドを歩留り良く製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図は＄１ブロックを得る工程１ａ
ｌの説明図、第４図、第５図は工程！ｂ１＋０１により
成形された第１ブロツクの斜視図、第６図は工程［ｄｌ
により得られた第２ブロツクの斜視図、第７図は工程（
ｅｌｌｆｌｌｇｌを説明するための第３ブロツクの斜視
図、第８図は１つのコアチップの斜視図、第９図は＄１
ブロックの他の実施例の斜視図である。 主な符号の説明 （Ｂ１）・ｆｉ１ブロック、（９ａ）　〜（９ｅ）・・
・複数の溝、（ｔＯａ）〜（１０（Ｌ）・・・ランド部
、任υ・・・ガラス、（Ｂ２）・・・第２ブロツク、［
Ｗ＋・・・コイル窓、（Ｂｇ）…第３ブロック。 出願人　三洋電機株式会社 代理人　弁理士　佐　野　靜　夫 特開昭ＧＯ−１５１８０９（５）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．２枚の金属磁性材料よりなるウェハを中間に非磁性
   材の膜を挾んで付き合わせ、両ウェハを該ウェハの少な
   くとも一方に開設した条溝を利用して結合材を溶着する
   ことにより一体化して第１ブロツクを形成する工程と、
   この第１ブロツクの一面から前記条溝に便蓋する方向に
   複数の溝を、隣接する溝間にトラック巾に一致する巾の
   ランド部を残して開設する工程と、前記複数の溝内に前
   記金属磁性材料の熱膨張係数に近い（又は一致する）物
   理特性を有するガラスを充てんする工程と、酸化物磁性
   材料よりなる第２ブロツクの平面にコイル窓となる条溝
   を開設する工程と、この第２ブロツクの前記平面上に前
   記第１ブロツクを前記複数の溝が前記第２ブロツクの条
   溝に便蓋して向かい合うように載せ画ブロックを一体化
   して第６ブロツクを形成する工程と、この第３ブロツク
   に付いて前記複数の溝の溝底を含む上部を除去しさらに
   この除去加工面をＲ付は加工してフロントギャップの深
   さを規制する工程と、前記第６ブロツクを前記複数の溝
   に活って上記ランド部がはソ中央部に残るように分断す
   る工程とを備えてなる磁気ヘッドの製造方法。