JPS60152972U - バ−ンイン装置 - Google Patents
バ−ンイン装置Info
- Publication number
- JPS60152972U JPS60152972U JP4263184U JP4263184U JPS60152972U JP S60152972 U JPS60152972 U JP S60152972U JP 4263184 U JP4263184 U JP 4263184U JP 4263184 U JP4263184 U JP 4263184U JP S60152972 U JPS60152972 U JP S60152972U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burn
- microcomputer
- power supply
- chamber
- current detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はこの考案のバーンイン装置の一実施例の主要部
の構成を示すブロック図、第２図は上記実施例に用いる
リーク電流検出手段の一例の回路動作を説明するための
回路図である。 １・・・バーンインチャンバ、１′・・・ケーシング、
３・・・バーンイン基板、４・・・電源導体、５・・・
直流電源、６・・・集中制御・管理部、７・・・マイク
ロコンピュータ、９・・・リーク電流検出手段、１０・
・・警報灯（第２警報手段）、１１・・・ブザー（警報
手段）。
の構成を示すブロック図、第２図は上記実施例に用いる
リーク電流検出手段の一例の回路動作を説明するための
回路図である。 １・・・バーンインチャンバ、１′・・・ケーシング、
３・・・バーンイン基板、４・・・電源導体、５・・・
直流電源、６・・・集中制御・管理部、７・・・マイク
ロコンピュータ、９・・・リーク電流検出手段、１０・
・・警報灯（第２警報手段）、１１・・・ブザー（警報
手段）。
Claims (3)
- （１）バーンインチャンバと、このバーンインチャンバ
に装入されるバーンイン基板用の直流電源装置と、マイ
クロコンピュータを有するバーンイン条件設定、信号処
理および集中管理のための集中制御・管理部とで構成さ
れたバーンイン装置において、バーンイン基板中の電源
導体から接地されたバーンインチャンバのケーシングへ
の少な（とも一過性のリーク電流によって作動し、その
作動を示す信号をマイクロコンピュータに供給するリー
ク電流検出手段を設け、この信号が所定条件に達した時
、マイクロコンピュータによって警報手段を作動させる
ようにしたことを特徴とするバーンイン装置。 - （２）上記リーグ電流検出手段の入力側または一次側を
上記直流電源装置の接地端子とマイナス端子との間に接
続し、出力側または２次側に生じる信号を上記マイクロ
コンピュータに入力するようにした実用新案登録請求の
範囲第１項記載のバーンイン装置。 - （３）上記警報手段とは別に、上記リーク電流検出手段
が作動した時には常に作動する第２の警報手段を設けた
実用新案登録請求の範囲第１項記載のバーンイン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4263184U JPS60152972U (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | バ−ンイン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4263184U JPS60152972U (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | バ−ンイン装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60152972U true JPS60152972U (ja) | 1985-10-11 |
| JPS64614Y2 JPS64614Y2 (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=30553566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4263184U Granted JPS60152972U (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | バ−ンイン装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60152972U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018207270A1 (ja) * | 2017-05-09 | 2018-11-15 | 株式会社ダイチューテクノロジーズ | 記憶媒体の評価試験装置 |
-
1984
- 1984-03-21 JP JP4263184U patent/JPS60152972U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018207270A1 (ja) * | 2017-05-09 | 2018-11-15 | 株式会社ダイチューテクノロジーズ | 記憶媒体の評価試験装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS64614Y2 (ja) | 1989-01-09 |
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