JPS64614Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、集積回路やその他の電子デバイス
等の処理、試験に用いられるバーンイン装置の改
良に関するものである。

現在、集積回路は様々な種類および集積度のも
のが幾多の分野において大量に使用され、その生
産量も飛躍的に増大している。これらの集積回路
およびこれに類似の電子デバイスは、一般に、製
造後バーンイン装置にかけられて、特性安定化の
ためのならしや、波形チエツクによる機能試験、
信頼性試験等が行なわれる。これらのバーンイン
処理および試験は、ガラス繊維強化エポキシ樹脂
等で形成されたバーンイン基板に多数の集積回路
等の被検物を装着して恒温槽からなるバーンイン
チヤンバに入れ、たとえば200℃±３℃というよ
うな高温下に相当長時間保ちつつバーンイン基板
を通じて被検物に通電することにより行なわれ
る。また、バーンイン条件の設定や被検物の良・
否等のモニタリングは所定プログラムによりマイ
クロコンピユータ等を用いて行なわれる。

しかしながら、従来のバーンイン装置において
は、バーンインチヤンバ内において常時高温に曝
されるバーンイン基板中の電源導体とケーシング
またはこれに設けられた基板用ガイドレールまた
はラツクとの間にアークが発生することがあり、
特に高温におけるバーンイン炉の稼働度が高くな
つてバーンイン基板が摩耗、変質等により劣化す
るとアークが発生し易くなり、集積回路等の被検
物が損なわれるのみならず、高温下におけるアー
ク発生によつてバーンインチヤンバを焼損した
り、極端な場合は火災を招くという危険性があ
る。

この考案は、上記の事情に鑑みなされたもの
で、その目的は、バーンイン基板の劣化によるバ
ーンインチヤンバ内のアークの発生を未然に感知
して、火災等の危険性をなくし、安全性を高めた
バーンイン装置を提供することにある。

この考案は、バーンインチヤンバと、このバー
ンインチヤンバに装入されるバーンイン基板用の
直流電源装置と、マイクロコンピユータを有する
バーンイン条件設定、信号処理および集中管理の
ための集中制御・管理部とで構成されたバーンイ
ン装置において、バーンイン基板中の電源導体か
ら接地されたバーンインチヤンバのケーシングへ
の少なくとも一過性のリーク電流によつて作動
し、その作動を示す信号をマイクロコンピユータ
に供給するリーク電流検出手段を設け、この信号
が所定条件に達した時、マイクロコンピユータに
よつて警報手段を作動させるようにしたことを特
徴とする。なお、この警報器とは別に、上記リー
ク電流検出手段が作動した時には常に作動する警
報手段を設けるようにしてもよい。

以下、この考案のバーンイン装置の一実施例に
ついて図面を参照しつつ詳細に説明する。

第１図において、バーンインチヤンバ１はその
ケーシング１′およびバーンイン基板３用のラツ
クまたはガイドレール２と共に接地されており、
バーンイン基板３に装着された多数のICよりな
る被検負荷DUTには基板３中に設けられた電源
導体４を介して直流電源装置５より一定電圧が供
給される。図中６はCRT表示装置７′、プリンタ
７″等を有するマイクロコンピユータ７および集
中管理装置８で構成された集中制御・管理部で、
この集中制御・管理部６により設定されたバーン
イン条件下においてDUTに通電し、バーンイン
処理および試験が行なわれる。なお、バーンイン
チヤンバ１内には温度センサ、煙センサ等（図示
せず）が備えられており、これらのセンサの出力
はマイクロコンピユータ７に接続される。

直流電源装置５の接地端子とマイナス端子
との間には微弱な電流で作動するリーク電流検出
手段９の一次側または入力側が接続されており、
上記のようなバーンイン処理・試験中に、たとえ
ば符号Ｘで示す点において電源導体４から基板用
ガイドレール２へ僅かでもリーク電流が生じ、ア
ークが発生する状態になると、図中に破線で示す
ような閉路が形成され、その電流によつてリーク
電流検出手段が作動し、その二次側または出力側
に生じる信号がマイクロコンピユータ７に供給さ
れる。マイクロコンピユータ７はあらかじめこの
信号が所定条件に達した時にのみブザー１１を作
動させるよう設定されており、リーク電流が一過
性の瞬間的なものである場合はブザー１１は作動
しないが、リーク電流が一定時間持続するか、あ
るいは一定時間内にリークが所定回数以上発生す
る等の条件が満たされると、ブザー１１が作動す
るので、オペレータはその場合だけ装置の運転を
停止し、バーンイン基板の調整、交換等、必要な
処置をすればよい。なお、符号１０はリーク電流
が発生する都度点灯する警報灯である。

次に、上記リーク電流検出手段の回路構成の具
体例について第２図を参照しつつ説明する。

図示実施例において、リーク電流検出手段は微
弱電流がコイルL₁を流れるとスイツチ接点S₁が
閉じる（破線側）電磁スイツチ１２、およびスイ
ツチ接点S₁を介してDC12ボルトが供給されると、
コイル１３′によつてスイツチ接点S₂，S₃を閉じ
るリレー１３で構成されている。電磁スイツチ１
２のコイルL₁は接点ヒユーズＦを介して直流電
源装置５の接地端子とマイナス端子との間に
接続されており、第１図において説明したように
符号Ｘで示す点においてリーク電流が生じると、
破線の矢印で示す閉路を流れる電流によつて励磁
され、スイツチ接点S₁を閉じる（破線側）。する
と、DC12ボルトによりコイル１３が励磁されて、
スイツチ接点S₂，S₃が閉じる（破線側）。

スイツチ接点S₂が閉じると、ソリツドステー
ト・リレー１４の一次側に感度調節用可変抵抗器
R₁を介してDC12ボルトが供給され、２次側に
AC100ボルトの閉路が形成されて、警報灯１０が
点灯する。また、スイツチ接点S₃が閉じると、コ
ンデンサC₁の放電路が形成され、マイクロコン
ピユータ７に負パルスが供給される。しかしなが
ら、マイクロコンピユータ７はこのパルスが一過
性の瞬間的なものである場合はこれに応動する出
力を全く発生せず、このパルスが一定時間持続す
るか、または一定時間内に所定数以上発生する等
の所定条件に達した時にのみスイツチングトラン
ジスタ１５に作動信号を供給し、その負荷回路に
接続されたブザー１１を作動させるようプログラ
ム設定されている。

以上説明したように、この考案のバーンイン装
置によれば、バーンイン基板の摩耗、変質等の劣
化に伴なつて基板の電源導体とバーンインチヤン
バのケーシングまたはガイドレールとの間にアー
クが発生する状態になると、これを未然に検知し
て適切な処置を取ることができるため、安全性、
装置の保全性はもとより、運転効率を著しく改善
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案のバーンイン装置の一実施例
の主要部の構成を示すブロツク図、第２図は上記
実施例に用いるリーク電流検出手段の一例の回路
動作を説明するための回路図である。 １……バーンインチヤンバ、１′……ケーシン
グ、３……バーンイン基板、４……電源導体、５
……直流電源、６……集中制御・管理部、７……
マイクロコンピユータ、９……リーク電流検出手
段、１０……警報灯（第２警報手段）、１１……
ブザー（警報手段）。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) バーンインチヤンバと、このバーンインチヤ
   ンバに装入されるバーンイン基板用の直流電源
   装置と、マイクロコンピユータを有するバーン
   イン条件設定、信号処理および集中管理のため
   の集中制御・管理部とで構成されたバーンイン
   装置において、バーンイン基板中の電源導体か
   ら接地されたバーンインチヤンバのケーシング
   への少なくとも一過性のリーク電流によつて作
   動し、その作動を示す信号をマイクロコンピユ
   ータに供給するリーク電流検出手段を設け、こ
   の信号が所定条件に達した時、マイクロコンピ
   ユータによつて警報手段を作動させるようにし
   たことを特徴とするバーンイン装置。 (2) 上記リーク電流検出手段の入力側または一次
   側を上記直流電源装置の接地端子とマイナス端
   子との間に接続し、出力側または２次側に生じ
   る信号を上記マイクロコンピユータに入力する
   ようにした実用新案登録請求の範囲第１項記載
   のバーンイン装置。 (3) 上記警報手段とは別に、上記リーク電流検出
   手段が作動した時には常に作動する第２の警報
   手段を設けた実用新案登録請求の範囲第１項記
   載のバーンイン装置。