JPS60154602A - 多層磁性膜 - Google Patents
多層磁性膜Info
- Publication number
- JPS60154602A JPS60154602A JP1007984A JP1007984A JPS60154602A JP S60154602 A JPS60154602 A JP S60154602A JP 1007984 A JP1007984 A JP 1007984A JP 1007984 A JP1007984 A JP 1007984A JP S60154602 A JPS60154602 A JP S60154602A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic flux
- alloy
- flux density
- materials
- magnetic film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Heads (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は磁気ヘッド用材料に適した高飽和磁束密度で高
透磁率の磁性材料に関する。
透磁率の磁性材料に関する。
従来のヘッド用磁性材料としては透磁率が高いことが要
求され、Ｍ ｎ Ｚ ｎフェライト、 Ｎｉ −Ｚ ｒ
ｒフェライトなどフェライト系材料、 Ｎ ｉ −Ｆｅ
結晶質合金、Ｃｏ−Ｎｂ−Ｚｒ非晶質合金など合金系材
料が知られているが、フェライト系材料は飽和磁束密度
が約５ＫＧ程度以下、合金系材料でも〜ｌ０ＫＧ程度以
下と低く、ヘッドを作った場合、十分な記録再生特性が
得られないことがあった。とくに高密度領域では記録媒
体の厚み方向に十分な記録ができないという欠亦があり
、・１０ＫＧ以上の高飽和磁束密度のヘッド材料の開発
が望まれていた。
求され、Ｍ ｎ Ｚ ｎフェライト、 Ｎｉ −Ｚ ｒ
ｒフェライトなどフェライト系材料、 Ｎ ｉ −Ｆｅ
結晶質合金、Ｃｏ−Ｎｂ−Ｚｒ非晶質合金など合金系材
料が知られているが、フェライト系材料は飽和磁束密度
が約５ＫＧ程度以下、合金系材料でも〜ｌ０ＫＧ程度以
下と低く、ヘッドを作った場合、十分な記録再生特性が
得られないことがあった。とくに高密度領域では記録媒
体の厚み方向に十分な記録ができないという欠亦があり
、・１０ＫＧ以上の高飽和磁束密度のヘッド材料の開発
が望まれていた。
本発明の目的は高透磁率で高飽和磁束密度の材料、特に
磁気ヘッド用として適した４料を提供することにある。
磁気ヘッド用として適した４料を提供することにある。
従来、一般に高飽和磁束密度の材料は透磁率が低く、透
磁率が高い材料は飽和磁束密度が低い傾向にあり、どち
らもヘッド材料としては不満足なものであった。
磁率が高い材料は飽和磁束密度が低い傾向にあり、どち
らもヘッド材料としては不満足なものであった。
本発明においては、低透磁率で高飽和磁束密度の材料を
、反強磁性体と積層することによって高透磁率で高飽和
磁束密度の積層膜を得る。
、反強磁性体と積層することによって高透磁率で高飽和
磁束密度の積層膜を得る。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。主材
料となる高飽和磁束密度材料として、飽和磁束密度が］
、７ＫＧのＦｅ−６，５ｗｔ％Ｓｉ−１ｗ ｔ％Ｒｕ合
金、中間膜となる反強磁性体とじてＦｅ−５５ｗｔ％Ｍ
ｎ合金を用いた。Ｆｅ−６，５ｗｔ％Ｓ ｉ −Ｊ ｗ
ｔ％Ｒｕ合金の一層の厚みを０．１７；ｔｍ一定とし
、Ｆｅ−５５ｗｔ％合金−ｍの厚みをｔとし、くりかえ
し積層した膜の透磁率μ（曲線］）を図に示しす。なお
ここでは全膜厚が約２μｍとなるようにした。Ｆ’ ｃ
−３ｉ −Ｒｎ合金、 Ｆ ａ −Ｍ’ｎ合金とも高周
波スパッタ法により形成した。各層は真空を砿らずに形
成した。参考のため、Ｆ ｅ −Ｍ ｎ合金のかわりに
中間膜に強磁性体であるＦｅ、非磁性体であるＡＱを用
いたときの特性を曲線２および３に示す。中間膜が〜２
０Δ以下と薄い場合は中間膜の効果はほとんどなく、単
一のＦｅ−８ｔ−Ｒｕ合金膜と同様、透磁率が低い。数
１０Ａ以上で積層の効果があり、さくに反強磁性体の効
果が大であることがわかる。
料となる高飽和磁束密度材料として、飽和磁束密度が］
、７ＫＧのＦｅ−６，５ｗｔ％Ｓｉ−１ｗ ｔ％Ｒｕ合
金、中間膜となる反強磁性体とじてＦｅ−５５ｗｔ％Ｍ
ｎ合金を用いた。Ｆｅ−６，５ｗｔ％Ｓ ｉ −Ｊ ｗ
ｔ％Ｒｕ合金の一層の厚みを０．１７；ｔｍ一定とし
、Ｆｅ−５５ｗｔ％合金−ｍの厚みをｔとし、くりかえ
し積層した膜の透磁率μ（曲線］）を図に示しす。なお
ここでは全膜厚が約２μｍとなるようにした。Ｆ’ ｃ
−３ｉ −Ｒｎ合金、 Ｆ ａ −Ｍ’ｎ合金とも高周
波スパッタ法により形成した。各層は真空を砿らずに形
成した。参考のため、Ｆ ｅ −Ｍ ｎ合金のかわりに
中間膜に強磁性体であるＦｅ、非磁性体であるＡＱを用
いたときの特性を曲線２および３に示す。中間膜が〜２
０Δ以下と薄い場合は中間膜の効果はほとんどなく、単
一のＦｅ−８ｔ−Ｒｕ合金膜と同様、透磁率が低い。数
１０Ａ以上で積層の効果があり、さくに反強磁性体の効
果が大であることがわかる。
高飽和磁束密度の厚みは０．０５〜０．５ μｍ。
中間層の厚みは２０Ａ〜０．１μｍの間が適当であった
。
。
高飽和磁束密度の材料としではＦ、ｅ−８ｉ系結晶質合
金の他に、Ｎ ｉ −Ｆ ｅ −Ｃｏ系結晶質合金。
金の他に、Ｎ ｉ −Ｆ ｅ −Ｃｏ系結晶質合金。
Ｆ ａ −Ｇ ｅ、系結晶質合金、 Ｆ ｅ −′、ｌ
？ Ｓ系結晶質合金、Ｇｏ−Ｆｅ系結晶質合金、Ｆｅ−
Ｎ系結晶質合金、Ｇｏ−７，ｒ系非晶質合金なども使用
可能である。従来のヘッド材料に対しでメリツ１−をだ
すには飽和磁束密度が少なくとわｌ０ＫＧ、望ましくは
ｌ５ＫＧ以上あることが必要で、これらの材料はいずれ
もこの要求を満たしている。
？ Ｓ系結晶質合金、Ｇｏ−Ｆｅ系結晶質合金、Ｆｅ−
Ｎ系結晶質合金、Ｇｏ−７，ｒ系非晶質合金なども使用
可能である。従来のヘッド材料に対しでメリツ１−をだ
すには飽和磁束密度が少なくとわｌ０ＫＧ、望ましくは
ｌ５ＫＧ以上あることが必要で、これらの材料はいずれ
もこの要求を満たしている。
反強磁性の材料としでは、ｃｏやＦｅの酸化物、ＦｅＭ
ｎ系合金など一般によく知られているものが使えるが、
どくにＦ ｅ −Ｍ ｎ系合金の効果は太きい。
ｎ系合金など一般によく知られているものが使えるが、
どくにＦ ｅ −Ｍ ｎ系合金の効果は太きい。
積層膜は作製時に基板温度を適当に選ぶことによって透
磁率を高めることができる・。また作製後も適当な温度
で磁場中熱処理を行なうことによって透磁率を高めるこ
とができる。
磁率を高めることができる・。また作製後も適当な温度
で磁場中熱処理を行なうことによって透磁率を高めるこ
とができる。
本発明によれば、飽和磁束密度で高透磁率の磁性膜がで
き、これをコア材料として磁気ヘッドに用いると、ヘッ
ド性能を高めることができる。
き、これをコア材料として磁気ヘッドに用いると、ヘッ
ド性能を高めることができる。
第１図は多層磁性膜の中間膜の厚さと透磁率との関係を
示すグラフである。□ １・・・中間膜として反強磁性体を用いたときの特性、
２・・・中間膜として強磁性体を用いたときの特性、第
１頁の続き ０発 明 者 浜 川 佳 弘 国分寺市東恋ケ窪［央
研究所内 ０発 明 者 斉 藤 法 利 国分寺市東恋ケ窪：央
研究所内 ０発 明 者 工 藤 實 弘 国分寺市東恋ケ窪：央
研究所内
示すグラフである。□ １・・・中間膜として反強磁性体を用いたときの特性、
２・・・中間膜として強磁性体を用いたときの特性、第
１頁の続き ０発 明 者 浜 川 佳 弘 国分寺市東恋ケ窪［央
研究所内 ０発 明 者 斉 藤 法 利 国分寺市東恋ケ窪：央
研究所内 ０発 明 者 工 藤 實 弘 国分寺市東恋ケ窪：央
研究所内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、少くとも多飽和磁束密度の強磁性材料と反強磁性材
料とを積層した部分を有することを特徴とする多層磁性
膜。 ２、上記反強磁性材料とＦ ｅ −Ｍ ｎを主成分とす
る合金であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の多層磁性膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1007984A JPS60154602A (ja) | 1984-01-25 | 1984-01-25 | 多層磁性膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1007984A JPS60154602A (ja) | 1984-01-25 | 1984-01-25 | 多層磁性膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60154602A true JPS60154602A (ja) | 1985-08-14 |
Family
ID=11740341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1007984A Pending JPS60154602A (ja) | 1984-01-25 | 1984-01-25 | 多層磁性膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60154602A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62189610A (ja) * | 1986-02-17 | 1987-08-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波用磁気ヘツド |
| US4897318A (en) * | 1986-01-21 | 1990-01-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laminated magnetic materials |
| US4965139A (en) * | 1990-03-01 | 1990-10-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Corrosion resistant metallic glass coatings |
| US5234775A (en) * | 1988-11-11 | 1993-08-10 | U.S. Philips Corporation | Soft magnetic multilayer film and magnetic head provided with such a soft magnetic multilayer film |
-
1984
- 1984-01-25 JP JP1007984A patent/JPS60154602A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4897318A (en) * | 1986-01-21 | 1990-01-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laminated magnetic materials |
| JPS62189610A (ja) * | 1986-02-17 | 1987-08-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波用磁気ヘツド |
| US5234775A (en) * | 1988-11-11 | 1993-08-10 | U.S. Philips Corporation | Soft magnetic multilayer film and magnetic head provided with such a soft magnetic multilayer film |
| US4965139A (en) * | 1990-03-01 | 1990-10-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Corrosion resistant metallic glass coatings |
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