JPS6015643U - Ｐｃｂオンボ−ド形圧力変換器 - Google Patents
Ｐｃｂオンボ−ド形圧力変換器Info
- Publication number
- JPS6015643U JPS6015643U JP10528583U JP10528583U JPS6015643U JP S6015643 U JPS6015643 U JP S6015643U JP 10528583 U JP10528583 U JP 10528583U JP 10528583 U JP10528583 U JP 10528583U JP S6015643 U JPS6015643 U JP S6015643U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pcb
- pressure transducer
- silicon
- thick film
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は実施例の平面図、第２図は第１図のＡＡ断面図
、第３図は第２図の変形例の断面図である。 １・・・・・・シリコンゲージチップ、２・・・・・・
ガラスダイ、３・・・・・・圧力導入穴、４・・・・・
・ステム、５・・・・・・リードピン、６・・・・・・
ガラス、７・・・・・・Ａｕ細線、８・・・・・・キャ
ップ、９・・・・・・真空室、１０・・・・・・圧力導
入ポート、１２・・・・・・厚膜回路基板、１６・・・
・・・リードピン。 第 ｌ 閃 第 、５ 目
、第３図は第２図の変形例の断面図である。 １・・・・・・シリコンゲージチップ、２・・・・・・
ガラスダイ、３・・・・・・圧力導入穴、４・・・・・
・ステム、５・・・・・・リードピン、６・・・・・・
ガラス、７・・・・・・Ａｕ細線、８・・・・・・キャ
ップ、９・・・・・・真空室、１０・・・・・・圧力導
入ポート、１２・・・・・・厚膜回路基板、１６・・・
・・・リードピン。 第 ｌ 閃 第 、５ 目
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 表面には拡散により形成したピエゾ抵抗素子、他面
にはエツチング等により薄肉化した凹部を有するシリコ
ンゲージチップを貫通穴のあいたシリコンと熱膨張係数
の類似した台座に接合し、台座は、同様に圧力導入穴の
あいた金属ステムに固着され、該ステムには、リードピ
ンがガラスシールにより固持され、シリコンゲージチッ
プ上のピエゾ抵抗素子の入出力端子と前記り一ドピンは
、細線により接続されており、前記シリコンゲージチッ
プ、リードピン、パイプ、細線が目的とする圧力の雰囲
気中でキャップをステムに溶接することにより包含する
ことにより形成された基準圧力室を有するＣＡＮ封止形
ゲージクミと、シリコンゲージチップの駆動回路、増巾
回路、ＰＣＢ接続用のリードピン、ウェルディングパッ
ドを有する厚膜回路基板からなるＰＣＥ３オンボード形
圧力変圧力変換器て、ＣＡＮ封止形ゲージクミのキャッ
プ側て厚膜回路基板に接合し、ＣＡＮ封止形ゲージクミ
のリードピンを厚膜回路基板のウェルディングパッドに
溶接により接続し、ステムの圧力導入穴に任意の形の圧
力導入ポートを接合したことを特徴とするＰＣＢオンボ
ード形圧方圧力変換 器 実用新案登録請求の範囲第１項において、キャップ
と厚膜回路基板の接合をシリコン系の接着剤で行なうこ
とを特徴とするＰＣＢオンボード形圧方圧力変換 器 実用新案登録請求の範囲第１項において、キャップ
と厚膜回路基板の接合をハンダにより行なうことを特徴
とするＰＣＢオンホード形圧方圧力変換 器 実用新案登録請求の範囲第１項において、圧力導入
ホードがＰＢＴ樹脂であることを特徴とするＰＣＢオン
ボード形圧方圧力変換 器
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10528583U JPS6015643U (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | Ｐｃｂオンボ−ド形圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10528583U JPS6015643U (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | Ｐｃｂオンボ−ド形圧力変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6015643U true JPS6015643U (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=30246850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10528583U Pending JPS6015643U (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | Ｐｃｂオンボ−ド形圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6015643U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63145141U (ja) * | 1987-03-13 | 1988-09-26 |
-
1983
- 1983-07-08 JP JP10528583U patent/JPS6015643U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63145141U (ja) * | 1987-03-13 | 1988-09-26 |
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