JPS60160010A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS60160010A JPS60160010A JP1422984A JP1422984A JPS60160010A JP S60160010 A JPS60160010 A JP S60160010A JP 1422984 A JP1422984 A JP 1422984A JP 1422984 A JP1422984 A JP 1422984A JP S60160010 A JPS60160010 A JP S60160010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- core
- magnetic head
- magnetic core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/17—Construction or disposition of windings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野〕
本発明は例えばディジタルオーディオ記録に用いられる
薄膜磁気ヘッドに関する。
薄膜磁気ヘッドに関する。
［発明の技術的背景とその問題点コ
近年磁気記録の高密度化が追求されてｉる。ところで、
磁気記録媒体の抗磁力が１ｏｏｏｏ＝を超えてくると、
この記録媒体を磁化するためにはＩＡＴ程度の記録電流
と、飽和磁束密度の大きい磁気ヘッド材料が必要とされ
る。しかも例えば現行のコンパクトカセットテープにデ
ィジタルオーディオ信号を記録しようとすれば、トラッ
クピッチを１００μｍ程度に小さくする必要がある。そ
こで、従来よシ行なわれてきたバルクヘッドを積層する
という方法では対応が不可能になってきた。このために
第１図に示す如き磁性基板（υ上に磁気コア（２）及び
コイル（３）を薄膜で形成するヘッドが注目されている
。ここで（４）は絶縁膜であシ、これによシ磁気ギャッ
プが形成されている。
磁気記録媒体の抗磁力が１ｏｏｏｏ＝を超えてくると、
この記録媒体を磁化するためにはＩＡＴ程度の記録電流
と、飽和磁束密度の大きい磁気ヘッド材料が必要とされ
る。しかも例えば現行のコンパクトカセットテープにデ
ィジタルオーディオ信号を記録しようとすれば、トラッ
クピッチを１００μｍ程度に小さくする必要がある。そ
こで、従来よシ行なわれてきたバルクヘッドを積層する
という方法では対応が不可能になってきた。このために
第１図に示す如き磁性基板（υ上に磁気コア（２）及び
コイル（３）を薄膜で形成するヘッドが注目されている
。ここで（４）は絶縁膜であシ、これによシ磁気ギャッ
プが形成されている。
しかしながら、上述のように大きな電流を流すことので
きる厚いコイルと、飽和しないだけの厚みを叶った磁気
コアが必要とされる。コ゛イルについて述べれば、ドラ
イエツチング技術の進歩にょシ所定の形状への加工は可
能であるが、第１図かられかる通シ、磁気コア（上部磁
気コア）（２）は段差（５）、（６）のある部分に形成
する必要がある。通常上部磁気コアを形成するには真空
蒸着ヤスバッタ−、メ゛ツキ等の方法を用いる′。そこ
で、真空蒸着やスパッターを用いるとすると、段差部（
第１図（５） 、 （６１）が磁気的に飽和しないよう
にするために少なくとも７μｍ程度の厚さの磁性膜を形
成する必要がある。この場合、所定のトラック幅に形成
する際にオーバーエッチが多く生じ、精度が出ない上に
段差部で磁気特性が劣化し、コアの効率が落ちる。また
メッキを用いるとすると、平担部及び段差部にも付着す
るのであるが、組成の管理が困難であシ、かつ付着力も
劣る。また、実際上はパーマロイしかメッキできない。
きる厚いコイルと、飽和しないだけの厚みを叶った磁気
コアが必要とされる。コ゛イルについて述べれば、ドラ
イエツチング技術の進歩にょシ所定の形状への加工は可
能であるが、第１図かられかる通シ、磁気コア（上部磁
気コア）（２）は段差（５）、（６）のある部分に形成
する必要がある。通常上部磁気コアを形成するには真空
蒸着ヤスバッタ−、メ゛ツキ等の方法を用いる′。そこ
で、真空蒸着やスパッターを用いるとすると、段差部（
第１図（５） 、 （６１）が磁気的に飽和しないよう
にするために少なくとも７μｍ程度の厚さの磁性膜を形
成する必要がある。この場合、所定のトラック幅に形成
する際にオーバーエッチが多く生じ、精度が出ない上に
段差部で磁気特性が劣化し、コアの効率が落ちる。また
メッキを用いるとすると、平担部及び段差部にも付着す
るのであるが、組成の管理が困難であシ、かつ付着力も
劣る。また、実際上はパーマロイしかメッキできない。
上部コア（２）を形成した後にはホルダー（図示せず）
を貼付けてヘッド形状に加工するのであるが、上述の方
法ではいずれも段差部を解消することはできない。そし
て上部磁気コア（２）のテープ摺動部付近（力とホルダ
ーの段差部の接着剤層が厚くなシ、耐久性が劣化し、ス
ペースロスが大きくなる０段差部を解消するためには上
部磁気コアを２段階で形成するか、保護膜を厚く形成し
た後に平担化する方法等が考えられるが、この場合、工
程が複雑になる上に信頼性に乏しいという問題があった
。
を貼付けてヘッド形状に加工するのであるが、上述の方
法ではいずれも段差部を解消することはできない。そし
て上部磁気コア（２）のテープ摺動部付近（力とホルダ
ーの段差部の接着剤層が厚くなシ、耐久性が劣化し、ス
ペースロスが大きくなる０段差部を解消するためには上
部磁気コアを２段階で形成するか、保護膜を厚く形成し
た後に平担化する方法等が考えられるが、この場合、工
程が複雑になる上に信頼性に乏しいという問題があった
。
［発明の目的コ
本発明は上述した点Ｋかんがみなされたものでコア効率
を上げることができ、従来のホルダーも不要な薄膜磁気
ヘッドを提供することを目的とする。
を上げることができ、従来のホルダーも不要な薄膜磁気
ヘッドを提供することを目的とする。
［発明の概要］
本発明は第１の磁気コア上に絶縁体を介して形成された
薄膜コイルと、第１の磁気コア及び前記絶縁体上に形成
され、前記絶縁体により形成されるギャップのフロント
ギャップ部及びパックギャップ部に対応する部分が前記
薄膜コイルの上面高さよシ高くなるようになされた磁性
体と、この磁性体に、前記フロントギャップ部及びパッ
クギャップ部に対応する部分で対向接合されるバルクの
磁性体よシなる第２のコアとを具備することによシ、段
差部での第２のコアの磁気特性の劣化を完全になくすよ
うにし、コア効率を上げるようにしたものである。
薄膜コイルと、第１の磁気コア及び前記絶縁体上に形成
され、前記絶縁体により形成されるギャップのフロント
ギャップ部及びパックギャップ部に対応する部分が前記
薄膜コイルの上面高さよシ高くなるようになされた磁性
体と、この磁性体に、前記フロントギャップ部及びパッ
クギャップ部に対応する部分で対向接合されるバルクの
磁性体よシなる第２のコアとを具備することによシ、段
差部での第２のコアの磁気特性の劣化を完全になくすよ
うにし、コア効率を上げるようにしたものである。
［発明の実施例コ
以下、本発明になる薄膜磁気ヘッドの一実施例を図面に
もとづき説明する。
もとづき説明する。
第２図乃至第５図は上記一実施例の薄膜磁気ヘッドの製
造工程を示す図である。
造工程を示す図である。
まず、第２図に示すようにフェライト等の磁性基板α１
）（第１の磁気コアであシ、下部磁気コアと々る）の上
に磁気ギャップと絶縁膜とを兼用する８ｉ０２等の膜α
２を蒸着、スパッター等の方法で形成し、パックギャッ
プ部（１３を開口する。次にＡＡ！、Ａｕ。
）（第１の磁気コアであシ、下部磁気コアと々る）の上
に磁気ギャップと絶縁膜とを兼用する８ｉ０２等の膜α
２を蒸着、スパッター等の方法で形成し、パックギャッ
プ部（１３を開口する。次にＡＡ！、Ａｕ。
・Ｃｕ等の非磁性導電膜α荀を蒸着スパッター等の方法
で形成し、図示の如きコイル形状にエツチングするＯ 次に、パックギャップ部（１１を通る切断間を示す第３
図にて示す如く、コイル状の導電膜ａ４）と上部磁気コ
ア（後述する如く、バルクの磁性体で形成され、第２の
磁気コ、アとなる）とを電気的に絶縁するべく、絶縁膜
＋１５１をスパッター、蒸着等による酸化物かポリイミ
ド等の有機絶縁物で形成する。
で形成し、図示の如きコイル形状にエツチングするＯ 次に、パックギャップ部（１１を通る切断間を示す第３
図にて示す如く、コイル状の導電膜ａ４）と上部磁気コ
ア（後述する如く、バルクの磁性体で形成され、第２の
磁気コ、アとなる）とを電気的に絶縁するべく、絶縁膜
＋１５１をスパッター、蒸着等による酸化物かポリイミ
ド等の有機絶縁物で形成する。
さらに、第４図（ａ）の断面図で示すようにフロントギ
ャップ部ａｅとパックギャップ部１１：１の上に磁性膜
ａ？）、α榎を蒸着、スパッター等で形成する。このと
き磁性膜（１′６．α樽はコイル（１４）及び絶縁膜（
Ｌ！９よりもわずかに突出する厚さに形成することが重
畳である。磁性膜αη、α♂は第１図に示す磁気コア（
７）のように厚くする必要はないので、エツチングも比
較的容易である。なお、第４図（ｂ）は同図（ａ）に対
応した千両図である。
ャップ部ａｅとパックギャップ部１１：１の上に磁性膜
ａ？）、α榎を蒸着、スパッター等で形成する。このと
き磁性膜（１′６．α樽はコイル（１４）及び絶縁膜（
Ｌ！９よりもわずかに突出する厚さに形成することが重
畳である。磁性膜αη、α♂は第１図に示す磁気コア（
７）のように厚くする必要はないので、エツチングも比
較的容易である。なお、第４図（ｂ）は同図（ａ）に対
応した千両図である。
最後に、バルクの磁性体α鴫を磁性膜ａη、ａ枠とギャ
ップのない状態で接触するように接着剤（イ）等で接着
する。この磁性体ａｌは通常の薄膜ヘッドで用いるホル
ダーを兼用しているため、実ｌＩ人で示すように８字状
に加工すれば、ヘッド摺動面を形成することができる。
ップのない状態で接触するように接着剤（イ）等で接着
する。この磁性体ａｌは通常の薄膜ヘッドで用いるホル
ダーを兼用しているため、実ｌＩ人で示すように８字状
に加工すれば、ヘッド摺動面を形成することができる。
ところで、本発明をマルチヘッドに適用することは容易
である。その場合、チャンネル間のクロストークを防止
するために上部磁気コアを第６図に示すように磁性体（
２）と非磁性体（至）とを交互に積層し、所定のトラッ
ク幅とトラックピッチとを有するように形成し、多チャ
ンネルにパターン化された第４図と類似の基板上の所定
位置に接着すれば良い。また、下部磁気コアである基板
ａηに第６図に示した積層物（財）状のものを用いれば
、クロストークをさらに防ぐことが可能である。
である。その場合、チャンネル間のクロストークを防止
するために上部磁気コアを第６図に示すように磁性体（
２）と非磁性体（至）とを交互に積層し、所定のトラッ
ク幅とトラックピッチとを有するように形成し、多チャ
ンネルにパターン化された第４図と類似の基板上の所定
位置に接着すれば良い。また、下部磁気コアである基板
ａηに第６図に示した積層物（財）状のものを用いれば
、クロストークをさらに防ぐことが可能である。
〔発明の効果コ
以上述べたように本発明によれば、従来薄膜で形成され
ていた上部磁気コアをバルクの磁性体で形成することに
よシ、コアの効率を向上させることができ、ホルダーが
不要となシ、かつ従来用いることができなかったアモル
ファス等の磁性体もコア材として用いることができる。
ていた上部磁気コアをバルクの磁性体で形成することに
よシ、コアの効率を向上させることができ、ホルダーが
不要となシ、かつ従来用いることができなかったアモル
ファス等の磁性体もコア材として用いることができる。
第１図は従来・の薄膜ヘッドを示す斜視図、第２図乃至
第５図は本発明になる薄膜磁気ヘッドの一実施例の製造
工程を示す図であシ、第６図は本発明をマルチヘッドに
適用する場合の上部磁気コアを示す斜視図である。 １１・・・磁性基板、 １２・・・膜、 １３・・・パ
ックギャップ部、 １４・・・コイル、 １７ 、１８
・・・磁性膜、Ｗ・・・磁性体。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）第１図
。 第２図 第３図 第４ｒＩ！１ （０） 第５図 第６図
第５図は本発明になる薄膜磁気ヘッドの一実施例の製造
工程を示す図であシ、第６図は本発明をマルチヘッドに
適用する場合の上部磁気コアを示す斜視図である。 １１・・・磁性基板、 １２・・・膜、 １３・・・パ
ックギャップ部、 １４・・・コイル、 １７ 、１８
・・・磁性膜、Ｗ・・・磁性体。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）第１図
。 第２図 第３図 第４ｒＩ！１ （０） 第５図 第６図
Claims (1)
- 第１の磁気コア上に絶縁体を介して形成された薄膜コイ
ルと、第１の磁気コア及び前記絶縁体上に形成され、前
記絶縁体により形成されるギャップのフロントギャップ
部及びパックギャップ部に対応する部分が前記薄膜コイ
ルの上面高さよシ高くなるようになされた磁性体と、こ
の磁性体に上記フロントギャップ部及びパックギャップ
部に対応する部分で対向接合されるバルクの磁性体よシ
なる第２のコアとを具備したことを特徴とする薄膜磁気
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1422984A JPS60160010A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1422984A JPS60160010A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60160010A true JPS60160010A (ja) | 1985-08-21 |
Family
ID=11855238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1422984A Pending JPS60160010A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60160010A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487007A (ja) * | 1990-07-30 | 1992-03-19 | Victor Co Of Japan Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
-
1984
- 1984-01-31 JP JP1422984A patent/JPS60160010A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487007A (ja) * | 1990-07-30 | 1992-03-19 | Victor Co Of Japan Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
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