JPS6016390A - ウエハ搬送用のチヤツクユニツト - Google Patents

ウエハ搬送用のチヤツクユニツト

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JPS6016390A
JPS6016390A JP59120906A JP12090684A JPS6016390A JP S6016390 A JPS6016390 A JP S6016390A JP 59120906 A JP59120906 A JP 59120906A JP 12090684 A JP12090684 A JP 12090684A JP S6016390 A JPS6016390 A JP S6016390A
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wafer
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platen
housing
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    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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  • Manipulator (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ウニ・・の空間的な位置決めを妨げることな
しにウェハを受容してシラテン上に精確に配置するだめ
のチャックユニットに関するものである。
従来の技術 集積回路の製造においては、回路が形成されるシリコン
ウェハを多数の製造段階で処理する必要がある。例えば
、各ウエノ・に集積回路が何層にもわたって形成される
に従グ、倒産もウェハにコーティング、感光、現像、エ
ツチング及び再コーテイングを加える必要がある。これ
ら多数の製造段階のために、ウニ・・を製造作業ステー
ションに配置される以前にまず整列させなければならな
い。このために、多くのウエノ・処！システムにお（・
て、ウエノ・（よまず整夕１］ステーションに搬送され
て整列させられて力・ら作業ステーションに搬送される
ようになって（゛る０らかしめ整列させられた状態を妨
げずにウエノ・を作業ステーションに供給することカ；
最も重要である。本発明の課題は、このようなあら力）
しめ整列させられた状態を妨げずにウエノ・をイ／「業
ステーションに供給することのできるウエノ・搬送用チ
ャックユニットを提供することである。
問題点を解決するための手段 １−−ｍ−−−−１１−一 本発明によるチャックユニット＆ま、ハウジングと、こ
のハウジング内に配置されたプラテンと、さらにこのハ
ウジング内に配置された、ウエノ・の空間的な位置決め
を妨げることなしにこのウエノ・を掴んで前記プラテン
上に載せるためのウエノ・昇降機構とから成って（・る
。
作　用 プラテンはウエノ・を受容するように構成されており、
ウェハは、真空源に接続された、プラテン表面の開１」
によってプラテンに吸着されるようになっている。前記
ウェハ昇降機構は、プラテン上に配置されたウェハを受
容するために上昇させられ次いでウェハをプラテン上に
載設するために下降させられる。このウェハ昇降機構は
内部にシリンダを備えたベースを有している。このビリ
ンダ内にはシャフト部分が配置されている。シャフト部
分の拡張部分とベースとはメタルベローズの互いに向き
合う両端部に接続されている。これら拡張部分とベース
とメタルベローズとは気密なス被−スを形成しており、
このスペース内に、シャフト部分を昇降させるための圧
縮空気が供給又は排出されるようになっている。シャフ
ト部分の１端部にはゴムメ／カ ツゾが固定されており、このゴムｔ〆ツプに真空が供給
されてウェハが固定されるようになっている。ウェハ昇
降機構内のメタルベローズ及びその連結部はシャフト部
分の回転を妨げひいては、ウェハをプラテン上に載設す
るためにメタルベローズが下降させられた時にウェハが
回転するのを妨げるように作用する。
実施例 次に図面に示した実施例について本発明の構成を具体的
に説明する。
第１図に示した本発明によるチャックユニットはハウジ
ングｌ○より成っている。このハウジング１０内にはプ
ラテン１１が配置されていて、このプラテン１１は製造
しようとするウェハを支持するための表面を有している
。ハウジングｌＯとプラテン１１とにはプレロードスプ
リング１３，１４に清ってサスペンションスプリング１
２が固定されており、このプレロードスプリング１３．
１４はそれぞれ止めねじ１５．１６に作用していて、こ
れによってプラテン１２はハウジング１０内でばね負荷
が加えられている。また、チャックユニットが傾斜させ
られたりひつくり返ったりした時にサスペンションスプ
リング１２かも著しく傾斜させられた時にプラテン１１
を中央位置に維持するために、開口１７を通って挿入さ
れた部材（図示せず）がさらに設けられている。
導管１８はハウジング１０内を通っていて、プラテン１
１に真空を供給するために導管１８ａとチ、：Ｌ　−フ
１８ｂとを介してプラテン１１に接続されている。プラ
テン１１の表面に形成されたマニホルド゛及び小さい開
口を介して、供給された真空によってウェハはプラテン
１１にしっかりと保持される。
チャック装置内の中央にはウェハ昇降機構１９が配置さ
れている。このウェハ昇降機構１９は第２図で拡大して
示されている。
第２図で解るように、ウェハ昇降機構１９は、任意の好
都合な手段を用いてチャックユニットのハウジング１ｏ
に固定されたベース２ｏより成ッテいる。ベース２ｏ内
にはシリンダ２０ａが形成されている。ウェハ昇降機構
１９は可動部材２１を有している。この可動部材２１は
円筒形のハウジング２２とピストン部材２３とから成っ
ている。このピストン部材２３は、シリンダ２Ｏａ内で
滑動可能に配置されたシャフト部分２３ａと、円筒形の
ハウジング２２の上部に配置登れかつ固定された第１の
半径方向拡張部分２３ｂとを有している。この第１の半
径方向拡張部分２３ｂは例えばその外径に設けられた雄
ねじと円筒形のハウジング７２の上部の内径に設けられ
た雌ねじとによって固定されている。ピストン部材２３
は、円筒形のハウジング２２の上端部に支持された第２
の拡張部分２３Ｃを有している。
円筒形のハウジング２２の下端部は、メタルペｏ、−ｉ
２’４の一端部に固定された延長部２２ａを有している
。メタルベローズ２４の他端部はベース２０の延長部２
０ｂに固定されＣいる。
ピストン部材２３のシャフト部分２３ａと円筒形のハウ
ジング２２とメタルベローズ２４とベース２０とは気密
なスペース２５を形成している。メタルベローズ２４は
規格製造製品として入手可能である（例えば、メタル（
ローズ社。
ロードアイランド）。メタルベローズ２４は図示の下降
位置で通常は可動部材にばね負荷を加えている。しかし
ながら可動部材２１が持ち上げられると、メタルベロー
ズ２４はほぼ長手方向で伸張され、これに対してスペー
ス２５の気密特性は維持される。メタルベローズ２４は
、可動部材２１の剛性を維持する作用を有していて特に
、可動部材が昇降運動させられた時にその回動運動を妨
げるようになっている。ベース２０の一端部に固定さ、
ｌまた制限ストン・８２６は延長部２６ａを有しており
、この延長部２６ａは、円筒形のハウジング２２の延長
部２２ａと協動して可動部材２１の上昇運動を制限する
。
比較的堅い剛性体３ｏがピストン部材２３の第２の拡張
部分２３ｃの四部２３ｄ内にねじ込まれている。フレキ
シブルなゴムカップ２７は剛性体３０に取り伺けられて
いる。ゴムカップ２７と剛性体３０及びピストン部材２
３とは、ゴムカップ２７の表面に真空を供給するための
真空通路（導管２０ｄ）に通じる共通の孔を有している
。
ベース２０に形成された導管２０ｄはシリンダ２’Ｏａ
に連通していて、ひいては剛性体３０及びゴムカップ２
７内に形成された導管を介してゴムカップ２７０表面に
通じている。これによって、導管２０ｄに真空が供給さ
れると、ゴムカップ２７に接触しているウェハが下方に
吸い寄せられてゴムカップ２７によって確実に保持サレ
る。ゴムカップ２７は、ウエノ・を保持する時にゴムカ
ップ２７が過剰にたわむのを避けるためにストツノ８２
７ａ（例えば３つ）を有している。
導管２０Ｃに圧縮空気が供給されると、圧縮空気は気密
なスペース２５内に侵入して可動部材２１及び円筒形の
ハウジング２２を上昇させカ てゴムＩｆ−ｆツブ２７を第２図で破線で示した位置に
持たらす。この上昇移動位置でゴムカップ２７に真空が
供給され、こうしてゴムカップ２７はウェハを掴んで、
ウェハ３１をシラテン上に持たらした供給シャトルから
離昇させる。次いでこの供給シャトルは取り除かれる。
ウエノ・は、可動部材２１を上昇させるのに必要な正圧
から、空気をゆっくりと逃がす、導管２ＯＣ内に設けら
れた絞り（図示せず）を介して雰囲気圧に切換えること
によってメタルベローズ２４のスプリング作用下でプラ
テン１．１上にゆっ（つと下降させられる。下降速度は
絞りの寸法によって制御される。ピストンが元の位置に
戻されると、導管２０ｃに真空が供給されてメタルベロ
ーズ２４は完全に収縮される。前述のようにメタルベロ
ーズ２４は可動部材２１０回転運動を妨げる作用を有し
ているので、ウェハが製造のためにプラテン１１上に持
たらされた時にそのあらかじめ整列させられた状態が維
持される。
ゴムカップ２７への真空供給が中止されて、プラテン１
１に真空が供給されるとウェハは真空によってプラテン
１１に固定されるので、どの位置においてもウェハに作
業プロセスが施される。
作業プロセスが終了すると、プラテン１１への真空供給
が中止されて、可動部材２１を上昇させるために導管２
０Ｃに圧力が供給され、ウェハをしっかりと保持するた
めにゴムカップ２７に真空が供給され、こうしてウエノ
・はプラテン１１から離昇させられる。これによってウ
ェハは、導管２０ｅへの真空供給が中止されてから搬送
シャトルによって回収される。このプロセスは作業ステ
ーションに各ウエノ・が到着するたびに繰り返えされる
。
本発明は図示の実施例のみに限定されるものではない。
効　果 以上のように本発明のチャックユニットによればウニ・
・をそのあらかじめ整列させられた状態を妨げることな
しに各作業ステーションに搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の１実施例によるチャックユニットの概
略的な縦断面図、第２図は第１図のチャックユニットの
ウェハ昇降機構部分の拡大図である。 １０・・・ハウジング、１１・・・プラテン、１２・・
ザスペンションスプリング、１３．１４・・・プレロー
ドスプリング、１５．１６・・止めねじ、１７・・開口
、１８．１８ａ・・・導管、１８ｂ・チューブ、工９・
・ウェハ昇降機構、２０・・・ベース、２０　ａ　”シ
リンダ、２０ｂ　延長部、２０．Ｃ。 ２０ｄ・・導管、２１　ｉ５Ｔ動部材、２２・・・ノ・
ウノング、２３　ピストン部材、２３＆　シャフト部７
）　２３ｂ　・拡張部分、２３ｃ・・拡張部分、２３ｄ
・・・凹部、２４　・メタルベローズ、２５・・スペー
ス、２６・・制限ストン、ｏ、２６　ａ・・・延長部、
２７・・・ゴムカップ、２７ａ・・ストン・ξ、３０・
・剛性体、３１・・ウエノ・

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １　ウェハ搬送用のチャックユニットにおいて、ハウジ
    ング（１０）と、このハウジング（１０）内に配置され
    たシラテン（１１）と、さらにこのハウジング（１０）
    内に配置された、ウェハ（３１）の空間的な位置決めを
    妨げることなしにこのウェハ（３１）を掴んで前記プラ
    テン（１１）上に載せるためのウェハ昇降機構（１９）
    とから成っていることを特徴とする、ウェハ搬送用のチ
    ャックユニット。 ２、　前記ウェハ昇降機構（１９）が、ベース（２０）
    と、このベース（２０）に対して相対的に鉛直方向で昇
    降可能な可動部材（２１）と、このベース（２０）と可
    動部材（２１）とに接続されたメタルベローズ（２４）
    とかう成っており、このメタルベローズ（２４）は鉛直
    方向で移動させられた時に前記可動部材（２１）の回転
    を妨げるようになっている、特許請求の範囲第１項記載
    のチャックユニット。 ３　前記可動部材（２１）が一端部でシャフト部分（，
    ２３ａ）を有しており、前記ベース（２０）の内部にこ
    のシャフト部分（２３ａ）を受容するためのシリンダ（
    ２０ａ）が形成されている、特許請求の範囲第２項記載
    のチャックユニット。 ４、　前記ベース（２０）と可動部材（２１１とメタル
    ベローズ（２４）とが気密なス啄−ス（２５）を形成し
    ており、該スペース（２５）に通じる第１の導管手段が
    前記４−ス（２０）に形成されており、前記プラテン（
    １１）が前記可動部材（２１）上で中央開口を備えてお
    り、前記第１の導管手段に圧縮空気を供給すると、前記
    可動部材（２１）が前記中央開口を貫通して上昇させら
    れ、圧縮空気の供給を中止すると前記可動部材（２１）
    が下降させられるようになっている、特許請求の範囲第
    ３項記載のチャックユニット。 ５　前記可動部材（２１）が、この可動部材（２１）の
    他端部に固定されたフレキシブルなカップ（２７）と第
    ２の導管手段とを有しており、該第２の導管手段を介し
    て前記フレキシブルなカップ（２７）に真空が供給され
    るようになっていてウェハ（３１）とフレキシブルなカ
    ップ（２７）とが接触する際にウェハ（３１）が吸着に
    よって前記フレキシブルなカップ（２７）に固着される
    ようになっている、特許請求の範囲第４項記載のチャッ
    クユニット。 ６　前記第２の導管手段が、前記フレキシブルなカップ
    （２７）を通って延びこのカップ（２７）の表面に開口
    する１つ又はそれ以上のオリフィスと、前記ペース（２
    ０）に形成された導管（２０ｄ）と、該導管（２０ｄ）
    と前記オリフィスとに連通ずる、前記シャフト部分（２
    ３ａ）に形成された孔とから成っている、特許請求の範
    囲第５項記載のチャックユニット。 ７、　前記メタルベローズ（２＋）が、前記可動部材（
    ２１）の下降位置でこの可動部材（２１）に通常は負荷
    を加えるようになって（・る、特許請求の範囲第６項記
    載のチャックユニット。 ８、　前記プラテン（１１）上に配置されたウェハ（３
    １）を固定するためにこのプラテン（１１）の表面に真
    空を供給するための手段カープラテン（１１）に設けら
    れて（・る、特許請求の範囲第７項記載のチャックユニ
    ット。 ９　ハウジング（１０）が、このハウジング（１０）内
    でプラテン（１１）をフレキシゾルに押えつけるための
    フレキシブル部材を有している、特許請求の範囲第８項
    記載のチャックユニット。 １０、前記プラテン（１１）の表面に真空を供給するた
    めの手厳が、プラテン（１１）の表面に開口する複数の
    オリフィスと、ハウジング（１０）を通って延びる導管
    手段と、これらのオリフィス及び導管手段と連通ずる、
    前記プラテン（１１）に設けられたマニホルド手段とか
    ら成っている、特許請求の範囲第９項記載のチャックユ
    ニット０
JP59120906A 1983-06-15 1984-06-14 ウエハ搬送用のチヤツクユニツト Expired - Lifetime JPH0657395B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/504,718 US4530635A (en) 1983-06-15 1983-06-15 Wafer transferring chuck assembly
US504718 1995-07-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6016390A true JPS6016390A (ja) 1985-01-28
JPH0657395B2 JPH0657395B2 (ja) 1994-08-03

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JP59120906A Expired - Lifetime JPH0657395B2 (ja) 1983-06-15 1984-06-14 ウエハ搬送用のチヤツクユニツト

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